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专利名称：薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种有机物质形貌分析的样品固定装置，尤其是一种薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置。
背景技术：
在实验室中经常会进行有机物质样品的断层或表面形貌分析。对于薄膜类有机物质，尤其是导电效果不好的薄膜类有机物质，由于导电性差，对其形貌分析时，产生的电荷积累会影响观察稳定性，并且电荷放电，电子束对样品容易造成损伤，对仪器有一定影响。

实用新型内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种能够在观察的过程中避免电荷放电、减少电子束对样品的损伤，而且还可增加二次电子产率，获得质量良好形貌效果的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置。为解决上述问题，本实用新型的一种薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置， 包括放置待分析薄膜样品的样品台，其特征在于所述样品台上还设置有压板，该压板由导电材料制成。所述压板为铝制压板。所述压板通过螺栓固定在样品台上。采用本实用新型结构的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，使用时，将薄膜样品先平放在样品台上，将铝制压板固定在薄膜上，通过螺栓连接使铝制压板与样品台固定，同时薄膜与样品台紧密贴合，位置不会偏移，转动样品台角度即可对薄膜断层进行分析。本实用新型结构的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，能够有效避免电荷放电、 减少电子束对样品的损伤，而且还可增加二次电子产率，获得质量良好的图片，操作简易方便。

图1为本实用新型结构的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置的结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型技术方案，
以下结合附图和实施方式对本实用新型作进一步的详细说明。如图1所示，本实用新型的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，包括放置待分析薄膜样品2的样品台1，该样品台1为铝制圆形样品台，所述样品台1上还设置有压板3，该压板3由导电材料制成。所述压板3为铝制压板。[0012]所述压板3通过螺栓固定在样品台1上。该薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置的铝制圆形样品台1，在对薄膜样品 2进行断层分析时，需要将薄膜样品2与样品台1紧密贴合，利用铝制压板3将薄膜样品2 固定在样品台1上，铝制压板3通过螺栓连接与样品台1固定，增强严密性，目的是可以在分析时将样品台1转动角度以确保对薄膜样品2进行断层分析。本实用新型结构的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，能够有效避免电荷放电、减少电子束对样品的损伤，而且还可增加二次电子产率，获得质量良好的图片，操作简易方便。
权利要求1.一种薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，包括放置待分析薄膜样品的样品台，其特征在于所述样品台上还设置有压板，该压板由导电材料制成。
2.如权利要求1所述薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，其特征在于所述压板为铝制压板。
3.如权利要求2所述薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，其特征在于所述压板通过螺栓固定在样品台上。
专利摘要本实用新型公开了一种能够在观察的过程中避免电荷放电、减少电子束对样品的损伤，而且还可增加二次电子产率，获得质量良好形貌效果的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，包括放置待分析薄膜样品的样品台，其特征在于所述样品台上还设置有压板，该压板由导电材料制成。本实用新型结构的薄膜类有机物质形貌分析的样品固定装置，能够有效避免电荷放电、减少电子束对样品的损伤，而且还可增加二次电子产率，获得质量良好的图片，操作简易方便。
文档编号G01N27/00GK202204793SQ20112030179
公开日2012年4月25日 申请日期2011年8月18日 优先权日2011年8月18日
发明者宋津京, 郝俊胜 申请人:三星高新电机(天津)有限公司