רÀûÃû³Æ£ºÒ»ÖÖ»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸÖ×°ÖõÄÖÆ×÷·½·¨
¼¼ÊõÁìÓò£º
±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°Ò»ÖÖУÕýÔ×ÓÎüÊÕ·ÖÎö×°Öã¬ÓÈÆäÊÇÉæ¼°Ò»ÖÖ»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸÖ×°Öá£
±³¾°¼¼Êõ£º
±¾ÁìÓòÈËÊ¿ÖÚËùÖÜÖª£¬ÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÊÇĿǰ×îÍêÉÆµÄÔ×ÓÎüÊÕ±³¾°Ð£Õý·½Ê½£¬ÄÜ׼ȷУÕý¼«¸ßµÄ±³¾°ÎüÊÕÐźţ¬Ã»ÓйâÆ×¸ÉÈÅ£¬²¢Äܸ²¸ÇÈ«²¿Ô×ÓÎüÊÕʹÓõIJ¨³¤·¶Î§¡£»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýͬÑù¾ßÓм«´óÓÅÔ½ÐÔ£¬Äܹ»µÃµ½³¤Ê±¼äÎȶ¨µÄ»ùÏߣ¬ÄÜÏû³ý»ðÑæÉÁ±ä²úÉúµÄÔëÉù£¬Òò´ËÔÚÔ¶×ÏÇøÓò(ÀýÈçZn 213.9nm´¦)µÃµ½ºÜºÃµÄÐÅÔë±È¡£È»¶ø£¬Ò»°ã»ðÑæ´Å¸ÖËùÄÜ´ïµ½µÄ´Å¸ÐӦǿ¶È½ÏµÍ£¬Ò»Ð©³£¼ûÔªËØ(ÀýÈç Cu324. 8nm)ºÍһЩ±íÏÖΪÕý³£ÈûÂü·ÖÁѵÄÔªËØ(ÀýÈçMg 2 . 8nm£¬8nmµÈ)ÁéÃô¶ÈÊܵ½Ó°Ïì¡£
ʵÓÃÐÂÐÍÄÚÈݱ¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÄ¿µÄ¾ÍÊÇΪÁ˿˷þÉÏÊöÏÖÓм¼Êõ´æÔÚµÄȱÏݶøÌṩһÖÖ²úÉúµÄÆøÏ¶´Å¸ÐӦǿ¶È´ïµ½1. 05TµÄ»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸÖ×°Öᣱ¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÄ¿µÄ¿ÉÒÔͨ¹ýÒÔϼ¼Êõ·½°¸À´ÊµÏÖ¡ªÖÖ»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸÖ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¸ÃÎüÊմŸÖ×°ÖðüÀ¨µ×°å¡¢éîÌú¡¢Ï¡ÍÁ´Å¸Ö¼°µ¼´Å°å£¬ËùÊöµÄéîÌú¼°Ï¡ÍÁ´Å¸Ö¹¹³É´Å¸ÖÖ÷Ì壬éîÌú¡¢Ï¡ÍÁ´Å¸Ö¼°µ¼´Å°å¸÷ÉèÓÐÁ½¸ö£¬éîÌú¶Ô³ÆÉèÖÃÔÚµ×°åÉÏ£¬¾ÂÝË¿Óëµ×°åÁ¬½Ó£¬Ï¡ÍÁ´Å¸ÖÉèÖÃÔÚéîÌúµÄÉÏ·½£¬ ËùÊöµÄµ¼´Å°åÉèÔÚÏ¡ÍÁ´Å¸ÖµÄÉϲ¿£¬Á½¸öµ¼´Å°åµÄ¶Ë²¿Ö®¼äÐγÉÒ»»ðÑæÈûÂüʹÓõŤ×÷¼ä϶¡£ËùÊöµÄéîÌú±íÃæÉèÖÃÓÐÌÕ´É·À¸¯²ã¡£ËùÊöµÄÏ¡ÍÁ´Å¸ÖÉèÔÚ»ðÑæÈûÂüËùÓõĴų¡¿Õ¼äÒ»²à¡£ËùÊöµÄ¹¤×÷¼ä϶µÄ¿í¶ÈΪ8 20ºÁÃס£ÓëÏÖÓм¼ÊõÏà±È£¬±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÔÚͬÑùµÄ´Å¼ä϶Çé¿öÏ£¬´ïµ½1. 05TµÄ´Å¸ÐӦǿ¶È£¬ ¾²âÊÔ£¬¶ÔÓÚCu324. 8nmÆ×ÏߺÍ&i213. 9nmÆ×Ïߣ¬·ÖÎöÁéÃô¶ÈÌá¸ßÁË 50%¡£¶ÔÓÚCd228. 8nm Æ×Ïß·ÖÎöÁéÃô¶ÈÌá¸ßÁË 15%£¬Ï¡ÍÁ´Å¸Ö×°ÔÚµ¼´Å°åÒ»²à£¬Ê¹µÃ´Å¼ä϶´Å³¡Ç¿¶ÈÌá¸ß£¬»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸֵÄéîÌú²ÉÓÃÌմɲÄÁÏ×÷·À¸¯Ê´±íÃæ´¦Àí£¬´ó´óÑÓ³¤Á˴ŸֵÄʹÓÃ
ÊÙÃü¦Ï
ͼ1Ϊ±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ĽṹʾÒâͼ¡£Í¼ÖÐ1Ϊµ×°å¡¢2ΪéîÌú¡¢3ΪϡÍÁ´Å¸Ö¡¢4Ϊµ¼´Å°å¡¢5Ϊ¹¤×÷¼ä϶¡£
¾ßÌåʵʩ·½Ê½
[0014]
ÒÔϽáºÏ¸½Í¼ºÍ¾ßÌåʵʩÀý¶Ô±¾ÊµÓÃÐÂÐͽøÐÐÏêϸ˵Ã÷¡£ÊµÊ©ÀýÒ»ÖÖ»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸÖ×°Öã¬Æä½á¹¹Èçͼ1Ëùʾ£¬¸ÃÎüÊմŸÖ×°ÖðüÀ¨µ×°å1¡¢éîÌú2¡¢Ï¡ÍÁ´Å¸Ö3¼°µ¼´Å°å4£¬éîÌú2¼°Ï¡ÍÁ´Å¸Ö3¹¹³É´Å¸ÖÖ÷Ì壬éîÌú2¡¢Ï¡ÍÁ´Å¸Ö3¼°µ¼´Å°å4¸÷ÉèÓÐÁ½¸ö£¬éîÌú2¶Ô³ÆÉèÖÃÔÚµ×°å1ÉÏ£¬¾ÂÝË¿Óëµ×°å1Á¬½Ó£¬Ï¡ÍÁ´Å¸Ö3ÉèÖÃÔÚéîÌú2µÄÉÏ·½£¬µ¼´Å°å4ÉèÔÚÏ¡ÍÁ´Å¸ÖµÄÉϲ¿£¬Á½¸öµ¼´Å°å4µÄ¶Ë²¿Ö®¼äÐγÉÒ»»ðÑæÈûÂüʹÓõŤ×÷¼ä϶5£¬¹¤×÷¼ä϶5µÄ¿í¶ÈΪ8 20ºÁÃ×£¬±¾ÊµÊ©ÀýÖй¤×÷¼ä϶5µÄ¿í¶ÈΪ10ºÁÃס£ÔÚéîÌú2µÄ±íÃæÓÃÌմɲÄÁÏ×÷·À¸¯Ê´±íÃæ´¦Àí£¬Ï¡ÍÁ´Å¸Ö3ÉèÔÚ»ðÑæÈûÂüËùÓõĴų¡¿Õ¼äÒ»²à¡£¹¤×÷¼ä϶5¡¢µ¼´Å°å4¡¢Ï¡ÍÁ´Å¸Ö3¡¢éîÌú2ºÍµ×°å1×é³É±¾·¢Ã÷µÄÍêÕû´Å·¡£ÔÚÓëÔÂÁÄøîܲÄÁϴŸÖͬÑùµÄÆøÏ¶¡¢Í¬ÑùµÄ´Å³¡Ìå»ýÏ£¬ÆøÏ¶´Å¸ÐӦǿ¶È´ïµ½1. 05TµÄ¡£¶øÔÓÐÂÁÄøîܲÄÁϵĴŸÖÖ»ÓÐ0. 85T¡£¶ÔÓÚCu324. 8nmÆ×ÏߺÍ&i213. 9nmÆ×Ïߣ¬·ÖÎöÁéÃô¶ÈÌá¸ßÁË 50%¡£¶ÔÓÚCd228. SnmÆ×Ïß·ÖÎöÁéÃô¶ÈÌá¸ßÁË 15%¡£×÷ΪÈûÂüÔ×ÓÎüÊÕ×îÖ÷ÒªµÄȱµãÖ®Ò»ÊÇ£¬ÓÉÓڴų¡µÄ´æÔÚʹÔ×Ó»¯Æ÷µÄÐÎ×´ºÍ´óС¶¼Êܵ½Ò»¶¨ÏÞÖÆ£¬¶øÔÚʹÓÃÁËÏ¡ÍÁÓÀ´Å¸ÖÖ®ºó£¬ÔÚÔÓдŸÐӦǿ¶ÈÌõ¼þÏ£¬¿ÉÒÔ¼Ó´ó¹¤×÷¼ä϶£¬Òò´Ë¶ÔÔ×Ó»¯Æ÷ÐÎ×´´óСµÄÏÞÖÆÒ²»á±äС¡£Í¬Ê±ÔÚ½öÐèÒªÏàͬ´Å³¡Ç¿¶ÈµÄÌõ¼þÏ¿ÉÒÔ½«´Å¸ÖÌå»ý¼õС£¬½ø¶ø¿ÉÒÔ¿ª·¢Ìå»ý¸üС¡¢¸ü±ãЯµÄСÐÍרÓÃÒÇÆ÷¡£ÒÔÉÏÏÔʾºÍÃèÊöÁ˱¾·¢Ã÷µÄ»ù±¾ÔÀí¡¢Ö÷ÒªÌØÕ÷ºÍ±¾·¢Ã÷µÄÓŵ㡣±¾ÐÐÒµµÄ¼¼ÊõÈËÔ±Ó¦¸ÃÁ˽⣬±¾·¢Ã÷²»ÊÜÉÏÊöʵʩÀýµÄÏÞÖÆ£¬ÉÏÊöʵʩÀýºÍ˵Ã÷ÊéÖÐÃèÊöµÄÖ»ÊÇ˵Ã÷±¾·¢Ã÷µÄÔÀí£¬ÔÚ²»ÍÑÀë±¾·¢Ã÷¾«ÉñºÍ·¶Î§µÄǰÌáÏ£¬±¾·¢Ã÷»¹»áÓи÷Öֱ仯ºÍ¸Ä½ø£¬ÕâЩ±ä»¯ºÍ¸Ä½ø¶¼ÂäÈëÒªÇó±£»¤µÄ±¾·¢Ã÷·¶Î§ÄÚ¡£±¾·¢Ã÷ÒªÇó±£»¤·¶Î§ÓÉËù¸½µÄȨÀûÒªÇóÊé¼°ÆäµÈЧÎï½ç¶¨¡£
ȨÀûÒªÇó1.Ò»ÖÖ»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸÖ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬¸Ã´Å¸Ö×°ÖðüÀ¨µ×°å¡¢éîÌú¡¢Ï¡ÍÁ´Å¸Ö¼°µ¼´Å°å£¬ËùÊöµÄéîÌú¼°Ï¡ÍÁ´Å¸Ö¹¹³É´Å¸ÖÖ÷Ì壬éîÌú¡¢Ï¡ÍÁ´Å¸Ö¼°µ¼´Å°å¸÷ÉèÓÐÁ½¸ö£¬éîÌú¶Ô³ÆÉèÖÃÔÚµ×°åÉÏ£¬¾ÂÝË¿Óëµ×°åÁ¬½Ó£¬Ï¡ÍÁ´Å¸ÖÉèÖÃÔÚéîÌúµÄÉÏ·½£¬ËùÊöµÄµ¼´Å°åÉèÔÚÏ¡ÍÁ´Å¸ÖµÄÉϲ¿£¬Á½¸öµ¼´Å°åµÄ¶Ë²¿Ö®¼äÐγÉÒ»»ðÑæÈûÂüʹÓõŤ×÷¼ä϶¡£
2.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖ»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸÖ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöµÄéîÌú±íÃæÉèÖÃÓÐÌÕ´É·À¸¯²ã¡£
3.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖ»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸÖ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöµÄ¹¤×÷¼ä϶µÄ¿í¶ÈΪ8 20ºÁÃס£
רÀûÕªÒª±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°Ò»ÖÖ»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸÖ×°Ö㬰üÀ¨µ×°å¡¢éîÌú¡¢Ï¡ÍÁ´Å¸Ö¼°µ¼´Å°å£¬éîÌú¼°Ï¡ÍÁ´Å¸Ö¹¹³É´Å¸ÖÖ÷Ì壬éîÌú¡¢Ï¡ÍÁ´Å¸Ö¼°µ¼´Å°å¸÷ÉèÓÐÁ½¸ö£¬éîÌú¶Ô³ÆÉèÖÃÔÚµ×°åÉÏ£¬¾ÂÝË¿Óëµ×°åÁ¬½Ó£¬Ï¡ÍÁ´Å¸ÖÉèÖÃÔÚéîÌúµÄÉÏ·½£¬µ¼´Å°åÉèÔÚÏ¡ÍÁ´Å¸ÖµÄÉϲ¿£¬Á½¸öµ¼´Å°åµÄ¶Ë²¿Ö®¼äÐγÉÒ»»ðÑæÈûÂüʹÓõŤ×÷¼ä϶¡£ÓëÏÖÓм¼ÊõÏà±È£¬±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÔÚͬÑùµÄ´Å¼ä϶Çé¿öÏ£¬´ïµ½1.05TµÄ´Å¸ÐӦǿ¶È£¬Ï¡ÍÁ´Å¸Ö×°ÔÚµ¼´Å°åÒ»²à£¬Ê¹µÃ´Å¼ä϶´Å³¡Ç¿¶ÈÌá¸ß£¬»ðÑæÈûÂü±³¾°Ð£ÕýÔ×ÓÎüÊմŸֵÄéîÌú²ÉÓÃÌմɲÄÁÏ×÷·À¸¯Ê´±íÃæ´¦Àí£¬´ó´óÑÓ³¤Á˴ŸֵÄʹÓÃÊÙÃü¡£
Îĵµ±àºÅG01N21/71GK202110142SQ20112018626
¹«¿ªÈÕ2012Äê1ÔÂ11ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ2011Äê6ÔÂ3ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ2011Äê6ÔÂ3ÈÕ
·¢Ã÷ÕßÕÅʫԨ, ÑîÐ¥ÌÎ, ÕÂêÝѧ ÉêÇëÈË:ÉϺ£½ÜÁé´ÅÐÔÆ÷²ÄÓÐÏÞ¹«Ë¾