专利名称：物理量传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及适用Λ Σ调制的物理量传感器。
背景技术：
作为用于车载导航·系统或机器人的姿势控制等的物理量传感器，已知有采用压电振动元件的陀螺传感器(例如，参照专利文献I)。图I为显示以往的陀螺传感器的一例的图。如图I所示，陀螺传感器I由振荡电路3和检测电路10构成，其中，振荡电路3包括具有检测电极5、6的晶体振子2，检测电路10基于检测电极5、6的检测信号检测科氏力。 检测电极5、6形成于晶体振子2的检测用枝，振荡电路3基于形成于晶体振子2的驱动用枝的驱动电极的输出进行2值化处理，输出为矩形波的检波时钟CL。晶体振子2通过振荡电路3以一定振幅持续振荡，但此时，晶体振子2以角速度ω被旋转的话，在相对晶体振子2的驱动用枝的振动方向为正交的方向上作用有与角速度ω成比例的科氏力F。通过该科氏力F的应力，晶体振子2被激发与驱动频率相等频率的振动，通过该振动，形成于检测用枝的检测电极5和6上产生压电应变效果产生的电荷。由于该产生的电荷，检测电极5和6有为微小的反相电流的检测电流Il和12流过。检测电路10的I/V转换电路11和12将该检测电流Il和12分别进行电流电压转换输出检测电压VlO和VII，差动放大器13放大检测电压VlO和Vll的差分并输出差动输出V12。同步检波电路14输入差动输出V12，与振荡电路3输出的矩形波即检波时钟CL的时序配合进行同步检波，输出检波输出V13。LPF(低通滤波器)15除去检波输出V13的交流成分，输出为对应于角速度的直流电压的角速度检测信号V14。图2为显示同步检波电路14中的信号例的图。图2(a)显示差动放大器13的差动输出V12输入到同步检波电路14的情况，图2(b)显示差动输出V12的2倍周期噪声I输入到同步检波电路14的情况，图2(c)显示差动输出V12的3倍周期噪声2输入到同步检波电路14的情况。如图2(a)所示，差动输出V12以检波时钟CL检波，输出检波输出V13，以LPF15除去交流成分，输出作为具有规定值的直流电压的角速度检测信号V14。如图2(b)所示，差动输出V12的2倍的周期的噪声I输入到同步检波电路14时，通过检波时钟CL被检波，同步检波输出V13为上下对称的波形，因此通过LPF15除去交流成分时，LPF15的输出为0(零)，对角速度检测信号V14没有不良影响。然而，如图2(c)所示，差动输出V12的3倍的周期的噪声2输入到同步检波电路14时，通过检波时钟CL被检波，同步检波输出V13为上下非对称的波形，因此即使由LPF15去除了交流成分，仍留下直流成分，角速度检测信号V14中依然残留噪声成分。又，图2(c)对差动输出V12的3倍的周期噪声进行说明，对于差动输出V12的奇数倍的高次谐波噪声也存在同样问题。即，重叠于检波信号的高次谐波噪声被输入到同步检波电路时，具有角速度检测信号反映出噪声的影响的问题。
专利文献特开2007-57340 (图9)
发明内容
本发明目的在于提供一种解决上述问题的物理量传感器。又，本发明目的在于提供能够获得高精度的物理量检测信号的物理量传感器。进一步的，本发明的目的在于提供能够获得高精度的角速度检测信号的物理量传感器。物理量传感器包括将从外部施加的物理量转换为电信号的振子、使所述振子振荡的振荡电路、基于来自所述振荡电路的检波信号对来自所述振子的被检波信号进行检波的检波电路，物理量传感器还包括在所述检波电路的前段处的、对来自所述振荡电路的检波信号和来自所述振子的被检波信号中任一方的信号进行△ Σ调制，并输出调制信号的△ Σ调制器；输出电压可变的可变电压源；控制所述可变电压源的输出电压的控制部，所 述Λ Σ调制器采用以所述输出电压为基准作成的反馈信号进行△ Σ调制。陀螺传感器包括振子、使振子振荡的振荡电路、对来自振荡电路的检波信号和来自振子的被检波信号中的任一方的信号进行△ Σ调制的△ Σ调制器、基于△ Σ调制器的输出信号对来自振荡电路的检波信号和来自振子的被检波信号中的另一方的信号进行检波的检波电路、去除检波电路的输出信号的交流成分的低通滤波器。又，优选的是，陀螺传感器中，检波电路进一步包括，基于Λ Σ调制器的输出信号，输出来自振子的被检波信号和被检波信号的反相信号中的任一方的第I切换电路。进一步的，优选的是，陀螺传感器中，还包括定电压源，和基于Λ Σ调制器的输出信号输出来自定电压源的电压信号和电压信号的反相信号中的任一方的第2切换电路，Δ Σ调制器将第2切换电路的输出信号作为反馈信号使用。物理量传感器中，使基准电压可变，可使得物理量传感器具有可变增益放大功能(灵敏度补偿功能)。进一步的，不需要专用的可变增益放大电路，可进一步地防止专用电路的杂音的产生或电路规模的增大这样的问题。物理量传感器中，检测振子的周围温度，基于检测结果使基准电压可变，可使物理量传感器具有温度补偿功能。陀螺传感器中，采用对来自振荡电路的检波信号和来自振子的被检波信号中的任一方的信号进行△ Σ调制后的调制信号，进行对来自振荡电路的检波信号和来自所述振子的被检波信号中的另一方的信号的检波，这样不会受到重叠于检波信号的高次谐波的影响，可获得高精度的角速度检测信号。又，陀螺传感器中，通过以定电压源生成反馈信号，可获得不受电源电压变动的影响的角速度检测信号。
图I为显示以往的陀螺传感器的一例的图。图2为显示图I所示的陀螺传感器的同步检波电路14中的信号例的图。图3为以陀螺传感器100为实例显示物理量传感器的图。图4为显示晶体振子与各种电极的连接状态的图。
图5为显示陀螺传感器100中信号例的图。图6为显示能够用于物理量传感器的加速度传感器用的元件例的图。图7为显示图6所示的元件120与各种电极的连接状态的图。图8为以其他的陀螺传感器200为实例显示物理量传感器的图。图9为以其他的陀螺传感器201为实例显示物理量传感器的图。图10为以其他的陀螺传感器202为实例显示物理量传感器的图。
具体实施方式
参照以下附图，对物理量传感器进行说明。但，本发明的技术范围并不限于这些实施方式，而涉及权利要求所记载的发明及其等同特征。图3是以陀螺传感器100为实例显示物理量传感器的图。陀螺传感器100包括振荡电路30和检测电路50，检测电路50构成为输出角速度检测信号V28。振荡电路30包括有，晶体振子20、I/V转换电路37、LPF38、自动增益控制电路(下面，称为AGC) 39、增益可变放大器(下面，称为VGA) 40、移相电路45等。图4为显示晶体振子与各种电极的连接状态的图。晶体振子20为具有二个驱动用枝20a、20b和一个检测用枝20c的3根枝的三头振子。驱动用枝20a、20b上形成成对的驱动电极23、24。晶体振子20，由施加到驱动电极23的交流的驱动电压Vout激励，从驱动电极24输出交流的输出电流lout。又，晶体振子20的构造不限定于图4所示的三头振子，也可采用例如，其他的形状的三头振子、二头的音叉型振子等。又，振子的材料不限于水晶，也可采用PZT等其他的压电材料。驱动电极23包括形成于驱动用枝20a的相对的两面的驱动电极23a、23b，和形成于驱动用枝20b的相对的两面的驱动电极23c、23d。又，驱动电极24包括形成于驱动用枝20a的相对的另两面的驱动电极24a、24b，和形成于驱动用枝20b的相对的另两面的驱动电极24c、24d。各驱动电极23a、23b、23c、23d被电连接并作为驱动电极23与外部连接，各驱动电极24a、24b、24c、24d也被电连接并作为驱动电极24与外部连接。检测用枝20c上，形成成对的检测电极25、26。检测电极25包括形成于检测用枝20c的相对的面的一部分上的检测电极25a、25b。又，检测电极26包括形成于检测用枝20c的相对的面的一部分上的检测电极26a、26b。检测电极25a、25b被电连接作为检测电极25与外部连接，又，各检测电极26a、26b也被电连接，并作为检测电极26与外部连接。振荡电路30的I/V转换电路37，将从晶体振子20的一方的驱动电极24流出的输出电流Iout作为输入，输出交流信号VI。LPF38将交流信号Vl作为输入，输出滤波器输出信号V2。AGC39输入交流信号VI，与规定的基准电压比较，输出控制电压V5。VGA40将滤波器输出信号V2作为输入,基于控制信号V5输出驱动电压Vout,施加到晶体振子20的驱动电极23。移相电路45，调整交流信号Vl的相位，使得作为被检波信号的电流Il和12的相位与检波信号V9的相位差为0° ,输出检波信号V9。又,移相电路45也可基于驱动电压Vout输出检波信号V9。根据振荡电路30的上述构成，晶体振子20由驱动电压Vout驱动，持续自激振荡。然后，晶体振子20持续振荡的话，驱动用枝20a、20b在箭头X方向(图4参照)振动，又，检测用枝20c也与驱动用枝20、20b同步地在箭头X方向振动。检测电路50包括:I/V转换电路51和52、差动放大器53、检波电路60、与基准电源(未图示)连接的第2缓冲器65和第2反相放大器66、切换第2缓冲器65和第2反相放大器66的输出的第2开关67、开关控制部68、Δ Σ调制器70、LPF80等。检波电路60构成为包括与差动放大器53连接的第I缓冲器61和第I反相放大器62、切换第I缓冲器61和第I反相放大器62的输出的第I开关63。又，Λ Σ调制器70包括加法器71、环路滤波器72、A/D转换器73、D/A转换器74等。又，A/D转换器可以为I比特，此时，也可以没有D/A转换器74。图5中，对A/D转换器为I比特的波形进行显示。晶体振子20，通过振荡电路30以一定振幅持续振荡，此时，晶体振子20以角速度ω旋转的话，在相对于晶体振子20的驱动用枝20a、20b的振动方向(X方向)呈直角的Z方向作用有与角速度ω成比例的科氏力F (图4参照)。该科氏力F通过F=2 · m · ω · V表示，m为晶体振子20的驱动用枝20a、20b或检测用枝20c的等价质量,V为驱动频率f0 (Hz) 下的振动速度。通过该科氏力F的应力，晶体振子20在Z方向以与驱动频率相等的频率被激发振动，通过该振动，形成于检测用枝的检测电极25和26中产生由压电应变效果产生的电荷。通过该产生的电荷，检测电极25和26中流过为微小的反相电流的检测电流Il和12。检测电路50的I/V转换电路51和52对检测电流Il和12分别进行电流电压转换并输出检测电压VlO和VII，差动放大器53放大检测电压VlO和Vll的差分并输出差动输出V12。检波电路60的第I缓冲器61将差动输出V12作为输入,与差动输出同样地输出输出V20，第I反相放大器62输出与差动输出Vl2反相的输出V21。同样地，第2缓冲器65将来自基准电源的基准电压信号(Vstd)作为输入，输出与基准电压信号相同的信号，第2反相放大器66输出与基准电压信号反相的信号。第2开关67的输出被输入D/A转换器74,并被转换为模拟信号V23输入到加法器70。加法器71中，从振荡电路30的移相电路45输出的检波信号V9减去模拟信号V23，输出减法输出信号V24。环路滤波器72将减法输出信号V24作为输入，对其进行积分输出滤波器输出信号V25。A/D转换器73将滤波器输出信号V25转换为数字信号V26输出。开关控制部68进行控制，在数字信号V26为High时，控制第I开关63使得来自第I缓冲器61的输出V20输出，并控制第2开关67使得来自第2缓冲器65的信号输出。又，开关控制部68进行控制，在数字信号V26为Low时，控制第I开关63使得来自第I反相放大器62的输出V21输出，并控制第2开关67使得来自第2反相放大器66的输出输出。图5为显示陀螺传感器100中的信号例的图。如图5(a)所示，第I缓冲器61的输出V20以实线，第I反相放大器62的输出21以虚线表示。又，输出V20表现为，与差动放大器53的差动输出V12相同的电压波形，相当于基于来自晶体振子20的检查用枝20c的信号的被检波信号。Δ Σ调制器70中，A/D转换器73的输出作为控制信号，以比作为基准的检波信号V9充分高的速度切换第2开关67，其输出V22通过D/A转换器74转换为模拟信号生成D/A转换器输出信号V23。进一步的，加法器71中，比较检波信号V9和D/A转换器74的输出V23，其差由环路滤波器72积算，反馈到A/D转换器73。这样，Δ Σ调制器70，根据振荡电路30的移相电路45输出的检波信号V9，生成Δ Σ调制后的数字信号V26(参照图5(b))。又，数字信号V26为High时的电压值大致与基准电源的电压Vstd相等。开关控制部68基于作为A/D转换器73的输出的数字信号V26，进行第I开关63的切换，这相当于采用数字信号V26，对作为被检波信号的差动信号V12进行同步检波。LPF80去除第I开关63的输出信号V27(参照图5(c))的交流成分，输出为对应于角速度的直流电压的角速度检测信号V28(参照图5(d))。此处，作为A/D转换器73的输出的数字信号V26为，通过将被检波信号V9转换为数字信号的信号，不包括被检波信号V9、A/D转换器73的采样频率以外的特定的频率成分。因此，如图2(c)说明的，即使V9的奇数倍的高次谐波与检波信号重叠，对角速度检测信号V28的影响也极少。 又，检测电路50的电路构成，成立以下式子。((LV9-LV22 · DA) · LF+E) · LVstd=LV22因此，LV22=LV9 · LF · Vstd/ (I+DA · LF · Vstd) +E · Vstd/ (I+DA · LF · Vstd)此处,环路滤波器72的传递函数为IF、D/A转换器73的传递函数为DA、A/D转换器73的量子化噪声为e、量子化噪声e进行拉普拉斯转换之后为E。第I开关63的输出信号V27进行拉普拉斯转换之后为LV27，第2开关67的输出信号V22进行拉普拉斯转换之后为LV22，差动信号V12进行拉普拉斯转换之后为LV12、检波信号V9进行拉普拉斯转换之后为 LV9。如上述的，设定为DA *LF ^VstdAl的话，为LV22 N LV9/DA，考虑为DA N 1，以下的式子(I)的关系成立。LV22 N LV9 (I)进一步的，根据检波电路60与和基准电源连接的第2缓冲器65、第2反相放大器66及第2开关67的电路的类似性，可知LV12与LV27的关系、Vstd与LV22的关系相同，因此以下的式子(2)的关系成立。LV27=LV12 · LV22/Vstd (2)根据式⑴和⑵，以下的式子(3)的关系成立。LV27=LV9 · LV12/Vstd (3)S卩，可理解为,检测电路50的第I开关63的输出信号V27与，作为被检波信号的差动信号12和检波信号9的积成比例。上述陀螺传感器100中，进行同步检波时，通过Λ Σ调制器70，采用将检波信号V9转为数字信号后的信号进行同步检波，因此能防止由于高次谐波，例如，来自外部的周期性的机械振动原因等造成的角速度检测信号V28中产生误差。又，由于通过第I开关63的切换进行检波，因此具有以CMOS电路实现陀螺传感器100整体的优点。又，陀螺传感器100中，虽然采用Λ Σ调制器70，但在Λ Σ调制中，通过适当地设定环路滤波器72，将量子化噪声推到高频侧，从而低频侧的噪声可得到减少(噪声剔除)。因此，陀螺传感器具有，使重叠于重要的检波后的低周波成分的A/D转换器73的量子化噪声降低的优点。
图6是显示能够用于物理量传感器的加速度传感器用的元件例的图。图6所示的元件120包括第I音叉型晶体振子121、第2音叉型晶体振子122、和结合元件123。驱动侧的第I音叉型晶体振子121具有第I驱动用枝121a和第2驱动用枝121b，检测侧的第2音叉型晶体振子122具有第I检测用枝122a和第2检测用枝122b。对第I音叉型晶体振子121的驱动电极施加交流电压，使得第I驱动用枝121a和第2驱动用枝121b持续绕Y'轴位移的相互反相的扭转振动。此时，如果与XY平面面对称的土Z轴方向产生加速度,第I驱动用枝121a和第2驱动用枝121b由于科氏力而产生其他的模式的振动。产生的振动通过结合元件123传递到检测侧的第2音叉型晶体振子122。通过被传递的振动，第2音叉型晶体振子122的第I检测用枝122a和第2检测用枝122b产生绕Y,轴位移的相互反相的扭转振动。通过检测由该振动而产生的交流信号，可获得对应于产生的加速度的加速度信号。图7是显示图6所示的元件120与各种电极的连接状态的图。 第I音叉型晶体振子121的第I驱动用枝121a形成有从其V轴方向观察形成于表面的外侧驱动用电极124a、中侧驱动用电极124b和内侧驱动用电极124c、以及从其I'轴方向观察形成于背面的外侧驱动用电极124d、中侧驱动用电极124e和内侧驱动用电极124f。又，第I音叉型晶体振子121的第2驱动用枝121b形成有从其V轴方向观察形成于表面的外侧驱动用电极125c、中侧驱动用电极125b和内侧驱动用电极125a、从其I'轴方向观察形成于背面的外侧驱动用电极125f、中侧驱动用电极125e和内侧驱动用电极 125d。各电极124a、124c、124e、125b、125d和125f分别被电连接，并作为驱动电极23与外部连接。又，各电极124b、124d、124f、125a、125c和125e分别被电连接，并作为驱动电极24与外部连接。第2音叉型晶体振子122的第I检测用枝122a包括从其Z'轴方向观察形成于表面的电极126a、形成于背面的电极126c和形成于两侧面的电极126b和126d。又，第2音叉型晶体振子122的第2检测用枝122b包括从其Z'轴方向观察形成于表面的电极127a、形成于背面的电极127c和形成于两侧面的电极127b和127d。各电极126b、126d、127a和127c分别被电连接，并作为检测电极25与外部连接。电极126a、126c、127b和127d分别被电连接，并作为检测电极26与外部连接来自图3所示的振荡电路30的、规定的交流电压Vout施加到图7所示的驱动电极23和24，由此可使得第I驱动用枝121a和第2驱动用枝121b能够持续绕Y'轴位移的相互反相地扭转振动。此时，通过将振荡电路30的移相电路45输出的电压(相当于V9)、与检测用的第2音叉型晶体振子122连接的检测电极25和26输出的电流(相当于Il和12)输入到检测电路50，可从检测电路50的输出V28，输出对应于施加到元件120的加速度的信号。这样，适用于如图3 图5所示的陀螺传感器100的本发明的物理量检测传感器的构成也可适用于加速度传感器。又，作为构成加速度传感器的元件，图6和图7出了元件120作为实例，但不起到限定作用。图8为以其他的陀螺传感器200显示物理量传感器的实例的图。图8所示的陀螺传感器200中，对于与图3相同的构成赋予同样的符号省略其说明。图3所示的陀螺传感器100与图8所示的陀螺传感器200的差异仅在于，具有包含有能够输出不是一定的电压而是可变电压的电源电路220的检测电路210，该可变电压用以替代陀螺传感器100的检测电路50的基准电压信号(Vstd)。电源电路220包括与基准电源连接的数字模拟转换器(DAC)90、输出用于设定DAC90的输出的设定信号的控制电路91、存储多个设定数据的存储器92等。图3所示的陀螺传感器100中，如上所述，LPF80中，去除了输出信号V27的交流成分的信号为角速度检测信号V28，根据上述式(3)，角速度检测信号V28、被检波信号Il对应的电压V10、与被检波信号12对应的电压VII、检波信号V9、和基准电压信号(Vstd)的关系如以下的式子(4)所示。V28=(Vll-V10)V9/Vstd (4)
根据式(4)，陀螺传感器200中，采用DAC90的输出电压V30代替基准电压信号(Vstd)，使其值为可变，由此可进行角速度检测信号V28的增益调整。具体来说，如果输出电压V30设定为较高，角速度检测信号V28变为具有较低值，如果输出电压V30设定为较低，角速度检测信号V28变为具有较高值。另外，由于晶体振子20存在个体差，输出的角速度检测信号V28的值产生差异。为了能够补偿预想的晶体振子的特性造成的个体差，设定输出电压V30的输出范围。然后，在了解搭载于陀螺传感器100的晶体振子20的特性的阶段，重新写入存储器92以替换输出电压V30，从而补偿预想的晶体振子的特性的个体差。写入存储器92的值，可由晶体振子20个体的特性决定，也可根据角速度检测信号V28的测定结果确定。无论那种情况，控制电路91应当对应于输入的类型，输出符合搭载于陀螺传感器100的晶体振子20的类型的最适当输出电压30，以控制DAC90。根据上述的电源电路220，不管晶体振子20的个体差，都可输出大致一定的角速度检测信号V28。S卩，电源电路220起到使得检测电路210具有可变增益放大功能(灵敏度补偿功能)的作用，由于不需要专用的可变增益放大电路，具有防止专用电路造成的杂音的产生或电路规模的增大等问题的优点。图9为以又一其他的陀螺传感器201为实例显示物理量传感器的示意图。图9所不的陀螺传感器201中，对于与图3相同的构成赋予相同的编号,省略其说明。图3所示的陀螺传感器100和图9所示的陀螺传感器201的差异仅在于，具有包含有能够输出不是固定电压的可变电压的电源电路221的检测电路211，该可变电压用以替代陀螺传感器100的检测电路50的基准电压信号(Vstd)。电源电路221构成为包括与基准电源连接的数字模拟转换器(DAC)90、输出用于设定DAC90的输出的设定信号的控制电路91、检测晶体振子20的周围温度、并输出与检测到的温度对应的温度信号的温度传感器93等。因此，晶体振子20由于具有温度特性，如果周围温度变化，与之对应地输出的角速度检测信号V28的值也变化。因此，根据温度传感器93的输出，控制电路91对DAC90的输出可变地进行控制。根据上述的电源电路221，不限于晶体振子20的温度特性，能够输出大致一定的角速度检测信号V28。S卩，电源电路221进行工作使得检测电路211具有温度补偿功能。图10为以又一其他的陀螺传感器202为实例显示物理量传感器的图。图10所示的陀螺传感器202中，对与图3相同的构成赋予相同的编号，省略其说明。图3所示的陀螺传感器100与图10所示的陀螺传感器202的差异仅在于，具有，包含有能够输出不是一定的电压的可变电压的电源电路222的检测电路212，该可变电压用以代替陀螺传感器100的检测电路50的基准电压信号(Vstd)。电源电路222构成为包括与基准电源连接的数字模拟转换器(DAC)90、输出用于设定DAC90的输出的设定信号的控制电路91、存储有多个设定数据的存储器92、检测陀螺传感器202的周围温度、输出与检测到的温度对应的温度信号的温度传感器93等。电源电路222中，为了补偿晶体振子20的特性的个体差、和特性的温度依存性，将关于晶体振子的特性的数据存储于存储器92，并具有补偿晶体振子的温度特性的温度传感器93。因此，电源电路222输出，以对应于与存储于存储器92的数据对应的、晶体 振子20的特性的电压为基准，增加了根据温度传感器93的温度信号的修正的输出电压30。又，有晶体振子的温度特性也存在个体差的情况。因此，控制电路91也可进一步地，针对由来自温度传感器93的温度信号进行了修正后的输出电压30，进一步施加修正，以补偿各个晶体振子的温度特性的个体差。通过上述的电源电路222，不管晶体振子20的个体差和温度特性，都能够输出大致一定的角速度检测信号V28。S卩，电源电路222起到使检测电路212具有可变增益放大功能(灵敏度补偿功能)和温度补偿功能的作用。上述陀螺传感器100、200、201和202中，采用以Λ Σ调制器70将检波信号V9转换为数字信号后的信号，以对被检波信号V12进行检波。然而，也可采用以△ Σ调制器70将被检波信号V12转换为数字信号后的信号，对检波信号V9进行检波进一步的，上述陀螺传感器100、200、201和202中，采用以Λ Σ调制器70将检波信号V9的反相信号转换为数字信号后的信号，对被检波信号V12进行检波，也可构成为，采用以△ Σ调制器70将被检波信号V12的反相信号转换为数字信号后的信号，对检波信号V9进行检波。上述的物理量传感器可作为，陀螺传感器、加速度传感器等的采用了晶体振子的测定物理量的传感器。
权利要求
1.一种物理量传感器，其包括将从外部施加的物理量转换为电信号的振子、使所述振子振荡的振荡电路、基于来自所述振荡电路的检波信号对来自所述振子的被检波信号进行检波的检波电路，所述的物理量传感器的特征在于，还包括 在所述检波电路的前段处的、对来自所述振荡电路的检波信号和来自所述振子的被检波信号中任一方的信号进行△ Σ调制，并输出调制信号的△ Σ调制器； 输出电压可变的可变电压源；和 控制所述可变电压源的输出电压的控制部， 所述△ Σ调制器采用以所述输出电压为基准作成的反馈信号进行△ Σ调制。
2.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于，进一步包括存储对应于振子的数据的存储器， 所述控制部基于所述数据控制所述可变电压源的输出电压。
3.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于，进一步包括用于检测所述振子的周围温度的温度传感器， 所述控制部基于所述温度传感器的输出控制所述可变电压源的输出电压。
4.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于，进一步包括存储对应于振子的数据的存储器；和用于检测所述振子的周围温度的温度传感器， 所述控制部基于所述数据和所述温度传感器的输出，控制所述可变电压源的输出电压。
5.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于，进一步包括，去除所述检波电路的输出信号的交流成分的低通滤波器。
6.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于，所述检波电路进一步包括，基于所述Λ Σ调制器的调制信号，将来自所述振子的被检波信号和所述被检波信号的反相信号中的任一方进行输出的第I切换电路。
7.如权利要求I所述的物理量传感器，其特征在于，进一步包括基于所述△Σ调制器的调制信号，将来自所述可变电压源的输出电压和来自所述可变电压源的输出电压的反相输出中的任一方进行输出的第2切换电路， 将所述第2切换电路的输出信号作为反馈信号来采用。
全文摘要
本发明的目的在于提供一种能够获得高精度的物理量检测信号的物理量传感器。该物理量传感器包括将从外部施加的物理量转换为电信号的振子、使所述振子振荡的振荡电路、基于来自所述振荡电路的检波信号对来自所述振子的被检波信号进行检波的检波电路，其中，还包括有所述检波电路的前段处的、对来自所述振荡电路的检波信号和来自所述振子的被检波信号中任一方的信号进行Δ∑调制，并输出调制信号的Δ∑调制器；输出电压可变的可变电压源；控制所述可变电压源的输出电压的控制部，所述Δ∑调制器采用以所述输出电压为基准作成的反馈信号进行Δ∑调制。
文档编号G01C19/56GK102834695SQ20118001620
公开日2012年12月19日 申请日期2011年3月30日 优先权日2010年3月31日
发明者高濑恭英 申请人:西铁城控股株式会社, 西铁城精技美优达株式会社
专业数控铣床产品供应商
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