专利名称：一种用于130mm功率器件的结电容测试电路及装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及功率半导体器件结电容测试装置技术领域，特别涉及一种三单元130mm功率器件的结电容测试电路及装置。
背景技术：
功率半导体器件器件结电容参数一般包括输入电容、输出电容、反馈电容三项内容，是反应器件结构特性、动态时间参数的重要指标。按照测试条件要求，测试时需要根据参数在器件中的结构特性的不同，连接不同的测试线路，同时，外接旁路电容、旁路电阻等无源器件元件，对器件管脚施加直流电压及高频信号来测试相应的电容参数。现有技术中，测试功率半导体器件结电容的方法一般为用测试探头或者鳄鱼夹在被测器件和电感电容电阻(LCR)测试仪之间连接电路，采用该方法进行测试时，针对不同的被测结电容参数，需要使用不同的测试电路，不仅测试工作繁琐，而且测试效率低。为解决上述问题，申请号为201120221050. 4公开了一种功率半导体器件结电容测试装置，包括结电容测试电路板，该结电容测试电路板包括两个电容测试点，其中，第一输入电容测试点通过短路电容与电源连接点相连，电源连接点与漏极测试点相连，第二输入电容测试点通过偏置电感接地；反馈电容测试点接地；输出电容测试点与栅极测试点相连，并通过阻断电阻与源极测试点相连；与电源连接点相连的高压电流连接点和与栅极测试点相连的地电压电流连接点。该功率半导体器件结电容测试装置将测试不同电容参数时的电路设置于同一电路板中，并根据需要选择测试的电容参数连通相应的测试点，应用该装置进行测试时，不需要再重新连接电路，简化了测试工作，提高了测试效率。但是，该功率半导体器件结电容测试电路及装置只适合于具有三个引脚的单芯片器件，而对包括3个晶体管单元、9个引脚的130_功率器件并不适用。
实用新型内容为了解决上述问题，本实用新型提出了一种用于130mm功率器件的结电容测试电
路及装置。本实用新型提供的用于130_功率器件�？榈慕岬缛莶馐缘缏钒ㄈ鼍骞艿ピ�、电源连接点、低电压电流连接点、地电压连接点、电阻、短路电容、电感、第I输入电容、第I输出电容、第I反馈电容、第II输入电容、第II输出电容、第II反馈电容，所述三个晶体管单元具有源极测试点、漏极测试点和栅极测试点；所述漏极测试点连接于所述电源连接点，所述栅极测试点连接于所述低电压电流连接点，所述源极测试点连接于所述电阻的一端，所述电阻的另一端连接于所述低电压电流连接点，所述第I输入电容通过所述短路电容连接于所述电源连接点，所述第I输出电容和第I反馈电容悬空设置，所述第II输入电容通过所述电感连接于所述地电压连接点，所述第II输出电容连接于所述低电压电流连接点，所述第II反馈电容连接于所述地电压连接点。[0008]作为优�。鲈醇馐缘阌伤鋈鼍骞艿ピ髯缘脑醇嗔纬�。作为优�。雎┘馐缘阌伤鋈鼍骞艿ピ髯缘穆┘嗔纬�。作为优�。稣ぜ馐缘阌伤鋈鼍骞艿ピ髯缘恼ぜ嗔纬�。本实用新型还提供了基于所述用于130_功率器件的结电容测试电路的装置，包括所述测试电路和金属盒体，所述金属盒体内设有测试夹具，所述功率器件放置于所述测试夹具上；所述金属盒体上设有电源连接端口、低电压电流连接端口，所述电源连接点连接于所述电源连接端口，所述低电压电流连接点连接于所述低电压电流连接端口 ；所述金属客体上设有开关组件，所述开关组件具有分别用于对应所述源极测试点、漏极测试点和栅极测试点的开关触点；所述金属盒体上还设有BNC同轴电缆接口 ；所述测试夹具上设有盖板和盖板扣，所述功率器件放置于所述盖板和盖板扣之间。作为优�。霾馐约芯呱匣股栌杏糜诠潭ㄋ鋈鼍骞艿ピ母饕诺囊诺S。作为优�。隹刈榧谢豢兀銮谢豢啬芄皇箍刈榧谒鲈醇馐缘恪⒙┘馐缘愫驼ぜ馐缘愕目卮サ阒淝谢�。本实用新型提供的功率半导体器件结电容测试电路及装置能够适用于包括3个晶体管单元、9个引脚的130_功率器件。
图1为本实用新型实施例提供的用于130mm功率器件�？榈慕岬缛莶馐缘缏肥疽馔�。
具体实施方式
为了深入了解本实用新型，
以下结合附图及具体实施例对本实用新型进行详细说明。参见附图1，本实用新型提供的用于130_功率器件模块的结电容测试电路包括三个晶体管单元16、电源连接点1、低电压电流连接点2、地电压连接点7、电阻6、短路电容8、电感15、第I输入电容9、第I输出电容10、第I反馈电容11、第II输入电容12、第II输出电容13及第II反馈电容14，三个晶体管单元16具有源极测试点5、漏极测试点3和栅极测试点4。漏极测试点3连接于电源连接点1，栅极测试点4连接于低电压电流连接点2，源极测试点5连接于电阻6的一端，电阻6的另一端连接于低电压电流连接点2，第I输入电容9通过短路电容8连接于电源连接点1，第I输出电容10和第I反馈电容11悬空设置，第II输入电容12通过电感15连接于地电压连接点7，第II输出电容13连接于低电压电流连接点2，第II反馈电容14连接于地电压连接点7。其中，源极测试点5可以由三个晶体管单元各自的源极相连形成。其中，漏极测试点3可以由三个晶体管单元各自的漏极相连形成。其中，栅极测试点4可以由三个晶体管单元各自的栅极相连形成。本实用新型还提供了基于用于130mm功率器件的结电容测试电路的装置，包括测试电路和金属盒体，金属盒体内设有测试夹具，功率器件放置于测试夹具上；金属盒体上设有电源连接端口、低电压电流连接端口，电源连接点连接于电源连接端口，低电压电流连接点连接于低电压电流连接端口 ；金属盒体上设有开关组件，开关组件具有分别用于对应源极测试点、漏极测试点和栅极测试点的开关触点；金属盒体上还设有BNC同轴电缆接口 ；测试夹具上设有盖板和盖板扣，功率器件放置于盖板和盖板扣之间，从而，使功率器件与测试夹具之间的接触更牢固。其中，测试夹具上还可以设有用于固定三个晶体管单元的各引脚的引脚弹簧，从而，使三个晶体管单元的各引脚的固定更牢固。其中，开关组件可以为切换开关，切换开关能够使开关组件在源极测试点、漏极测试点和栅极测试点的开关触点之间切换，从而，使测试点的切换能够通过开关组件实现，这就节省了更换时间，能够提高测试效率。本实用新型提供的功率半导体器件结电容测试电路及装置能够适用于包括3个晶体管单元、9个引脚的130_功率器件。以上所述的具体实施方式
，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式
而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种用于130mm功率器件模块的结电容测试电路，其特征在于，包括三个晶体管单元、电源连接点、低电压电流连接点、地电压连接点、电阻、短路电容、电感、第I输入电容、第I输出电容、第I反馈电容、第II输入电容、第II输出电容、第II反馈电容，所述三个晶体管单元具有源极测试点、漏极测试点和栅极测试点；所述漏极测试点连接于所述电源连接点，所述栅极测试点连接于所述低电压电流连接点，所述源极测试点连接于所述电阻的一端，所述电阻的另一端连接于所述低电压电流连接点，所述第I输入电容通过所述短路电容连接于所述电源连接点，所述第I输出电容和第I反馈电容悬空设置，所述第II输入电容通过所述电感连接于所述地电压连接点，所述第II输出电容连接于所述低电压电流连接点，所述第II反馈电容连接于所述地电压连接
2.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，所述源极测试点由所述三个晶体管单元各自的源极相连形成。
3.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，所述漏极测试点由所述三个晶体管单元各自的漏极相连形成。
4.根据权利要求1所述的测试电路，其特征在于，所述栅极测试点由所述三个晶体管单元各自的栅极相连形成。
5.一种利用如权利要求1所述的用于130_功率器件�？榈慕岬缛莶馐缘缏返淖爸茫� 包括所述测试电路和金属盒体，所述金属盒体内设有测试夹具，所述功率器件放置于所述测试夹具上；所述金属盒体上设有电源连接端口、低电压电流连接端口，所述电源连接点连接于所述电源连接端口，所述低电压电流连接点连接于所述低电压电流连接端口 ；所述金属盒体上设有开关组件，所述开关组件具有分别用于对应所述源极测试点、漏极测试点和栅极测试点的开关触点；所述金属盒体上还设有BNC同轴电缆接口 ；其特征在于，所述测试夹具上设有盖板和盖板扣，所述功率器件放置于所述盖板和盖板扣之间。
6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述测试夹具上还设有用于固定所述三个晶体管单元的各引脚的引脚弹簧。
7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述开关组件为切换开关，所述切换开关能够使开关组件在所述源极测试点、漏极测试点和栅极测试点的开关触点之间切换。
专利摘要本实用新型公开了一种本用于130mm功率器件�？榈慕岬缛莶馐缘缏罚粲诠β拾氲继迤骷岬缛莶馐宰爸眉际趿煊颉８玫缏钒ㄈ鼍骞艿ピ�、电源连接点、低电压电流连接点、地电压连接点、电阻、短路电容、电感、第Ⅰ输入电容、第Ⅰ输出电容、第Ⅰ反馈电容、第Ⅱ输入电容、第Ⅱ输出电容、第Ⅱ反馈电容，该三个晶体管单元具有源极测试点、漏极测试点和栅极测试点。本实用新型还公开了基于该用于130mm功率器件的结电容测试电路的装置。该测试电路及装置能够适用于包括3个晶体管单元、9个引脚的130mm功率器件。
文档编号G01R27/26GK202854239SQ20122048863
公开日2013年4月3日 申请日期2012年9月21日 优先权日2012年9月21日
发明者高振鹏, 朱阳军, 陆江, 胡爱斌, 佘超群, 成星 申请人:中国科学院微电子研究所
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
