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专利名称：沉积箱真空度检测装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种检测装置，尤其涉及一种太阳能电池生产过程中的沉积箱真 空度检测装置。
背景技术：
在太阳能电池生产过程中，有一个很重要的生产工艺，叫做化学气象沉积，即在一 个真空室里面通入相应的工艺气体，在一定的条件下，进行非晶硅镀层的生产，此生产过程 对真空室的真空度以及真空度精度的要求很高，这就需要有一个测量范围大，测量精度高 的检测装置。

实用新型内容为了解决上述技术问题本实用新型提供一种沉积箱真空度检测装置，目的是增加 了真空度的测量范围。为达上述目的本实用新型沉积箱真空度检测装置，由下述结构成电磁阀，电磁阀 与进气管连接，在进气管上通过管路与电阻规连接，电磁阀与电离规连接，电离规与电离规 信号线连接，电阻规与电阻规信号线连接，电磁阀上设有电磁阀信号线。所述的进气管通过法兰与电磁阀连接。所述的进气管与电阻规之间的管路上设有法兰。所述的电磁阀与电离规之间通过管路连接。所述的电磁阀与电离规之间的管路上设有法兰。本实用新型的优点效果将电阻规和电离规先后安装在一个管路上，测量范围可 从100000帕至0. 0001帕，并且中间安装有电磁阀，可以单独使用电阻规，也可以同时使用 电阻规和电离规，本实用新型结构简单，增加了真空度的测量范围，测量精度高，实用性强。

图1是本实用新型的结构示意图。图中1、法兰；2、电阻规；3、电离规；4、电阻规信号线；5、电离规信号线；6、电磁 阀；7、电磁阀信号线；8、进气管。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。如图所示本实用新型沉积箱真空度检测装置，由下述结构构成电磁阀6，电磁阀 6与进气管8连接，在进气管8上通过管路与电阻规2连接，电磁阀6与电离规3连接，电离 规3与电离规信号线5连接，电阻规2与电阻规信号线4连接，电磁阀6上设有电磁阀信号 线7，进气管8通过法兰1与电磁阀6连接，进气管8与电阻规2之间的管路上设有法兰，电 磁阀6与电离规3之间通过管路连接，电磁阀6与电离规3之间的管路上设有法兰。[0014] 本实用新型当需要单独使用电阻规时，将电磁阀关闭，这样电阻规测量范围为 100000帕至10帕，而当测量范围需要扩大时，将电磁阀打开，启动电离规，电离规的测量范 围从10帕到0. 0001帕，这样本实用新型的检测范围为100000帕至0. 0001帕。并且在真 空度达到要求后，化学气象沉积开始后，工艺气体会对电离规造成污染，电磁阀关闭后，对 电离规起到保护作用。
权利要求沉积箱真空度检测装置，其特征在于由下述结构构成电磁阀，电磁阀与进气管连接，在进气管上通过管路与电阻规连接，电磁阀与电离规连接，电离规与电离规信号线连接，电阻规与电阻规信号线连接，电磁阀上设有电磁阀信号线。
2.根据权利要求1所述的沉积箱真空度检测装置，其特征在于所述的进气管通过法兰 与电磁阀连接。
3.根据权利要求1所述的沉积箱真空度检测装置，其特征在于所述的进气管与电阻规 之间的管路上设有法兰。
4.根据权利要求1所述的沉积箱真空度检测装置，其特征在于所述的电磁阀与电离规 之间通过管路连接。
5.根据权利要求4所述的沉积箱真空度检测装置，其特征在于所述的电磁阀与电离规 之间的管路上设有法兰。
专利摘要本实用新型涉及一种检测装置，尤其涉及一种太阳能电池生产过程中的沉积箱真空度检测装置。沉积箱真空度检测装置，由下述结构成电磁阀，电磁阀与进气管连接，在进气管上通过管路与电阻规连接，电磁阀与电离规连接，电离规与电离规信号线连接，电阻规与电阻规信号线连接，电磁阀上设有电磁阀信号线。本实用新型的优点效果将电阻规和电离规先后安装在一个管路上，测量范围可从100000帕至0.0001帕，并且中间安装有电磁阀，可以单独使用电阻规，也可以同时使用电阻规和电离规，本实用新型结构简单，增加了真空度的测量范围，测量精度高，实用性强。
文档编号G01L21/30GK201637537SQ201020131780
公开日2010年11月17日 申请日期2010年3月16日 优先权日2010年3月16日
发明者李健 申请人:沈阳汉锋新能源技术有限公司