专利名称：用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置的制作方法
技术领域：
本实用新型属于核燃料辐照后检测技术领域，具体涉及一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置。
背景技术：
核燃料和材料辐照后样品具有很强的放射性，在较高Y射线强度下核燃料和材料扫描电镜样品的制备必须在热室内通过操作机械手来完成。由于核燃料和材料辐照后样品具有很强的放射性，一般用于扫描电镜观察的辐照后核燃料和材料样品的尺寸都较�。沸杈馇�、磨/抛等制备工序，这时的样品还需做进一步的表面镀膜处理，以实现样品表面在扫描电镜观察时具有导电性。现有的用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置一般采用小型离子溅射仪，但其具有如下缺陷(1)其控制�？橛牍ぷ髂？榧梢惶澹挥谌仁夷冢薹ǘ怨ぷ髂？榻锌刂疲�(2) 其顶盖上没有把手，无法通过机械手进行操作。
发明内容本实用新型的目的在于提供一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，以克服现有技术存在的上述不足。为达到上述目的，本实用新型所采取的技术方案为一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，该装置包括控制�？楹凸ぷ髂？椋渲泄ぷ髂？槲挥谌仁夷冢刂颇？槲挥谌仁仪扒还ぷ髂？榘ǖ鬃⒄婵帐�、顶盖、把手、电极、样品台、金靶和真空泵，工作模块的下部为底座，底座上安装有真空室，在底座上且真空室内安装有样品台，在真空室的上端设置有顶盖，在顶盖的下部安装有金靶，在顶盖的上部设置有把手，在顶盖的中心安装有电极，真空泵通过底座与真空室连接；控制�？橛氲缂樱刂颇？橛氲鬃�。所述的控制模块通过电缆与电极连接。所述的控制�？橥ü苡氲鬃�。所述的底座到真空室上端顶盖的高度与热室窥视窗窗口视线的范围相适应。本实用新型所取得的有益效果为该装置在满足使用功能的同时，具有结构简单合理、尺寸较小、操作方便、安全可靠、能抗辐射等优点；实现了通过热室外机械手和热室前区控制�？榭刂葡嘟岷系牟僮鞣绞�(1)该装置的工作�？橛肟刂颇？榉掷耄苑乐狗派湫院芮康姆蘸蠛巳剂虾筒牧仙璧缇笛范圆僮魅嗽痹斐刹焕跋欤笨梢约跎倏刂颇？槭芎芮糠派湫缘挠跋欤� 能在热室前区通过控制�？榭刂平鸢薪ι涠颇な奔洹⒔ι涞缌骷罢婵帐业钠怪担僮骷虻ィ�(2)在真空室的顶盖上设置有不锈钢的把手，便于用机械手实现热室内顶盖的取放操作，减少机械手对顶盖不必要的操作对真空室密封性带来的影响；(3)该装置采用玻璃的真空室和不锈钢的顶盖设计，能抵抗很强的放射性，以实现辐照后核燃料和材料扫描电镜样品的制备；(4)底座到真空室上端顶盖的高度与热室窥视窗窗口视线的范围相适应，便于操作人员和机械手的操作。
图1是本实用新型所述用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置结构图；图中1、底座；2、真空室；3顶盖；4、把手；5、电极；6、样品台；7、金靶；8、真空泵； 9、控制模块。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。如图1所示，本实用新型所述用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置包括控制�？�9和工作�？椋渲泄ぷ髂？槲挥谌仁夷冢刂颇？�9位于热室前区；工作�？榘ú恍飧值牡鬃�1、圆柱体玻璃的真空室2、不锈钢的顶盖3、不锈钢的把手4、电极 5、样品台6、金靶7和真空泵8，工作�？榈南虏课鬃�1，底座1上安装有真空室2，在底座 1上且真空室2内安装有样品台6，在真空室2的上端设置有顶盖3，在顶盖3的下部安装有金靶7，在顶盖3的上部设置有把手4，在顶盖3的中心安装有电极5，真空泵8通过底座1 与真空室2连接；控制�？�9通过电缆与电极5连接，控制�？�9通过气管与底座1连接。将辐照后核燃料和材料扫描电镜样品运输至安装有本装置的热室内，检查控制模块9的情况，启动控制�？�9，打开真空泵8，检验真空室2的密封性，一切准备工作完成后通过控制�？�9对真空室2进行放气，操作人员通过机械手夹取真空室2的顶盖3上的把手4打开真空室2，将样品放入真空室2内底座1上的样品台6上，保证样品表面水平，然后通过机械手夹持把手4把顶盖3盖在真空室2的上端，确保顶盖3所放位置与真空室2的上端密封性良好，最后在热室外通过控制模块9，根据样品的尺寸大�。瓒ńι洳问舳ぷ髂？椋缘缂�5加高压，使真空室2内产生辉光放电，使金靶7表面金属原子附着在样品表面，即完成样品表面的离子溅射镀膜，工作完成后，通过机械手取出样品，将样品通过专用运输容器运至扫描电镜实验室内进行进一步的扫描电镜观察。
权利要求1.一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，其特征在于该装置包括控制�？�(9)和工作�？椋渲泄ぷ髂？槲挥谌仁夷冢刂颇？�(9)位于热室前区；工作�？榘ǖ鬃�(1)、真空室(2)、顶盖(3)、把手(4)、电极(5)、样品台(6)、金靶(7)和真空泵(8)，工作�？榈南虏课鬃�(1)，底座(1)上安装有真空室0)，在底座(1)上且真空室O)内安装有样品台(6)，在真空室O)的上端设置有顶盖(3)，在顶盖(3)的下部安装有金靶(7)，在顶盖(3)的上部设置有把手G)，在顶盖(3)的中心安装有电极(5)，真空泵 (8)通过底座(1)与真空室( 连接；控制�？�(9)与电极( 连接，控制模块(9)与底座 (1)连接。
2.根据权利要求1所述的用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，其特征在于所述的控制�？�(9)通过电缆与电极(5)连接。
3.根据权利要求1所述的用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，其特征在于所述的控制�？�(9)通过气管与底座(1)连接。
4.根据权利要求1所述的用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置，其特征在于所述的底座(1)到真空室(2)上端顶盖(3)的高度与热室窥视窗窗口视线的范围相适应。
专利摘要本实用新型属于核燃料辐照后检测技术领域，具体涉及一种用于辐照后核燃料和材料扫描电镜样品制备的溅射装置。该装置包括控制�？楹凸ぷ髂？椋渲泄ぷ髂？槲挥谌仁夷冢刂颇？槲挥谌仁仪扒还ぷ髂？榈南虏课鬃鬃习沧坝姓婵帐遥诘鬃锨艺婵帐夷诎沧坝醒诽ǎ谡婵帐业纳隙松柚糜卸ジ牵诙ジ堑南虏堪沧坝薪鸢校诙ジ堑纳喜可柚糜邪咽郑诙ジ堑闹行陌沧坝械缂婵毡猛ü鬃胝婵帐伊樱豢刂颇？橛氲缂樱刂颇？橛氲鬃�。该装置具有结构简单合理、尺寸较小、操作方便、安全可靠、能抗辐射等优点，实现了通过热室外机械手和热室前区控制�？榭刂葡嘟岷系牟僮鞣绞�。
文档编号G01N1/28GK202221386SQ201120298770
公开日2012年5月16日 申请日期2011年8月17日 优先权日2011年8月17日
发明者冷茂林, 周云, 彭艳华, 朱伟, 温榜, 王斐 申请人:中国核动力研究设计院
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