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差分电容式微加速度计的制作方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种差分电容式微加速度计，它包括上移动板、下移动板和固定在上移动板和下移动板上的弹性梁，所述的上移动板和下移动板的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板和下移动板之间还设置有固定极板，所述的固定极板为菱形。其优点是：结构简单，制作工序简单，且电容差值变化沿一定的规律变化，可简化后续的信号处理电路。
【专利说明】差分电容式微加速度计
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及微电子领域，更具体的说是涉及一种差分电容式微加速度计。
【背景技术】
[0002]加速度计是测量载体惯性加速度的仪器，其运用在很多方面。譬如航天航空领域。惯性导航和制导都是以加速度计敏感测量载体运动加速度为基础，因此加速度计的性能直接影响到整个系统的测量精度稳定性以及最终的导航精度。现有的加速度计其包括支撑体、上极板、下极板、导向槽、附加质量块、基座等，其结构复杂，使得加速度计在加工生产时其工序繁琐，使得加工成本和生产成本较高。采用现有的结构方式，使得在对电容差值变化的电路检测中，信号处理电路的结构相对复杂。
实用新型内容
[0003]本实用新型提供一种差分电容式微加速度计，其结构简单，制作工序简单，且电容差值变化沿一定的规律变化，可简化后续的信号处理电路。
[0004]为解决上述的技术问题，本实用新型采用以下技术方案:
[0005]差分电容式微加速度计，它包括上移动板、下移动板和固定在上移动板和下移动板上的弹性梁，所述的上移动板和下移动板的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板和下移动板之间还设置有固定极板，所述的固定极板为菱形。
[0006]更进一步的技术方案是:
[0007]所述的上活动极板包括左上活动极板和右上活动极板,所述的下活动极板包括左下活动极板和右下活动极板。
[0008]所述的左上活动极板和左下活动极板位于同一垂直面上，所述的右上活动极板和右下活动极板位于同一垂直面上。
[0009]所述的固定极板位于左上活动极板和右上活动极板的中间。
[0010]所述的固定极板的一条对称轴位于左上活动极板和左下活动极板的中线上。
[0011]与现有技术相比，本实用新型的有益效果是:
[0012]1、本实用新型的结构简单，简化了制作工序，降低了成产成本。
[0013]2、本实用新型在对电容的差值变化进行检测时，其电容的变化按一定的斜率变化，使得后续的信号处理电路更简单。
【专利附图】

【附图说明】
[0014]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明。
[0015]图1为本实用新型的结构示意图。
[0016]图中的标号为:11、下移动板；12、上移动板；21、右下活动极板；22、左下活动极板；31、右上活动极板；32、左上活动极板；4、固定极板；5、弹性梁。【具体实施方式】
[0017]下面结合附图对本实用新型作进一步的说明。本实用新型的实施方式包括但不限于下列实施例。
[0018][实施例]
[0019]如图1所示的差分电容式微加速度计，它包括上移动板12、下移动板11和固定在上移动板12和下移动板11上的弹性梁5，所述的上移动板12和下移动板11的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板12和下移动板11之间还设置有固定极板4,所述的固定极板4为菱形。
[0020]所述的上活动极板包括左上活动极板32和右上活动极板31,所述的下活动极板包括左下活动极板22和右下活动极板21。
[0021]所述的左上活动极板32和左下活动极板22位于同一垂直面上，所述的右上活动极板31和右下活动极板21位于同一垂直面上。
[0022]所述的固定极板4位于左上活动极板32和右上活动极板31的中间。
[0023]所述的固定极板4的一条对称轴位于左上活动极板32和左下活动极板22的中线上。
[0024]为了提高测量的精度，在固定极板4的两侧均设置有活动极板。将固定极板4设置在上活动极板和下活动极板的中间，便于对电容变化的差值进行测量，简化后续的信号处理电路。
[0025]本实施例的工作过程如下:
[0026]当竖直方向的加速度作用于弹性梁5时，通过上移动板12/下移动板11可带动上活动极板/下活动极板向下/上移动，由于固定极板4的位置不会发生变化，则固定极板4会与上活动极板和下活动极板产生一个差动变化的电容值，上活动极板上的电容值增大/减小，下活动极板上的电容值减小/增大，通过对差动变化的电容值的检测即可测得加速度。
[0027]由于固定极板为菱形，上移动板12/下移动板11在移动的过程中，其变化是按一定的斜率变化的，呈现一定的规律，使得后续的信号处理电路的结构变得简单。
[0028]如上所述即为本实用新型的实施例。本实用新型不局限于上述实施方式，任何人应该得知在本实用新型的启示下做出的结构变化，凡是与本实用新型具有相同或相近的技术方案，均落入本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.差分电容式微加速度计，其特征在于:它包括上移动板(12)、下移动板(11)和固定在上移动板(12)和下移动板(11)上的弹性梁(5)，所述的上移动板(12)和下移动板(11)的两个相对面上分别固定有上活动极板和下活动极板，所述的上移动板(12)和下移动板(11)之间还设置有固定极板(4 )，所述的固定极板(4 )为菱形。
2.根据权利要求1所述的差分电容式微加速度计，其特征在于:所述的上活动极板包括左上活动极板(32)和右上活动极板(31)，所述的下活动极板包括左下活动极板(22)和右下活动极板(21)。
3.根据权利要求2所述的差分电容式微加速度计，其特征在于:所述的左上活动极板(32)和左下活动极板(22)位于同一垂直面上，所述的右上活动极板(31)和右下活动极板(21)位于同一垂直面上。
4.根据权利要求3所述的差分电容式微加速度计，其特征在于:所述的固定极板(4)位于左上活动极板(32)和右上活动极板(31)的中间。
5.根据权利要求4所述的差分电容式微加速度计，其特征在于:所述的固定极板(4)的一条对称轴位于左上活动极板(32)和左下活动极板(22)的中线上。
【文档编号】G01P15/125GK203519641SQ201320654608
【公开日】2014年4月2日 申请日期:2013年10月23日 优先权日:2013年10月23日
【发明者】黄友华 申请人:成都市宏山科技有限公司