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一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置制造方法
【专利摘要】一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置，它包括一氢气管路、一氩气管路、一空气管路、一具有定量管的六通阀、一混合型填充色谱柱和一氢火焰离子化检测器；氢气管路的输出端和氩气管路的输出端与具有定量管的六通阀相连接，具有定量管的六通阀依次与混合型填充色谱柱和氢火焰离子化检测器相连接，空气管路的输出端与氢火焰离子化检测器相连接，混合型填充色谱柱中设置有吸附填充物；与现有技术相比，在没有切割流程的条件下，通过混合型填充色谱柱中的吸附填充物将进入的大量二氧化碳吸收，消除了大量二氧化碳主峰信号对微量一氧化碳和甲烷的影响，完成大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析测定，大大降低了成本，且简化了操作。
【专利说明】一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种气体的分析装置，特别涉及一种在大量二氧化碳中分析微量一氧化碳和甲烷的分析装置。
【背景技术】
[0002]在现有技术中，二氧化碳由于其性质稳定，作为清洗剂大量应用于半导体行业，随着需求的增加，越来越多的企业单位都在进行液体二氧化碳生产工艺的改进和二氧化碳纯化技术的研发，逐步进入高纯度二氧化碳的生产和检测领域，这就要求我们在生产高纯二氧化碳能力的同时，具备简单、快速和有效高纯度二氧化碳的分析检测装置。
[0003]大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷通常采用带切割流程的DID气相色谱仪检测，该仪器价格昂贵，一台仪器目前价格在30-40万，这对中小型企业负担较重，所以普及程度较低，并且仪器气路复杂，维护成本高，同时对操作人员的技术要求也较高。
[0004]因此，特别需要一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置，以解决上述现有存在的问题。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于提供一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置，针对现有技术的不足，在没有切割流程的条件下，完成大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析测定，大大降低了成本，且简化了操作。
[0006]本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
[0007]—种大量二氧化碳中微量气体的分析装置，其特征在于，它包括一氢气管路、一IS气管路、一空气管路、一具有定量管的六通阀、一混合型填充色谱柱和一氢火焰离子化检测器；所述氢气管路的输出端和所述氩气管路的输出端与所述具有定量管的六通阀相连接，所述具有定量管的六通阀依次与所述混合型填充色谱柱和氢火焰离子化检测器相连接，所述空气管路的输出端与所述氢火焰离子化检测器相连接，所述混合型填充色谱柱中设置有用于吸附二氧化碳的吸附填充物。
[0008]在本实用新型的一个实施例中，所述氢气管路包括一氢气钢瓶和一氢气表，所述氢气钢瓶通过氢气表与所述具有定量管的六通阀相连接。
[0009]在本实用新型的一个实施例中，所述IS气管路包括一IS气钢瓶和一IS气表，所述氩气钢瓶通过氩气表与所述具有定量管的六通阀相连接。
[0010]在本实用新型的一个实施例中，所述空气管路包括一空气钢瓶和一氧气表，所述空气钢瓶通过氧气表与所述氢火焰离子化检测器相连接。
[0011]在本实用新型的一个实施例中，所述混合型填充色谱柱和氢火焰离子化检测器之间设置有一甲烷化转化器。
[0012]在本实用新型的一个实施例中，所述空气管路中设置有一干燥净化管。
[0013]在本实用新型的一个实施例中，所述氢气管路、氩气管路和空气管路中均设置有稳压阀和流量计。
[0014]本实用新型的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，与现有技术相比，在没有切割流程的条件下，通过混合型填充色谱柱中的吸附填充物将进入的大量二氧化碳吸收，消除了大量二氧化碳主峰信号对微量一氧化碳和甲烷的影响，有效防止大量二氧化碳进入造成熄火不能分析检测的问题，完成大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析测定，大大降低了成本，且简化了操作，实现本实用新型的目的。
[0015]本实用新型的特点可参阅本案图式及以下较好实施方式的详细说明而获得清楚地了解。
【专利附图】

【附图说明】
[0016]图1为本实用新型的大量二氧化碳中微量气体的分析装置的结构示意图。
【具体实施方式】
[0017]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示，进一步阐述本实用新型。
实施例
[0018]如图1所示，本实用新型的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，它包括一氢气管路100、一氩气管路200、一空气管路300、一具有定量管的六通阀400、一混合型填充色谱柱500和一氢火焰离子化检测器600 ;所述氢气管路100的输出端和所述氩气管路200的输出端与所述具有定量管的六通阀400相连接，所述具有定量管的六通阀400依次与所述混合型填充色谱柱500和氢火焰离子化检测器600相连接，所述空气管路300的输出端与所述氢火焰离子化检测器600相连接，所述混合型填充色谱柱500中设置有用于吸附二氧化碳的吸附填充物。
[0019]在本实施例中，所述氢气管路100包括一氢气钢瓶110和一氢气表120,所述氢气钢瓶110通过氢气表120与所述具有定量管的六通阀400相连接。
[0020]在本实施例中，所述IS气管路200包括一IS气钢瓶210和一Is气表220,所述IS气钢瓶210通过氩气表220与所述具有定量管的六通阀400相连接。
[0021]在本实施例中，所述空气管路300包括一空气钢瓶310和一氧气表320，所述空气钢瓶310通过氧气表320与所述氢火焰离子化检测器600相连接。
[0022]在本实施例中，所述混合型填充色谱柱500和氢火焰离子化检测器600之间设置有一甲烷化转化器700。
[0023]在本实施例中，所述空气管路300中设置有一干燥净化管330。
[0024]在本实施例中，所述氢气管路100、氩气管路200和空气管路300中均设置有稳压阀800和流量计900。
[0025]所述混合型填充色谱柱500中的吸附填充物为分子筛类的吸附剂，所述混合型填充色谱柱500为不锈钢柱，所述混合型填充色谱柱500的外径为3mm，长为1-1.5m。
[0026]所述混合型填充色谱柱500可保证将进入的大量二氧化碳吸收，并保持6-8小时不脱附，这样消除了大量二氧化碳主峰信号对微量甲烷、一氧化碳的影响，同时能有效防止大量二氧化碳进入检测器造成检测器熄火不能分析检测。
[0027]该技术首先大幅度降低了大量二氧化碳中微量的一氧化碳和甲烷的分析检测成本，只有DID气相色谱仪价格的十分之一左右，同时维护成本也较低，对操作人员的要求也比较低，可广泛应用普及，同时检测速度快，维护成本低。
[0028]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内，本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.一种大量二氧化碳中微量气体的分析装置，其特征在于，它包括一氢气管路、一IS气管路、一空气管路、一具有定量管的六通阀、一混合型填充色谱柱和一氢火焰离子化检测器；所述氢气管路的输出端和所述氩气管路的输出端与所述具有定量管的六通阀相连接，所述具有定量管的六通阀依次与所述混合型填充色谱柱和氢火焰离子化检测器相连接，所述空气管路的输出端与所述氢火焰离子化检测器相连接，所述混合型填充色谱柱中设置有用于吸附二氧化碳的吸附填充物。
2.如权利要求1所述的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，其特征在于，所述氢气管路包括一氢气钢瓶和一氢气表，所述氢气钢瓶通过氢气表与所述具有定量管的六通阀相连接。
3.如权利要求1所述的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，其特征在于，所述氩气管路包括一IS气钢瓶和一IS气表，所述IS气钢瓶通过IS气表与所述具有定量管的六通阀相连接。
4.如权利要求1所述的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，其特征在于，所述空气管路包括一空气钢瓶和一氧气表，所述空气钢瓶通过氧气表与所述氢火焰离子化检测器相连接。
5.如权利要求1所述的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，其特征在于，所述混合型填充色谱柱和氢火焰离子化检测器之间设置有一甲烷化转化器。
6.如权利要求1所述的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，其特征在于，所述空气管路中设置有一干燥净化管。
7.如权利要求1所述的大量二氧化碳中微量气体的分析装置，其特征在于，所述氢气管路、氩气管路和空气管路中均设置有稳压阀和流量计。
【文档编号】G01N30/68GK203422360SQ201320436290
【公开日】2014年2月5日 申请日期:2013年7月22日 优先权日:2013年7月22日
【发明者】刘炜炜, 张扬 申请人:上海浦江特种气体有限公司