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专利名称：半导体扩散炉用贵金属热电偶的制作方法
技术领域：
半导体扩散炉用贵金属热电偶本实用新型涉及温度测量传感器技术领域，具体地说是半导体扩散炉用贵金属热电偶。贵金属热电偶是温度测量传感器的一种，具有耐高温、外表美观、化学性质稳定的特性，被广泛应用于制造业，化工等行业。在半导体扩散炉设备中，工艺温度很高，可达1300摄氏度，需要使用贵金属热电偶作为测温元件。传统的半导体扩散炉设备所用的贵金属热电偶称之为扩散炉热电偶，一般只采用刚玉管做绝缘，其长期在扩散炉腔体内的高温状态下工作，由于炉内有还原性气体，该还原性气体在高温下容易与偶丝反应，使偶丝表面产生 一层薄膜，进而造成偶丝成分变化，并导致测温精度下降。并且在扩散炉设备升温降温时，此薄膜熔点与偶丝熔点不同，造成偶丝表面产生应力，致使偶丝变脆，甚至断裂，极大的降低了偶丝的寿命。本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种测温精度高、使用寿命长的半导体扩散炉用贵金属热电偶。为实现上述目的设计一种半导体扩散炉用贵金属热电偶，包括偶丝、绝缘保护管和接线盒，所述偶丝设置在绝缘保护管内，所述绝缘保护管的一端连接接线盒，所述绝缘保护管为陶瓷管，所述陶瓷管外设有耐高温保护套管，所述耐高温保护套管为石英套管，所述陶瓷管、石英套管与偶丝尾端的节点处设有不锈钢接头，所述陶瓷管与石英套管固定连接。所述不锈钢接头处设有填充剂。所述偶丝为钼铑丝。本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，由于在陶瓷管外设有石英套管，并增设了不锈钢接头，以及在不锈钢接头处设有填充剂，从而保证了陶瓷管与石英套管的紧密连接，避免了还原性气体与偶丝发生反应，不仅使用寿命长，而且使得扩散炉热电偶的测温精度得到很大的提高，对生产工艺的精确控制起到很大作用，从而实现了良品率的提升，提高了产量和质量。图I是本实用新型的结构示意图；图2是本实用新型中陶瓷管的结构示意图；图中1、陶瓷管2、石英套管3、不锈钢接头4、接线盒。
以下结合附图
对本实用新型作以下进一步说明[0012]如附图所示，本实用新型包括偶丝、绝缘保护管和接线盒4，所述偶丝为钼铑丝，所述偶丝设置在绝缘保护管内，所述绝缘保护管的一端连接接线盒，所述绝缘保护管为陶瓷管1，所述陶瓷管外设有耐高温保护套管，所述耐高温保护套管为石英套管2，所述陶瓷管、石英套管与偶丝尾端的节点处设有不锈钢接头3，所述不锈钢接头处设有填充剂，所述陶瓷管与石英套管固定连接。本实用新型中，根据传统的半导体扩散炉热电偶使用中存在的不足，主要从避免扩散炉热电偶接触还原性气体这个方面入手，将可以耐高温的石英套管套设在陶瓷管的外面，并将陶瓷管与石英套管固定连接，在陶瓷管与热电偶偶丝尾线的节点处增加了不锈钢接头。但由于陶瓷管与石英套管的连接并不紧密，在高温环境下，还会有缝隙产生，还原性气体仍会进入，所以在不锈钢接头处用工业修复剂做修复填充，使扩散炉热电偶尾线以前部分的偶丝在一个密闭的环境中。这样既增加了热缓冲，又保证了还原性气体无法接触到偶丝，避免了偶丝与还原性气体发生反应。本实用新型并不受上述实施方式的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种半导体扩散炉用贵金属热电偶，包括偶丝、绝缘保护管和接线盒，所述偶丝设置在绝缘保护管内，所述绝缘保护管的一端连接接线盒，其特征在于所述绝缘保护管为陶瓷管，所述陶瓷管外设有耐高温保护套管，所述耐高温保护套管为石英套管，所述陶瓷管、石英套管与偶丝尾端的节点处设有不锈钢接头，所述陶瓷管与石英套管固定连接。
2.如权利要求I所述的半导体扩散炉用贵金属热电偶，其特征在于所述不锈钢接头处设有填充剂。
3.如权利要求I或2所述的半导体扩散炉用贵金属热电偶，其特征在于所述偶丝为钼铑丝。
专利摘要本实用新型涉及温度测量传感器技术领域，具体地说是半导体扩散炉用贵金属热电偶，包括偶丝、绝缘保护管和接线盒，所述偶丝设置在绝缘保护管内，所述绝缘保护管的一端连接接线盒，所述绝缘保护管为陶瓷管，所述陶瓷管外设有耐高温保护套管，所述耐高温保护套管为石英套管，所述陶瓷管、石英套管与偶丝尾端的节点处设有不锈钢接头，所述不锈钢接头处设有填充剂，所述陶瓷管与石英套管固定连接；本实用新型不仅使用寿命长，而且测温精度高，对生产工艺的精确控制起到很大作用，从而实现了良品率的提升，提高了产量和质量。
文档编号G01K1/08GK202420706SQ20122001960
公开日2012年9月5日 申请日期2012年1月17日 优先权日2012年1月17日
发明者王冬霞 申请人:上海甫研电子科技有限公司