专利名称：振动片、振子、物理量传感器以及电子设备的制作方法
技术领域：
本发明涉及振动片、振子、角速度传感器等的物理量传感器以及电子设备。
背景技术：
检测旋转角速度的角速度传感器广泛应用于导航系统、各种装置的姿态控制系 统、摄像机或数码相机的防抖装置等。在这些电子设备中，多使用能够小型化的振动片传感
ο以往，作为振动片的角速度传感器公知有如下的角速度传感器，该角速度传感器 为振子，该振子具有进行驱动振动的振动单元、和检测通过旋转产生的检测振动的检测单 元，该振子检测Z轴旋转系的角速度，其中该Z轴旋转系形成为多个振动系在相对于旋转轴 Z交叉的规定面内延伸(参照专利文献1)。但是，专利文献1的角速度传感器是能够检测垂直的旋转轴、即Z轴旋转系的振 动分量的传感器，对要求多个检测轴的设备，需要使传感器立起来安装，使传感器器件大型 化。因此，作为检测相对于振子面平行的旋转轴的角速度传感器，公知有如下的角速 度传感器使连接设置在以扭转振动模式绕与旋转轴交叉的扭转中心轴驱动的驱动部上的 检测部进行扭转旋转振动，检测由基于旋转运动的哥氏力产生的检测部的横弯曲振动，并 检测角速度(参照专利文献2)。专利文献日本特开平1H81372号公报日本特开2007-212；355号公报但是，即使是上述的专利文献2的角速度传感器，也由于扭转振动使在端部上具 备的检测臂在Z方向上振动，因此由于振子的尺寸精度、即所谓的加工误差，产生振动泄 漏，输出非基于角速度的信号，从而引起检测精度的下降。因此，要提供在振子的面内具有旋转轴，并且振动泄漏少且精度高的角速度传感 器(物理量传感器)。
发明内容
本发明是为了解决上述问题的至少一部分而提出的，可以作为以下的实施方式或 应用例来实现。[应用例1]本应用例的振动片，是通过与由角速度产生的哥氏力相应的效应，检 测旋转运动的振动片，该振动片的特征在于，具有驱动梁，其具有以扭转振动模式振动，且 以延伸方向相互平行的方式配置的第1梁和第2梁；支撑部，其结合所述第1梁和所述第2 梁的两端；以及一个以上的检测臂，其相对于所述驱动梁的延伸方向垂直，并从所述第1梁 的侧面及所述第2梁的侧面，向离开另一方的梁的方向延伸出并检测旋转运动，从所述第1 梁延伸出的所述检测臂的延伸轴与从所述第2梁延伸出的所述检测臂的延伸轴为大致同一轴。并且，作为其他方式，本应用例的振动片的特征在于，具有驱动梁，其具有以扭转 振动模式振动，且相互并列地在第1方向上延伸的第1梁和第2梁；支撑部，其结合所述第1 梁及所述第2梁的一端彼此及另一端彼此；以及在平面视图中相对于所述第1方向垂直的 第2方向上分别从所述第1梁及所述第2梁延伸出的检测臂，在驱动模式中，所述第1梁及 所述第2梁在相反的方向上扭转振动，各个所述检测臂在包含所述第1方向及所述第2方 向的平面的法线方向上振动，并且，从所述第1梁延伸出的所述检测臂与从所述第2梁延伸 出的所述检测臂在相同的方向上振动，在检测模式中，在绕所述第2方向施加了角速度时， 所述检测臂在所述第1方向上振动。并且，作为其他的方式，在本应用例的振动片中，所述第1梁的所述检测臂向所述 第2梁侧的相反侧延伸，并且，所述第2梁的所述检测臂向所述第1梁侧的相反侧延伸。根据本应用例，从进行扭转振动的梁延伸出的检测臂上施加有面外方向的弯曲振 动。该检测臂上由于旋转运动、即施加角速度而产生的哥氏力，产生面内振动。但是，由于 检测臂自身上不具有激励部件，因此不会发生由于制造能力(误差)产生的检测臂截面形 状中的偏差所引起的机械耦合。即、在没有施加旋转角速度的状态下，检测臂可以准确地输 出角速度=0。因此，可以进行更准确的角速度检测。并且，由于第1梁和第2梁在相反的方向上扭转振动，因此在支撑部上，使支撑部 旋转的力矩被抵消而总和成为零。因此，可以抑制支撑部的旋转方向的负载，并使固定在封 装体上的固定质量稳定。[应用例2]在上述应用例的振动片中，其特征在于，所述第1梁及所述第2梁的 扭转振动模式在同一梁内具有两个以上的扭转振动部，相邻的振动部的扭转振动模式为异 相。并且，作为其他方式，在上述应用例的振动片中，其特征在于，所述第1梁及所述 第2梁分别具有在同一梁内扭转振动模式不同的第1区域和第2区域，在所述第1区域及 所述第2区域中各设有所述检测臂，并且，在所述驱动模式中，设在所述第1区域中的所述 检测臂与设在所述第2区域中的所述检测臂在相反的方向上振动。根据上述应用例，关于因检测臂中产生的哥氏力所引发的面内振动而产生的电 荷，在异相的情况下与各振动模式对应的检测臂的面内振动模式成为逆相，通过对所检测 出的电荷进行差动放大，可以消除加速度分量。由此，例如在搭载于便携设备的情况下，可 以排除施加给设备的振动等的加速度分量，可以准确地仅提取角速度分量，因此可以进行 更准确的角速度检测。[应用例3]在上述应用例的振动片中，其特征在于，所述振动片为石英。根据上述应用例，可以得到温度特性良好的小型/薄型的振动片。[应用例4]本应用例的振子的特征在于，安装了在上述应用例中记载的振动片。并且，作为其他方式，本应用例的振子的特征在于，具有应用例1至应用例3中的 任一例所述的振动片；以及收纳所述振动片的封装体。根据上述应用例，例如可以得到对在薄型的面内方向上具有旋转轴的旋转进行检 测的、作为角速度传感器的振子。[应用例5]本应用例的物理量传感器的特征在于，具有应用例1至应用例3中的任一例所述的振动片。根据上述应用例，例如可以得到对在薄型的面内方向上具有旋转轴的旋转进行检 测的、作为物理量传感器的角速度传感器。[应用例6]本应用例的电子设备，其特征在于，具有应用例1至应用例3中的任一 例所述的振动片。根据上述应用例，可以得到起到上述应用例中记载的效果的电子设备。
图1是示出第1实施方式的概略立体图。图2中的(a)是说明第1实施方式的动作的概略立体图，(b)是主视图。图3中的(a)是说明第1实施方式的动作的概略立体图，(b)是主视图。图4是说明振动片的支撑部中的力矩的示意图。图5中的(a)是示出第1实施方式的电极膜的结构的示意立体图，(b)、(c)是向 视图。图6是示出第2实施方式的概略立体图。图7中的(a)是说明第2实施方式的动作的平面图，(b)、(c)是检测臂部截面图。图8是示出第2实施方式的另一实施例的概略立体图。图9是示出实施方式的制造过程的流程图。图10是示出实施方式的制造方法的截面图。图11是安装了第2实施方式的另一实施例的截面图。附图标记说明11 作为第1梁的第1驱动梁12 作为第2梁的第2驱动梁21、22:支撑部31 第1检测臂32 第2检测臂100 振动片
具体实施例方式以下，参照
本发明的实施方式。(第1实施方式)图1是示出本实施方式的振动片的概略立体图。振动片100例如是由压电材料形 成，不过在本实施方式中，根据由石英基板形成的振动片100来进行说明。振动片100是由 Z切型的基板形成，其中Z切型将称为石英的电气轴的X轴、称为机械轴的Y轴以及称为光 学轴的Z轴中的X轴和Y轴作为平面方向进行切出而成。振动片100具有在X轴方向(第1方向)上平行延伸的第1驱动梁11和第2驱 动梁12 ；在各驱动梁11、12的两端具有的支撑部21和支撑部22 ；从各驱动梁11、12的中 央沿着Y轴方向(第2方向)向另一方的驱动梁侧的相反侧延伸出(伸长)的第1检测臂 31和第2检测臂32。
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第1驱动梁11和第2驱动梁12上具有以扭转振动模式驱动第1驱动梁11和第 2驱动梁12进行振动的激励电极。并且，在第1检测臂31和第2检测臂32上具有检测电 极，其检测由在各第1检测臂31、第2检测臂32上产生的哥氏力引起的振动，其中该哥氏 力是在向振动片100施加在Y轴方向上具有旋转轴的旋转(绕第2方向的角速度)时产生 的。接着，根据图2、图3，说明振动片100的动作。振动片100是检测沿着作为第1检 测臂31、第2检测臂32的延伸方向的Y轴具有旋转中心轴的角速度ω的陀螺仪传感器。第1驱动梁11、第2驱动梁12以在X轴方向具有扭转中心轴的扭转振动模式被 激励。并且，第1驱动梁11和第2驱动梁12的扭转振动的方向成为异相(逆相)。即、在 图2(a)中，第1驱动梁11相对于Χ(+)方向顺时针扭转，第2驱动梁12相对于Χ(+)方向 逆时针扭转，图3(a)中第1驱动梁11相对于Χ(+)方向逆时针扭转，第2驱动梁12相对于 Χ(+)方向顺时针扭转，并进行反复该扭转的扭转振动。由于第1驱动梁11、第2驱动梁12的扭转振动，关于与第1驱动梁11、第2驱动梁 12结合的第1检测臂31、第2检测臂32，如作为振动片100的主视图的图2(b)及图3(b) 所示，第1检测臂31、第2检测臂32的前端部向箭头方向位移(振动)，实质上在Z轴方向 上弯曲振动。成为进行所谓面外振动的振动臂。此处，当施加了基于旋转轴沿Y轴方向的旋转运动的角速度ω的负荷时，由于哥 氏力在第1检测臂31、第2检测臂32上产生如图2(a)、图3(a)所示的r方向的振动、即所 谓面内弯曲振动。检测该第1检测臂31、第2检测臂32的面内振动r，由所得到的信号计 算角速度ω。如上所述，在第1检测臂31、第2检测臂32自身上不具有进行激励的手段(激励 电极)，而通过第1驱动梁11、第2驱动梁12的扭转振动来驱动，从而可以使由第1检测臂 31、第2检测臂32的截面形状中的偏差引起的、对于第1检测臂31、第2检测臂32的驱动 振动的机械耦合变得极小。从而，可以通过第1检测臂31、第2检测臂32得到对于角速度 ω的检测噪声少的信号。进而，通过使第1驱动梁11、第2驱动梁12异相振动，如图4所示，支撑部21在与 第1驱动梁11、第2驱动梁12接合的面21a中，受到反方向的扭转力矩。从而，在支撑部21 的中央部，使支撑部21的旋转的力矩被抵消而总和成为零。因此，能够抑制支撑部21的旋 转方向的负荷，可以使在封装体上固定的固定质量稳定。当然，还可以抑制第1驱动梁11、 第2驱动梁12向支撑部21的振动泄漏。另外，虽然未图示，但在支撑部22中，也可以通过 同样的作用得到同样的效果。另外，第1检测臂31及第2检测臂32也可以朝向第1驱动梁11及第2驱动梁12 之间的内侧延伸。优选的是，如图所示，朝向第1驱动梁11及第2驱动梁12的外侧延伸的 结构，能够使第1驱动梁11与第2驱动梁12接近地配置，从而使第1驱动梁11和第2驱 动梁12上的扭转振动的误差�。欣谔岣呒觳饬槊舳�。关于形成在上述振动片100上的电极膜，根据示意地示出电极膜的配置的图5来 进行说明。在图5(a)所示的振动片100的示意立体图中，(b)示出了从箭头S方向(以后， 称为正面)观察的向视图，(c)示出了从箭头T方向(以后，称为背面)观察的向视图。如图5(b)所示，在第1驱动梁11的正面配置有正面驱动用电极51a、61a，在第2驱动梁12的正面配置有正面驱动用电极52a、62a。正面驱动用电极51a、5h配置在正面驱 动用电极61a、62a的外侧，并通过配线51c、52c连接，且连接在连接电极50上，并且，正面 驱动用电极6la、6 通过配线61c、62c连接，并连接在连接电极60上。并且，如图5 (c)所示，在第1驱动梁11的背面配置有背面驱动用电极5lb、61b，在 第2驱动梁12的背面配置有背面驱动用电极52b、62b。背面驱动用电极5lb、52b配置在背 面驱动用电极61b、62b的内侧，并通过配线51d、52d连接。进而，背面的配线51d、52d与正 面的配线51c、52c在振动片100的侧面连接，并连接在连接电极50上。背面驱动用电极61b、62b通过配线61d、62d连接。进而，背面的配线61d、62d与 正面的配线61c、62c在振动片100的侧面连接，并连接在连接电极60上。如图5(b)所示，在第1检测臂31的正面上配置有正面检测电极71a，正面检测电 极71a通过侧面配线71c连接在连接电极71d上。同样地，在第2检测臂32的正面上配置 有正面检测电极72a，正面检测电极7 通过侧面配线72c连接在连接电极72d上。如图5(c)所示，在第1检测臂31的背面上配置有背面检测电极71b，背面检测电 极71b与侧面配线71c连接，且连接在连接电极71d上。同样地，第2检测臂32的背面上 配置有背面检测电极72b，背面检测电极72b与侧面配线72c连接，且连接在连接电极72d 上。如图5(b)所示，在第1检测臂31的侧面上配置有第1检测臂侧面电极8la、81b， 第1检测臂侧面电极81a、81b通过配线81c连接，进而通过侧面配线81d连接在连接电极 Sle上。并且，在第2检测臂32的侧面上配置有第2检测臂侧面电极82a、82b，第2检测臂 侧面电极82a、^b通过配线82c连接，进而通过侧面配线82d连接在连接电极8 上。并且，作为振动片100的材质，对于石英以外的压电体材料，例如可以举例有钽酸 锂、铌酸锂等，并且，除了压电材料以外，可以举例有硅等的半导体。并且，对于振动片100的驱动方法，除了基于压电体的压电效应的方法以外，还可 以是基于库仑力的静电驱动。这也可以适用于以下的实施方式。(第2实施方式)虽然在上述的实施方式的振动片中，对一根驱动梁上具有一根检测臂的振动片进 行了说明，但接着对一根驱动梁上具有多个检测臂的实施方式的振动片进行说明。此处，虽 然对一根驱动梁上具有两根检测臂的振动片进行说明，但即使是具有三个以上的检测臂的 振动片，也可以得到相同的作用和效果。图6是驱动梁上具有两根检测臂的振动片200。第1驱动梁211和第2驱动梁212 的两端上具有支撑部221、222。从第1驱动梁211、第2驱动梁212分别延伸出检测臂231、 232、233、234。对于第1驱动梁211、第2驱动梁212的扭转振动，将在后面详细叙述，以隔 着驱动梁的中央部的假想面211a、21h异相(逆相)的扭转振动模式进行驱动。并且，相 对的第1驱动梁211和第2驱动梁212被以异相(逆相)的扭转振动模式进行驱动。S卩、如图6所示，在将相对于X(+)轴方向的顺时针旋转设为α，将逆时针旋转设 为β，从假想面211a、212a到支撑部221侧(第1区域)的驱动梁设为211b、212b，从假想 面211121 到支撑部222侧(第2区域)的驱动梁设为211c、212c的情况下，各自的扭 转振动方向成为如下所述。
若第1驱动梁211中的支撑部221侧的驱动梁211b为α扭转方向，则相同的第 1驱动梁211的另一方的支撑部222侧的驱动梁211c上会施加反方向的β扭转方向。并 且在第2驱动梁212中，第2驱动梁212的支撑部221侧的驱动梁212b上会施加与驱动梁 211b相反的β扭转方向，另一方的支撑部222侧的驱动梁212c上会施加与驱动梁212b相 反的α扭转方向。即、振动片200在同一梁011、212)内具有扭转振动模式的扭转方向不同的第1 区域和第2区域。接着，施加与上述的旋转方向相反的扭转方向，第1驱动梁211、第2驱动梁212被 以扭转振动模式进行驱动。此时，如上所述，检测臂231、232、233、234的前端部在Z方向上 振动，从而检测臂231、232、233、234被驱动而进行面外振动。在图7中更详细地说明。将图7(a)所示的检测臂231、232、233、234部分由于第 1驱动梁211、第2驱动梁212的扭转振动而位移的状态，以L-L’以及Μ-Μ’截面表示在图 7的(b)、(c)中。图7的(b)中，由于驱动梁211b、212b向图示的方向的扭转，检测臂231、 232的端部向图中下方位移。此时，另一方的驱动梁211c、212c以异相(逆相)的方式扭转 驱动，检测臂233、234的端部向图示上方位移。接着，第1驱动梁211、第2驱动梁212在与上述相反的扭转方向上被驱动，并且如 图7(c)所示，施加与图7(b)相反的位移，且反复进行，从而使检测臂231、232、234、235在 Z轴方向上驱动，进行面外振动。此处，当施加了基于旋转轴沿Y轴方向的旋转运动的角速度ω的负荷时，由于哥 氏力，在检测臂231、232、233、234上产生如图7(a)所示的分别为rl、r2、r3、r4方向的振 动、即所谓面内弯曲振动。检测该检测臂231、232、233、234的面内弯曲振动rl、r2、r3、r4， 并由所得到的信号计算角速度ω。如上所述，由于检测臂231、232与检测臂233、234是以异相(逆相、或者反方向) 进行面外振动，因此对于施加的角速度ω，面内弯曲振动rl、r2与面内弯曲振动r3、r4会 产生逆相的弯曲振动。因此，在不仅施加角速度ω而且还施加X轴方向的加速度时，通过对 从检测臂231、232得到的信号和从检测臂233、234得到的信号进行差动放大，可以使X轴 方向的加速度抵消，能够仅计算出角速度ω分量的数据，能够进行误差少的角速度检测。在第1驱动梁211、第2驱动梁212的假想面211a、2Ua位置上，如上所述是异相 (逆相)扭转振动的边界部，不会产生扭转力矩。但是，例如由于振动片200的制造误差、或 第1驱动梁211、第2驱动梁212成为相对较长的梁，因此可以如图8所示的振动片300，在 驱动梁311、312的中央的假想面311a、31h部上设置中间支撑部323。在后述的安装中，在 收纳振动片300的封装体上除了支撑部321、322的放置部之外，还在与中间支撑部323对 应的位置上设置的放置部上放置/固定中间支撑部323，从而可以得到能防止由于振动片 300掉落而造成破损的振子。[振子的制造]对作为具有上述振动片和收纳振动片的封装体的振子的角速度传感器的制造方 法进行说明。图9是示出角速度传感器的制造过程的流程图，图10是示出角速度传感器的 制造方法的截面图。(振动片形成工序)
首先，通过振动片形成工序(SlOl)，形成图10(a)所示的平面形状的振动片。作为 一例，振动片100是由石英基板通过光刻、蚀刻来形成外形形状。在外形形成后的石英片上 通过蒸镀、溅射或CVD等方法，在正面上使成为电极的Au膜成膜，并通过光刻、蚀刻形成为 规定的电极膜。另外，作为电极膜，也可以应用Cu、Ag、W等。(振动片安装工序)接着，转移到振动片安装工序(S102)。如图10(b)所示，在形成在封装底座400a 的内部的放置部411、412上，放置未图示的形成于振动片100的一面上的连接电极，并且朝 向封装底座400a的开口侧放置支撑部21、22，并通过粘结剂421、422将振动片100固定在 封装底座400a上。接着，通过导电线441、442将振动片100的连接电极与设在放置部411、412上的 电极431、432电连接，即进行所谓的引线接合。从电极431、432通过未图示的配线，电连接 到形成在封装底座400a的外部的外部连接电极451、452。(去谐工序)接着转移到去谐工序(S103)。如图10(c)所示，从未图示的激光装置，向由与振动 片100上具有的未图示的电极膜相同的Au膜形成的调整膜，照射YAG激光等的激光500，去 除调整膜的一部分，执行去谐工序(S10;3)。通过预先附加调整膜，将第1检测臂31、第2检 测臂32中的检测振动(弯曲振动及扭转振动)的频率，设定为比期望的频率低。此处，通 过照射激光500去除调整膜的一部分，向减少调整膜的质量，使第1检测臂31、第2检测臂 32的检测振动的频率变高的方向进行调整。作为除去调整膜的方法，除了 YAG激光以外，还 可以使用电子束、逆溅射等的方法。(密封工序)接着转移到密封工序(S104)。在密封工序(S104)中，对安装了振动片100的封 装体400的内部进行气密密封。如图10(d)所示，在配置在封装底座400a的上表面的盖体 600为科瓦合金等的金属的情况下，对盖体600与封装底座400a之间的接合部进行缝焊，并 在惰性环境或减压环境中对封装体400的内部进行气密密封。并且，在对盖体600使用了透明玻璃的情况下，在盖体600与封装底座400a的接 合面413上配置低熔点玻璃，通过低熔点玻璃的熔融进行接合，并在惰性环境或减压环境 中对封装体400的内部进行气密密封。由此，完成角速度传感器700。另外，在对盖体600使用了透明玻璃的情况下，由于激光能够透过盖体600而照射 振动片100的调整膜，因此也可以在密封工序(S104)之后实施去谐工序。在上述的制造方法中，在使用了图8所示的具有中间支撑部323的振动片300的 情况下，优选使用图11所示的封装体。即、在图11所示的封装体400中，在封装底座400a 中的与振动片300的中间支撑部323对应的位置上，具有放置部414，将振动片300的两端 的支撑部321、322放置到封装底座400a上并固定，同时放置中间支撑部323并固定。由此， 可以得到能防止由于掉落而造成的破损，可靠性高的角速度传感器。另外，也可以由平板状的封装底座和具有凹部的盖体等来构成封装体。并且，封装 体还可以在封装底座及盖体的两方具有凹部。另外，作为物理量传感器的角速度传感器，构成为除了上述结构要素，还包括以 扭转振动模式激励振动片的振动臂的作为激励单元的未图示的振荡电路；以及对由于与角速度的产生(哥氏力的产生)相伴随的振动而输出的输出信号进行处理的作为检测单元的 未图示的检测电路。另外，检测单元除了包括放大器、A/D转换电路、将所检测的电荷量变换为角速度 的运算处理电路等以外，还包括去噪电路等。(电子设备)对具有上述的振动片的电子设备进行说明。另外，省略图示。上述振动片可以作为感测器件或定时器件应用于具备数码相机、摄像机、导航装 置、定位装置、游戏控制器、便携电话、电子书、个人电脑、电视、录像机、寻呼机、电子记事 本、计算器、文字处理器、工作站、视频电话、POS终端、触摸面板的设备等的电子设备，并且 在任一情况下都可以提供具有上述实施方式中说明的效果的电子设备。
权利要求
1.一种振动片，其特征在于，该振动片具有驱动梁，其具有以扭转振动模式振动，且相互并列地在第1方向上延伸的第1梁和第2梁；支撑部，其结合所述第1梁及所述第2梁的一端彼此及另一端彼此；以及 在平面视图中相对于所述第1方向垂直的第2方向上分别从所述第1梁及所述第2梁 延伸出的检测臂，在驱动模式中，所述第1梁及所述第2梁在相反的方向上扭转振动， 各个所述检测臂在包含所述第1方向及所述第2方向的平面的法线方向上振动， 并且，从所述第1梁延伸出的所述检测臂与从所述第2梁延伸出的所述检测臂在相同 的方向上振动，在检测模式中，在绕所述第2方向施加了角速度时，所述检测臂在所述第1方向上振动。
2.根据权利要求1所述的振动片，其特征在于， 所述第1梁的所述检测臂向所述第2梁侧的相反侧延伸， 并且，所述第2梁的所述检测臂向所述第1梁侧的相反侧延伸。
3.根据权利要求1或2所述的振动片，其特征在于，所述第1梁及所述第2梁分别具有在同一梁内扭转振动模式不同的第1区域和第2区域，在所述第1区域及所述第2区域中各设有所述检测臂，并且，在所述驱动模式中，设在所述第1区域中的所述检测臂与设在所述第2区域中的 所述检测臂在相反的方向上振动。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的振动片，其特征在于， 所述振动片为石英。
5.一种振子，其特征在于，该振子具有权利要求1至4中的任一项所述的振动片；以及 收纳所述振动片的封装体。
6.一种物理量传感器，其特征在于，该物理量传感器具有权利要求1至4中的任一项所 述的振动片。
7.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有权利要求1至4中的任一项所述的振动片。
全文摘要
振动片、振子、物理量传感器以及电子设备。本发明的目的是提供一种具有进行扭转振动的振动片的高精度的物理量传感器。作为解决手段，振动片具有第1驱动梁及第2驱动梁，其以扭转振动模式振动，且相互并列地在X轴方向上延伸；支撑部，其结合第1驱动梁及第2驱动梁的一端彼此及另一端彼此；以及第1检测臂及第2检测臂，其在相对于X轴方向垂直的Y轴方向上，分别从第1驱动梁及第2驱动梁延伸，在驱动模式中，第1驱动梁及第2驱动梁在相反的方向上扭转振动，第1检测臂及第2检测臂在Z轴方向上振动，并且，第1检测臂及第2检测臂在相同的方向上振动，在检测模式中，在绕Y轴方向施加了角速度时，第1检测臂及第2检测臂在X轴方向上振动。
文档编号G01P9/04GK102121826SQ20101059004
公开日2011年7月13日 申请日期2010年12月15日 优先权日2009年12月16日
发明者押尾政宏 申请人:精工爱普生株式会社
专业数控铣床产品供应商
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