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专利名称：半导体测试仪及其半导体测试台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体测试领域，更具体的涉及一种半导体测试台，本实用新型还涉及一种包括上述半导体测试台的半导体测试仪。
背景技术：
随 着经济的发展，半导体产品已进入到人们生活的方方面面，同时，半导体测试技术也日趋成熟。目前，市场上用于测试二极管、三极管等半导体元件的测试仪包括盖板和设置于该盖板下表面的测试座，通过与待测体相接触以达到测试目的的若干测试针设置于该测试座上，且测试针竖直方向设置。测试台设置于上述测试座的下方。若干待测体紧密排列于容置待测体的模板上，而后将该模板置于测试台的上表面。测试前，需人工调整容置有待测体的模板位置，以使待测体与测试针一一对位。而后，驱动测试座下降，直至测试针与待测体充分接触。显然，现有技术中的半导体测试仪对待测体进行测试前，操作人员需调整容置有待测体的模板在水平面内的具体位置。然而，依靠手工调整模板的具体位置，人手所能控制的精度不确定，误差比较大。测试针与待测体较难实现一一对位，从而，经常导致待测体卡于两测试针之间或者测试针拨乱待测体的摆放位置等问题。此外，由上述可知，测试台固定不动，测试针与待测体的接触是通过测试座竖直方向的移动实现的。测试座上的线路布置相当复杂，测试座的上下移动，容易导致线路中断等问题。且出现该问题后，对测试座的检查维修是比较繁琐的，需要拆卸测试针方可完成，而拆卸测试针的过程对其具有不可修复的破坏性。因此，如何提高测试针与待测试体一一对位的可靠性，成为本技术领域人员所要解决的重要技术问题。

实用新型内容有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种半导体测试台，该半导体测试台可显著提高测试针与待测试体一一对位的可靠性，本实用新型的另一个目的是提供一种包括上述半导体测试台的测试仪。本实用新型提供的半导体测试台，包括平台装置、将所述平台装置限制于两个水平且相互垂直的方向的导轨装置及驱动所述平台装置沿所述导轨装置位移的驱动装置。优选地，所述导轨装置具体为水平设置且相互垂直的第一导轨和第二导轨，所述第一导轨可滑动的设置于固定设置的所述第二导轨的上表面，所述平台装置可滑动的设置于所述第一导轨的上表面；且所述驱动装置包括驱动所述平台装置沿所述第一导轨直线位移的第一驱动装置及驱动所述第一导轨沿所述第二导轨直线位移的第二驱动装置。优选地，所述平台装置包括底盘、升降平台、设置于所述底盘和所述升降平台之间且与所述底盘固定连接的竖直导轨及驱动所述升降平台沿所述竖直导轨上下位移的第三驱动装置；且所述底盘与所述第一驱动装置的动力输出端相连接。优选地，所述第一导轨的下表面设置有第一滑块，所述第二导轨的上表面设置有与所述第一滑块相适配的第一滑槽，所述第一导轨通过相适配的所述第一滑块与所述第一滑槽可滑动的连接于所述第二导轨的上表面。优选地，所 述底盘的下表面设置有第二滑块，所述第一导轨的上表面设置有与所述第二滑块相适配的第二滑槽，所述底盘通过相适配的所述第二滑块与所述第二滑槽可滑动的连接于所述第一导轨的上表面。优选地，还包括平行于所述第二导轨设置的辅助支撑滑轨，且所述第一导轨可滑动的设置于所述辅助支撑滑轨的上表面。优选地，所述第一驱动装置、所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均为直线电动机。优选地，所述第一驱动装置、所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均具体为包括液压泵及由所述液压泵提供油压的液压缸的驱动装置。本实用新型还提供一种半导体测试仪，包括盖板、测试座及固定设置于所述测试座的下表面的测试针，所述测试座固定设置于所述盖板的下方，且所述测试座的下方设置有上述任一项所述的半导体测试台。优选地，所述盖板设置有判断所述测试针是否与待测体相对位的光检测装置，所述半导体测试仪还包括对所述光检测装置提供的判断信号作出处理并形成控制信号以控制三个所述直线电动机的信号处理装置。本实用新型所提供的半导体测试台包括平台装置、导轨装置及驱动装置。容置有若干待测体的模板置于该平台装置的上表面，且平台装置受导轨装置的约束只能沿水平且相互垂直的两个方向直线位移，所述驱动装置提供所述平台装置位移的驱动力。如此设置， 平台装置受导轨装置的约束，只可在水平面内相垂直的两个方向位移，相对于现有技术，本实用新型完全限制了平台装置以竖直直线为转轴而转动的自由度，从而有效限制了待测体在该平台装置的转动。在上述基础之上，本实用新型用驱动装置代替现有技术中人手操作， 从而有效提高了驱动位移精度，可有效规避人手操作精度不确定、误差比较大的缺陷。如此，可显著提高测试针与待测试体一一对位的可靠性。本实用新型还提供了一种半导体测试仪，包括盖板、下表面设置有若干测试针的测试座，该测试座固定设置于所述盖板的下方，所述测试座的下表面与上述任一种的半导体测试台相对应。如此设置，测试座固定设置，相对于现有技术中测试座可上下位移，其内部的线路避免了因测试座的上下位移而产生中断的问题，从而有效避免了因拆卸测试座而对测试针带来的不可修复的损坏。

图1为具体实施方式
中所述半导体测试台结构示意图；图2为具体实施方式
中所述测试台A部放大结构示意图；图3为具体实施方式
中所述半导体测试仪结构示意图。
具体实施方式
[0023]本实用新型的核心是提供一种半导体测试台，其能够有效提高测试针与待测体一一对位的可靠性，本实用新型还提供了一种包括该半导体测试台的半导体测试仪。为了使本技术领域人员更好的理解本实用新型方案，
以下结合附图和具体实施方式
对本发明作进一步的详细说明。请参考图1， 图1为具体实施方式
中所述半导体测试台结构示意图。本具体实施方式
中所提供的半导体测试台具有平台装置11、导轨装置12及驱动装置(图中未示出)。需要指出的是，该导轨装置12的作用是限制平台装置11令其在水平面内只可沿相互垂直的两个方向运动。平台装置11的平台表面111用于托放容置有若干待测体的模板(图中未示出)。平台装置11在导轨装置12产生位移的驱动力是由驱动装置所提供。如此设置，平台装置11受导轨装置12的约束，平台装置11只可在水平面内相垂直的两个方向位移，相对于现有技术，本实用新型完全限制了平台装置11以竖直直线为转轴而转动的自由度，从而有效限制了待测体在该平台装置的转动。在上述基础上，本实用新型用驱动装置代替现有技术中人手操作，需要指出的是，有关驱动装置的技术领域已相对成熟，本技术领域人员完全可根据现有技术使驱动装置的驱动位移达到一定精度，且该“一定精度”可以比人手操作达到的精度更加精密。如此，可显著提高测试针与待测试体一一对位的可靠性。本具体实施方式
中导轨装置12可具体为水平设置且相互垂直的第一导轨121和第二导轨122，第一导轨121可滑动的设置于第二导轨122的上表面。需要指出的是，第二导轨122的位置必须为固定的，如此，方可保证平台装置11位移具有一定的精度。第一导轨121和第二导轨122之间的连接方式可如下设置，第二导轨122上表面设置有第一滑槽 1221，第一导轨121的下表面设置有第一滑块(图中未示出)。需要指出的是，为了保证第一导轨121在第二导轨122上表面滑动的稳定性，避免第一导轨121出现晃动等问题，在可实现第一导轨121可正常滑动的前提下，可于第二导轨122上表面设置两个相互平行的第一滑槽1221。相应地，与第一滑槽1221相适配的第一滑块的数量也可为两个。当然，在不影响第一导轨121正常滑动的情况下，第一滑槽1221和第一滑块的数量还可相应增加。如此设置，平台装置11可滑动的设置于第一导轨121的上表面，即可实现平台装置11在水平面内两个相互垂直的方向的移动。如图所示，平台装置11可在第一导轨121 上左右滑动，同时，平台装置11可通过第一导轨121在第二导轨122上表面的滑动实现其前后运动。需要指出的是，驱动第一导轨121在第二导轨122上表面滑动的驱动力可由第二驱动装置(图中未示出)提供。如此设置，第一导轨121在第二导轨122上表面的移动即可实现。上述内容介绍了本具体实施方式
中所提供的半导体测试台能够水平位移以实现待测体与测试针一一对位。而后，平台装置11的平台表面111部分需上升以实现待测体与测试针的相接触，方可实现测试目的。下面内容将对平台装置11进行详细介绍。平台装置11可包括底盘112、升降平台113及设置于二者之间的竖直导轨114.。 需要指出的是，该竖直导轨114可以和底盘112为一体式结构，升降平台112可滑动的装配于该竖直导轨114即可。当然，竖直导轨114也可和升降平台113为一体式结构，只需保证升降平台113可相对底盘112上下位移即可。同样，升降平台113可由第三驱动装置(图中未示出)驱动其实现相对底盘112的上下位移。根据以上内容所述，平台装置11可通过底盘112与第一导轨121的相配合实现平台装置11可滑动的设置于第一导轨121的上表面，其具体实施方式
可如下所述。请参考图2，图2为具体实施方式
中所述测试台A部放大结构示意图。底盘112的下表面可设置有第二滑块1121，第一导轨121的上表面设置有与该第二滑块1121相适配的第二滑槽1211。如此，底盘112通过第二滑块1121与第二滑槽1211 可滑动的设置于第一 导轨121的上表面。当然，为了增加平台装置11与第一导轨121相配合的稳定性，第二滑槽1211可设置为两个相互平行的滑槽，当然，也可以为多个，只需能保证平台装置11可在第一导轨121的上表面正常滑动即可。需要指出的是，如图所示的平台装置11可在第一导轨121的上表面左右滑动，第一导轨121可在第二导轨122的上表面前后滑动。为了减小第一导轨121的下表面与第二导轨122的上表面之间的摩擦力可将两导轨具体设置为长条形板状结构，以尽量减少二者之间的摩擦面积。然而，当平台装置11竖直方向的投影在第二导轨122的边侧的时候，测试台容易失去平衡而发生倾斜。为解决上述问题，可平行于第二导轨122方向设置一辅助支撑滑轨123，第一导轨 121可滑动的支撑于该辅助支撑滑轨123的上表面。如此设置，平台装置11及第一导轨121 可有效避免倾斜现象的发生。需要指出的是，本具体实施方式
中底盘112相对第一导轨121滑动、升降平台113 相对底盘112上下位移及第一导轨121相对第二导轨122滑动，其驱动力分别由与之对应第一驱动装置、第三驱动装置及第二驱动装置提供，该三种驱动装置均可以为直线电动机 (图中未示出)。需要指出的是，本具体实施方式
中所提供的半导体测试台可通过上述直线电动机分别控制第一导轨121、底盘112及升降平台112以实现待测体(图中未示出)与测试针的一一对位及二者之间的接触。由于现有技术中，直线电动机的控制精度较相对成熟， 本技术领域人员完全可通过现有技术实现，故本具体实施方式
不再赘述。当然，上述三种驱动装置也可为其它驱动装置，只需能够精确控制上述第一导轨 121、底盘112及升降平台113的位移即可。比如，上述三种驱动装置还可具体为由液压泵 (图中未示出)提供液压油的液压缸装置(图中未示出)，通过液压缸装置驱动上述第一导轨121、底盘112及升降平台112也可方便实现其精确位移的目的。本具体实施方式
还提供了一种包括上述任一种半导体测试台的半导体测试仪。请参考图3，图3为具体实施方式
中所述半导体测试仪结构示意图。该半导体测试仪还包括盖板13、测试座14及设置于该测试座下表面的测试针 141。需要指出的是，平台装置11的上表面与测试座14的下表面相对应，且测试座14的位置固定。如此设置，测试座14固定设置，待测体与测试针141的接触是由平台装置11位移而实现的。相对于现有技术中测试座可上下位移，其内部的线路避免了因测试座14的上下位移而产生中断的问题，从而有效避免了因拆卸测试座14而对测试针141带来的不可修复的损坏。本具体实施方式
所提供的半导体测试仪，还包括光检测装置15，该光检测装置15可识别置于平台装置11上表面的待测体的具体位置，且可发出判断信号，该光检测装置 15可通信的连接于信号处理装置(图中未示出)，该信号处理装置可根据光检测装置15提供的判断信号作出反应，并形成控制信号，上述三个直线电动机可通信的连接于该信号处理装置，从而，实现对直线电动机的控制以实现待测体与测试针141的一一对位。 如此设置，当待测体与测试针141对位不准确时，光检测装置15发出判断信号给信号处理装置，信号处理装置形成控制信号控制三个直线电动机继续动作，直至待测体与测试针141对位准确，光检测装置15发出判断信号给信号处理装置，信号处理装置发出控制信号控制三个直线电动机停止动作。如此，完全可通过自动化设置取代人工操作，既节省了人力又较好实现了定位精度。至于光检测装置15与信号处理装置具体如何实施，现有技术已相对成熟，本领域人员完全可根据现有技术实现上述功能，故本文不再赘述。以上对本实用新型所提供的一种半导体测试仪及其半导体测试台进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以对本实用新型进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本实用新型权利要求的保护范围内。
权利要求1.一种半导体测试台，其特征在于，包括平台装置、将所述平台装置限制于两个水平且相互垂直的位移方向的导轨装置及驱动所述平台装置沿所述导轨装置位移的驱动装置。
2.如权利要求1所述的半导体测试台，其特征在于，所述导轨装置具体为水平设置且相互垂直的第一导轨和第二导轨，所述第一导轨可滑动的设置于固定设置的所述第二导轨的上表面，所述平台装置可滑动的设置于所述第一导轨的上表面；且所述驱动装置包括驱动所述平台装置沿所述第一导轨直线位移的第一驱动装置及驱动所述第一导轨沿所述第二导轨直线位移的第二驱动装置。
3.如权利要求2所述的半导体测试台，其特征在于，所述平台装置包括底盘、升降平台、设置于所述底盘和所述升降平台之间且与所述底盘固定连接的竖直导轨及驱动所述升降平台沿所述竖直导轨上下位移的第三驱动装置；且所述底盘与所述第一驱动装置的动力输出端相连接。
4.如权利要求3所述的半导体测试台，其特征在于，所述第一导轨的下表面设置有第一滑块，所述第二导轨的上表面设置有与所述第一滑块相适配的第一滑槽，所述第一导轨通过相适配的所述第一滑块与所述第一滑槽可滑动的连接于所述第二导轨的上表面。
5.如权利要求4所述的半导体测试台，其特征在于，所述底盘的下表面设置有第二滑块，所述第一导轨的上表面设置有与所述第二滑块相适配的第二滑槽，所述底盘通过相适配的所述第二滑块与所述第二滑槽可滑动的连接于所述第一导轨的上表面。
6.如权利要求5所述的半导体测试台，其特征在于，还包括平行于所述第二导轨设置的辅助支撑滑轨，且所述第一导轨可滑动的设置于所述辅助支撑滑轨的上表面。
7.如权利要求6所述的半导体测试台，其特征在于，所述第一驱动装置、所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均为直线电动机。
8.如权利要求6所述的半导体测试台，其特征在于，所述第一驱动装置、所述第二驱动装置和所述第三驱动装置均具体为包括液压泵及由所述液压泵提供油压的液压缸的驱动装置。
9.一种半导体测试仪，包括盖板、测试座及固定设置于所述测试座的下表面的测试针， 其特征在于，所述测试座固定设置于所述盖板的下方，且所述测试座的下方设置有如权利要求1-7任一项所述的半导体测试台。
10.如权利要求9所述的半导体测试仪，其特征在于，所述盖板设置有判断所述测试针是否与待测体相对位的光检测装置，所述半导体测试仪还包括对所述光检测装置提供的判断信号作出处理并形成控制信号以控制三个所述直线电动机的信号处理装置。
专利摘要本实用新型涉及一种半导体测试仪及其半导体测试台。本实用新型提供了一种半导体测试台，包括平台装置、将所述平台装置限制于两个水平且相互垂直的位移方向的导轨装置及驱动所述平台装置沿所述导轨装置位移的驱动装置。如此设置，可有效提高测试针与待测试体一一对位的可靠性。本实用新型还提供了一种包括上述半导体测试台的半导体测试仪，其能够避免因测试座的上下位移而导致其内部的线路产生中断的问题，从而有效避免了因拆卸测试座而对测试针带来的不可修复的损坏。
文档编号G01R31/26GK202066940SQ201020663768
公开日2011年12月7日 申请日期2010年12月16日 优先权日2010年12月16日
发明者张巍巍 申请人:江阴格朗瑞科技有限公司