רÀûÃû³Æ£ºÓÃÓÚÖ±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±ÕÊäµçÏß·(gil)µÄÊÔÑéÑо¿×°ÖõÄÖÆ×÷·½·¨
¼¼ÊõÁìÓò£º
±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°¸ßµçѹÊäµçÏß·Óë¾øÔµ¼¼ÊõÁìÓò¡£
±³¾°¼¼Êõ£º
ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±ÕÊäµçÏß·(GIL: Gas Insulated Metal Enclosed Transmission Line)Ô´ÓÚSF6¾øÔµµÄ½ðÊô·â±ÕĸÏߣ¬ÊÇÒ»ÖÖ²ÉÓÃSF6ÆøÌå»òSF6 ºÍN2»ìºÏÆøÌå¾øÔµ¡¢Íâ¿ÇÓëµ¼ÌåͬÖá²¼Öõĸߵçѹ¡¢´óµçÁ÷µçÁ¦´«ÊäÉ豸¡£ ÆäµçÆøÌØÐÔÓë¼Ü¿ÕÏß·ÏàËÆ£¬ÎÞ¾øÔµÀÏ»¯ÎÊÌ⣬ËðºÄµÍ£¬°²È«·À»¤ÐԺ㬠ռµØ¿Õ¼äС£¬ÔÚ´óÈÝÁ¿³¤¾àÀëÊäµç·½Ãæ¾ßÓÐÓÅÊÆ¡£¸Ã¼¼ÊõµÄÑз¢Ê¼ÓÚ20ÊÀ ¼Í60Äê´ú£¬Ä¿µÄÊÇʵÏÖÓë¼Ü¿ÕÊäµçÏß·ÊäµçÈÝÁ¿Ï൱µÄµØÏÂÊäµçÏß·¡£ÃÀ ¹úCGIT Systems. Inc.¹«Ë¾µÄǰÉíHigh Voltage Power Corporation¹«Ë¾1972Äê ÔÚÃÀ¹úÐÂÔóÎ÷ÖÝHudsonµç³§°²×°ÁËÊÀ½çÉÏÊ׸öGIL£¬Æù½ñÈÔÔÚ¿É¿¿ÔËÐС£ ¾ÝIEEE/PES±äµçվίԱ»áGIS(ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±Õ×éºÏµçÆ÷)·Öί»á2004 ÄêµÄͳ¼Æ£¬È«ÊÀ½çµÄ73-1200kVÆøÌå¾øÔµÊäµçÏß·×ܳ¤Ô¼198km¡£×µÄGIL ÔÚÈÕ±¾¶«¾©£¬È«³¤3.3km£¬¶î¶¨µçѹ275kV¡£
ÓÉÓÚSF6ÆøÌå¾ßÓÐÓÅÒìµÄ¾øÔµºÍÃð»¡ÐÔÄÜ£¬ÊÇĿǰÊÀ½çÉÏ×îÓÅÁ¼µÄ¾øÔµ ½éÖÊ£¬¹ã·ºµØÓ¦ÓÃÓÚ¸ßѹµçÆ÷ÁìÓò¡£ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±ÕÊäµçÏß·×÷ΪһÖÖ ÐÂÐ͵ÄÊäµçÏß·£¬¾ßÓд«ÊäÈÝÁ¿´ó¡¢ËðºÄС¡¢²¿¼þÄ£¿é»¯¡¢Õ¼µØÉÙ¡¢¿É¿¿ ÐÔ°²È«ÐԸߡ¢Ãâά»¤¡¢ÊÙÃü³¤¡¢¶Ô»·¾³Ó°ÏìСµÈÓŵ㣬GILµÄ²ÉÓ㬿ɽâ
¾öÌØÊâÆøºò¡¢ÌØÊâ»·¾³ºÍÌØÊâµØ¶ÎµÄÊäµçÏß·¼ÜÉèÎÊÌ⣬ͨ¹ýºÏÀí¹æ»®ºÍ Éè¼Æ£¬²»½ö¿ÉÒÔ´ó´ó¼õÉÙϵͳÔì¼Û£¬¶øÇÒ¿ÉÒÔÌá¸ßϵͳ¿É¿¿ÐÔ¡£È»¶ø³¤ÆÚ ÒÔÀ´£¬ÊÜÖ±Á÷Êäµç¼¼Êõ·¢Õ¹»ºÂýµÄÓ°Ï죬¹úÄÚÍâרÃÅÕë¶ÔÖ±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ð
Êô·â±ÕÊäµçÏß·(GIL)µÄÑо¿ÉõÉÙ£¬Ã»ÓÐÐγÉÖ±Á÷GIL²úÆ·¡£½ØÖ¹Ä¿Ç° Ϊֹ£¬È«ÊÀ½ç·¶Î§ÄڵĽ»Á÷GILµÄµçѹµÈ¼¶·¶Î§Îª73 1200 kV¡£¾øÔµÉè ¼ÆÊÇÖ±Á÷GILµÄ¹Ø¼ü¼¼Êõ»·½Ú£¬°üÀ¨Í¬Öáµç¼«¾øÔµ¼ä϶³ß´çµÄÑ¡Ôñ£¬Åèʽ ºÍÖ§Öù¾øÔµ×ÓÍâÐνṹµÄÉè¼Æ£¬ÒÔ¼°½ðÊôµ¼µç΢Á£µÄÒÖÖÆ¡£ÎªÉè¼Æ×ۺϾø ÔµÐÔÄÜÁ¼ºÃµÄÖ±Á÷GIL,ÐèÒª½øÐдóÁ¿µÄSF6ÆøÌå¼ä϶¾øÔµÊÔÑé¡¢¾øÔµ×Ó ÑØÃæÉÁÂçÌØÐÔÊÔÑé¡¢ÒÔ¼°½ðÊôµ¼µç΢Á£ÊÔÑé¡£
ΪÑо¿SF6ÆøÌå¾øÔµÌØÐÔºÍÉè¼Æ¾øÔµÐÔÄÜÓÅÒìµÄ½»Ö±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â ±Õ×éºÏµçÆ÷(GIS)ºÍ½»Á÷GIL£¬¹úÄÚÍâ¶à¼ÒÏà¹ØÑо¿»ú¹¹ºÍµçÁ¦¹«Ë¾Éè¼Æ ÁËÓÃÓÚSF6ÆøÌå¾øÔµÊÔÑéµÄÈÝÆ÷»ò×°Ö㬵«ÕâЩÊÔÑé×°ÖûòÈÝÆ÷ÓÃÓÚÖ±Á÷ GIL¾øÔµÊÔÑéʱ£¬´æÔÚÐí¶à²»×ãÖ®´¦¡£ÈçµÂ¹úĽÄáºÚ´óѧW.BoeckÑо¿Ð¡ ×éÉè¼ÆµÄÖ±¾¶2m£¬³¤5mµÄ´óÐÍÁ¢Ê½SF6ÆøÌå¾øÔµÊÔÑéÈÝÆ÷£¬×ÜÌå»ýΪ 17m3£¬Ã¿Ò»´ÎÊÔÑé¶¼ÐèÒª³ä´óÁ¿µÄÆøÌ壬ÊÔÑéʱ³ä·ÅÆøÒÔ¼°ÆøÌå¾»»¯¹¤×÷ Á¿´ó£»µ¥Ò»Á¢Ê½µÄÆøÊÒ£¬Ê¹Åèʽ¾øÔµ×ÓÖ»ÄÜˮƽ·ÅÖã¬ÎÞ·¨½øÐнðÊôµ¼µç ΢Á£¶ÔÅèʽ¾øÔµ×Ó¾øÔµÐÔÄÜÓ°ÏìµÄÊÔÑé¡£ÈÕ±¾¹ØÎ÷µçÁ¦¹«Ë¾ÔòÖ±½Ó²ÉÓÃδ ¸Ä½øµÄGISĸÏ߶νøÐÐÅèʽ¾øÔµ×ÓÊÔÑ飬ÕâÖÖÊÔÑé×°ÖÿÉÒԺܺõĽøÐоø Ôµ×ÓÉÁÂçÌØÐÔÊÔÑ飬µ«²»·½±ã½øÐи÷ÖÖSF6ÆøÌå¼ä϶µÄ¾øÔµÌØÐÔÊÔÑéºÍ½ð Êôµ¼µç΢Á£ÊÔÑé¡£ÃÀ¹úÂéÊ¡Àí¹¤¼¼ÊõѧԺµÄÑо¿ÕßÉè¼ÆÁËͬÖáˮƽ·ÅÖÃµÄ SF6¾øÔµÊÔÑé×°Ö㬿ÉÒÔ½øÐÐͬÖáÔ²ÖùSF6¼ä϶¾øÔµÊÔÑ飬µ«ÎÞ·¨°²·ÅÅèʽ ¾øÔµ×Ó²¢½øÐÐÏà¹ØÊÔÑé¡£¹úÄÚÎ÷°²½»Í¨´óѧÇñع²ý½ÌÊÚµÈÈËΪÑо¿SF6Æø Ìå¾øÔµÌØÐԺͶԾøÔµ×ÓÄ£ÐͽøÐбíÃæµçºÉµÄ²âÁ¿£¬Éè¼ÆÁË´øÔ¶×ÏÍâʯӢ²£
Á§´°µÄSF6ÆøÌå¾øÔµÊÔÑéÈÝÆ÷£¬¿ÉÒԹ۲쵽·Åµç¹ý³ÌÖеÄ×ÏÍâ¹âºÍ¿É¼û¹â; µ«ÕâÖÖÊÔÑéÈÝÆ÷Ò²ÊDzÉÓÃÁ¢Ê½½á¹¹µÄÐÎʽ£¬²»·½±ã½øÐÐÅèʽ¾øÔµ×ÓÏà¹ØÊÔ Ñé¡£
×ÛÉÏËùÊö£¬Ä¿Ç°¹úÄÚÍâûÓÐÒ»ÖÖרÃÅÓÃÓÚÖ±Á÷GIL¾øÔµÊÔÑéµÄ×°Ö㬹ú
ÄÚÍâÏà¹ØµÄSF6ÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°ÖûòÈÝÆ÷£¬ÒªÃ´½öÊʺÏSF6ÆøÌå¼ä϶¾øÔµÌØ ÐÔµÄÊÔÑ飬Ҫô½öÊʺÏÓÚ¾øÔµÏà¹ØÌØÐÔµÄÊÔÑé¡£²»Í¬Ê±¾ß±¸SF6ÆøÌå¼ä϶
¾øÔµÊÔÑé¡¢¾øÔµ×ÓÑØÃæÉÁÂçÌØÐÔÊÔÑé¡¢ÒÔ¼°½ðÊôµ¼µç΢Á£ÊÔÑéµÄÊÔÑéÄÜÁ¦£¬
ÎÞ·¨Âú×ãÖ±Á÷GIL¾øÔµÊÔÑéµÄÐèÒª¡£¶ø±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÖ±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â
±ÕÊäµçÏß·µÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°ÖÃÄܹ»¿Ë·þÉÏÊö²»×㣬Äܹ»½øÐо߱¸ÉÏÊö¶à
ÖÖÒªÇóµÄÊÔÑ飬´Ó¶øºÜºÃµØÂú×ãÁËÖ±Á÷GIL¾øÔµÊÔÑéµÄÐèÒª¡£
ʵÓÃÐÂÐÍÄÚÈÝ
ÔÚÉè¼ÆÖ±Á÷GILÕûÌå¾øÔµ½á¹¹Ê±£¬ÐèÒªÑо¿²»Í¬ÆøÑ¹¡¢²»Í¬µç¼«ÐÎ×´¡¢ ²»Í¬±íÃæ´Ö²Ú¶È¡¢²»Í¬µç¼«¸²Ä¤Çé¿ö¶ÔSF6ÆøÌå¾øÔµÌØÐÔµÄÓ°Ïì¡¢Åèʽ¾ø Ôµ×Ó¡¢Ö§Öù¾øÔµ×Ó±íÃæµçºÉµÄ»ý¾Û»úÀí¼°Æä¶Ô¾øÔµ×ÓÉÁÂçÌØÐÔµÄÓ°Ïì¡¢½ð Êôµ¼µç΢Á£µÄÔ˶¯¹æÂɼ°Æä¶Ô¾øÔµ×ÓÉÁÂçÌØÐÔµÄÓ°ÏìµÈ·½ÃæµÄÎÊÌ⣬Ϊ´Ë£¬ ±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÌá³öÁËÒÔϵÄÊÔÑé×°Öá£
ÒÀ¾Ý±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÓÃÓÚÖ±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±ÕÊäµçÏß·µÄÊÔÑéÑо¿×° Öã¬ÆäÕûÌåÍâÐγÊ"L"ÐÍ£¬°üÀ¨ÊúÖ±·½ÏòÉϲ¼ÖõĸßѹÒýÏß¶Ë¡¢¸ßѹ¾ùѹ»· ºÍ¹èÏ𽺸´ºÏ¾øÔµ×Ó¸ßѹÌ׹ܣ»ÒÔ¼°ÔÚˮƽ·½ÏòÉÏ£¬Í¬Öá·Ö²¼µÄλÓÚÖÐ¼ä µÄ¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«ºÍÍâΧµÄÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç£»lºÅÆøÊÒ¡¢2ºÅÆøÊÒºÍ3ºÅÆøÊÒ¹² ͬ×é³ÉºáÏòµÄÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç£¬ËùÊöÈý¸öÆøÊÒÓÉ1ºÅÅèʽ¾øÔµ×ÓºÍ2ºÅÅèʽ ¾øÔµ×Ó¸ôÀë³ÉΪ¶ÀÁ¢µÄÆøÊÒ£¬ËùÊöÈý¸öÆøÊÒ»¹·Ö±ð¾ßÓÐÏàÓ¦µÄ¶ÀÁ¢³ä·ÅÆø
·§ÃÅlºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ¡¢2ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃźÍ3ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ£»ËùÊöÿ¸ö³ä·Å Æø·§ÃÅÉϾùÉèÖÃÓÐÆøÑ¹±í»òÃܶȼơ£
ËùÊö3ºÅÆøÊÒµÄϲ¿ÉèÓÐÖ§Öù¾øÔµ×Ó£¬ÔÚÖ§Öù¾øÔµ×ÓÉÏÉèÖÃÓÐ¿ÉÆÁ±Î ¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«¶Ë²¿µç³¡µÄÆÁ±Î¾ùѹÕÖ£¬ÆÁ±Î¾ùѹÕÖÓë¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«Á¬½Ó¡£
2ºÅÅèʽ¾øÔµ×ÓÓë¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«Ö®¼äÉèÓе缫¹ý¶ÉÁ¬½Ó¼þ£¬ËùÊö¸ßѹµ¼ ¸Ëµç¼«¿Éͨ¹ýµç¼«¹ý¶ÉÁ¬½Ó¼þ½øÐиü»»£¬´Ó¶øÍ¨¹ý¸Ä±äËùÊö¸ßѹµ¼¸Ëµç¼« ¼°ÆäÅäÌ׵缫µÄ³ß´çºÍ´Ö²Ú¶È£¬½øÐв»Í¬ÐÎ×´ºÍ²»Í¬´Ö²Ú¶ÈµÄÆøÌå¼ä϶¾ø ÔµÌØÐÔÊÔÑé¡£
3ºÅÆøÊÒµÄ3ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅÉÏÉèÖÃÓдøÎ¶Ȳ¹³¥µÄÆøÌåÃܶȼơ£
¸Ã×°ÖõÄ1ºÅÆøÊ񵀮øÑ¹±£³Öºã¶¨£¬²»ÓÃÓÚÊÔÑ飬ËùÊö3ºÅÆøÊÒΪÊÔ Ñéµ¥Ôª¶Î£¬Í¨¹ý²¼Öò»Í¬ÐÎʽµÄ°ô°åµç¼«¡¢Í¬ÖáÔ²Öùµç¼«¡¢²»Í¬¹æ¸ñµÄ2 ºÅÅèʽ¾øÔµ×ÓºÍÖ§Öù¾øÔµ×ÓÒÔ¼°½ðÊôµ¼µç΢Á££¬ÔÚËùÊö3ºÅÆøÊÒÖнøÐÐSF6 ÆøÌå¼ä϶¾øÔµÌØÐÔÊÔÑé¡¢¾øÔµ×ÓÉÁÂçÌØÐÔÊÔÑéºÍ½ðÊôµ¼µç΢Á£ÊÔÑé¡£
2ºÅÆøÊҵĶ¥¶Ë°²×°ÓÐ1ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú£» 3ºÅÆøÊҵĶ¥¶ËÓÉ×óÖÁ ÓÒÒÀ´Î°²×°ÓÐ2ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿ÚºÍ3ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú£¬»¹¿É3ºÅ ÆøÊÒµÄÍâ¶Ë²¿Éϰ²×°ÓÐÖ÷ÊÔÑéʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú ¡£ËùÊöʯӢ²£Á§ÎªÔ¶×ÏÍâ ²ÄÁÏ£¬¶Ô·Åµç¹ý³ÌÖз¢³öµÄ²¨³¤ÔÚ200nm 800nmµÄ¹âÆ×·¶Î§Äڹ⣬Æä͸ ¹ýÂÊ´óÓÚ90%¡£
3ºÅÆøÊÒµÄÍâ¶Ë²¿ÉÏÉèÓпɲðжµÄ·¨À¼½á¹¹¡£ »¹¿ÉÔÚ±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöÊÔÑé×°ÖõÄϲ¿°²×°ÓÐ×°ÖÃÖ§³Å×ùºÍ¸¨ÖúÖ§³Å ¼Ü£¬ÓÃÓÚÖ§³ÅËùÊöÊÔÑé×°Öñ¾Ì壬ʹ±¾ÌåÄܹ»¸üƽÎȵķÅÖúÍÒÆ¶¯¡£
±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÓÐÒæÐ§¹ûÔÚÓÚ
1.±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöµÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°ÖòÉÓÃÈý¸öÆøÊÒÐÎʽµÄ·Ö¶Î½á¹¹
Éè¼Æ£¬¼õÉÙÁËÊÔÑé¹ý³ÌÖÐÆøÌåµÄʹÓÃÁ¿£¬²¢ÇÒʹ³ä·ÅÆø²Ù×÷¹ý³Ì±äµÃ·Ç³£ ¼òµ¥£¬´Ó¶ø¸üºÃµØÂú×ãÁËÖ±Á÷GIL¾øÔµÊÔÑéµÄÐèÒª£»
2. ±¾ÊµÓÃÐÂÐÍͨ¹ý°²×°ÔÚÅèʽ¾øÔµ×ÓÓë¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«Ö®¼äµÄµç¼«¹ý¶É
Á¬½Ó¼þ£¬¿É·½±ã¶Ô¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«½øÐиü»»£¬´Ó¶øÍ¨¹ý¸Ä±äËùÊö¸ßѹµ¼¸Ëµç ¼«¼°ÆäÅäÌ׵缫µÄ³ß´çºÍ´Ö²Ú¶È£¬½øÐв»Í¬ÐÎ×´ºÍ²»Í¬´Ö²Ú¶ÈµÄÆøÌå¼ä϶
¾øÔµÌØÐÔÊÔÑ飻
3. ±¾ÊµÓÃÐÂÐÍͨ¹ýÔÚÖ§Öù¾øÔµ×ÓÉÏÉèÖÃÆÁ±Î¾ùѹÕÖ£¬¿ÉÒÔÓÃÀ´ÆÁ±Î¸ß ѹµ¼¸Ëµç¼«¶Ë²¿µÄµç³¡£¬Ê¹ÊÔÑéʱ²»»á³öÏÖµçÔηŵ硣
ͼ1ΪÒÀ¾Ý±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÖ±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±ÕÊäµçÏß·(GIL)µÄÆøÌå ¾øÔµÊÔÑé×°ÖõÄ×ÜÌå½á¹¹Ê¾Òâͼ2ΪÈçͼ1ËùʾµÄÒÀ¾Ý±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÖ±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±ÕÊäµçÏß· (GIL)µÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°ÖõÄ×ÜÌå½á¹¹µÄ¸©ÊÓͼ¡£ ÆäÖУ¬Í¼Öи÷¸½Í¼±ê¼ÇËù´ú±íµÄ²¿¼þΪ
1- ¸ßѹÒýÏß¶Ë£»
2- ¸ßѹ¾ùѹ»·£»
3- ¹èÏ𽺸´ºÏ¾øÔµ×Ó¸ßѹÌ׹ܣ»
4- 1ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó£»
5- lºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú£»
6- 2ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó(ÊÔÑéÓÃÅèʽ¾øÔµ×Ó)£»
7- 2ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú£»
8- µç¼«¹ý¶ÉÁ¬½Ó¼þ£»9- ¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«£»
10- 3ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú£»
11- ÆÁ±Î¾ùѹÕÖ£»
12- Ö÷ÊÔÑéʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú £»
13- 1ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ£»
14- 1ºÅÆøÊÒ£»
15- ×°ÖÃÖ§³Å×ù£»
16- Öмä¸ßѹµ¼Ì壻
17- 2ºÅÆøÊÒ£»
18- ¸¨ÖúÖ§³Å¼Ü£»
19- ÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç£»
20- 3ºÅÆøÊÒ£»
21- Ö§Öù¾øÔµ×Ó(ÊÔÑéÓÃÖ§Öù¾øÔµ×Ó);
22- 2ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ£»
23- 3ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ£»
24- 4ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ£»
25- ·¨À¼¡£
¾ßÌåʵʩ·½Ê½
ÏÂÃæ¾ßÌåÃèÊöÒÀ¾Ý±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÖ±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±ÕÊäµçÏß·(GIL) µÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°ÖõÄ×é³ÉºÍ½á¹¹¡£Èçͼ1×°ÖÃÕûÌå½á¹¹Í¼ºÍͼ2×°Öø©ÊÓͼ Ëùʾ¡£
ÈçͼlËùʾ£¬ÒÀ¾Ý±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÕû¸öÊÔÑé×°ÖþßÓдóÖ³Ê"L"Ð͵ÄÍâÐΣ¬Æä
ÔÚÊúÖ±·½ÏòÉÏÉèÖÃÓиßѹÒýÏß¶Ë1¡¢¸ßѹ¾ùѹ»·2ºÍ¹èÏ𽺸´ºÏ¾øÔµ×Ó¸ßѹÌ×
¹Ü3¡£ÔÚˮƽ·½ÏòÉÏ£¬ÖмäµÄ¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«9ºÍÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç19ͬÖá·Ö²¼£¬µ¥ Ԫģ¿é1ºÅÆøÊÒ14¡¢ 2ºÅÆøÊÒ17¡¢ 3ºÅÆøÊÒ20×é³ÉºáÏòµÄÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç19£¬ ÆäÖÐ1ºÅÆøÊÒ14´¹Ö±²¼Öã¬2ºÅÆøÊÒ17ºÍ3ºÅÆøÊÒ20ˮƽ²¼Öá£Èý¸öÆøÊÒÓÉ 2¸öÅèʽ¾øÔµ×Ó£¬Ò²¼´1ºÅºÍ2ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó¸ôÀ뿪³ÉΪ¶ÀÁ¢µÄÆøÊÒ£¬Èý¸öÆø ÊÒµ¥Ôª¶¼·Ö±ð¾ßÓÐÏàÓ¦µÄ¶ÀÁ¢µÄ³ä·ÅÆø·§ÃÅ1ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ13¡¢ 2ºÅ³ä·ÅÆø ·§ÃÅ22ºÍ3ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ23¡£ 3ºÅÆøÊÒ20»¹¸½¼Ó¾ßÓÐ4ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ24¡£Ã¿ ¸ö³ä·ÅÆø·§ÃÅÉϾùÉèÖÃÓÐÆøÑ¹±í»òÃܶȼƣ¬¿ÉÒÔµ¥¶À½øÐÐ³äÆøºÍ·ÅÆø¡£ÒÀ¾Ý±¾ ʵÓÃÐÂÐ͵ÄÊÔÑé×°ÖòÉÓÃÈý¸öÆøÊÒÐÎʽµÄ·Ö¶Î½á¹¹Éè¼Æ£¬¼õÉÙÁËÊÔÑé¹ý³ÌÖÐÆø ÌåµÄʹÓÃÁ¿£¬²¢ÇÒʹ³ä·ÅÆø²Ù×÷¹ý³Ì±äµÃ·Ç³£¼òµ¥¡£
1ºÅÆøÊÒ14µÄÆøÑ¹Í¨³£Çé¿öϱ£³Öºã¶¨£¬ÆøÌå²»¸ü»»£¬¸ÃÆøÊÒ²»ÓÃÓÚÈκΠÊÔÑé¡£3ºÅÆøÊÒ20ΪÊÔÑéµ¥Ôª¶Î£¬¿ÉÒÔͨ¹ý²¼Öò»Í¬ÐÎʽµÄ°ô°åµç¼«¡¢Í¬ÖáÔ² Öùµç¼«ÒÔ¼°²»Í¬¹æ¸ñµÄ2ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó6ºÍÖ§Öù¾øÔµ×Ó21£¬½øÐÐSF6ÆøÌå¼ä϶ ¾øÔµÌØÐÔÊÔÑéºÍ¾øÔµ×ÓÉÁÂçÌØÐÔÊÔÑé¡£ÔÚ3ºÅÆøÊÒ20ÖкÏÀíµØ²¼ÖýðÊôµ¼µç΢ Á££¬»¹¿ÉÒÔ½øÐнðÊôµ¼µç΢Á£Ïà¹ØÊÔÑé¡£¿ÉÒÔÔÚ3ºÅÆøÊÒ20ÉϵÄ3ºÅ³ä·ÅÆø·§ ÃÅ23ÉÏÁíÍâÅ䱸һ´øÎ¶Ȳ¹³¥µÄÆøÌåÃܶȼƻòÊǽ«3ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ23ÉÏµÄÆø ѹ±í¸ü»»Îª´øÎ¶Ȳ¹³¥µÄÆøÌåÃܶȼƣ¬´ËÆøÌåÃܶȼƿÉÒÔ²¹³¥Î¶ȶÔÊÔÑé½á¹û µÄÓ°Ïì¡£
1ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó4ºÍ2ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó6ͨ¹ý·¨À¼¹Ì¶¨ÔÚÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç19ÉÏ£¬ Ö§Öù¾øÔµ×Ó21µÄµ××ùͨ¹ýÂÝ˨¹Ì¶¨ÔÚÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç19ÉÏ¡£2ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó6 ºÍÖ§Öù¾øÔµ×Ó21¿ÉÓÃÓÚ¾øÔµ×ÓµÄÏà¹ØÊÔÑ飬2ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó6ºÍÖ§Öù¾øÔµ×Ó21 ¿ÉÒÔ¸ü»»Ê¹Óá£
3ºÅÆøÊÒ20µÄϲ¿×°ÓÐÖ§Öù¾øÔµ×Ó21£¬Ö§Öù¾øÔµ×Ó21ÉÏ´øÓÐÆÁ±Î¾ùѹÕÖ
11£¬ÆÁ±Î¾ùѹÕÖ11Óë¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«9Á¬½Ó£¬ÆÁ±Î¾ùѹÕÖ11¿ÉÒÔÓÃÀ´ÆÁ±Î¸ßѹ µ¼¸Ëµç¼«9¶Ë²¿µÄµç³¡£¬Ê¹ÊÔÑéʱ²»»á³öÏÖµçÔηŵ硣
3ºÅÆøÊÒ20¿É°²×°²»Í¬¹æ¸ñ³ß´çµÄͬÖáÍâ¿Çµç¼«ÒÔÅäºÏ¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«9×é ³ÉµÄµç¼«¶Ô£¬2ºÅÅèʽ¾øÔµ×ÓÓë¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«Ö®¼äÉèÓе缫¹ý¶ÉÁ¬½Ó¼þ£¬¸ßѹ µ¼¸Ëµç¼«9¿ÉÒÔͨ¹ý2ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó6ÓҶ˵ĵ缫¹ý¶ÉÁ¬½Ó¼þ8½øÐиü»»£¬´Ó ¶ø¿ÉÒÔͨ¹ý¸Ä±ä¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«9¼°ÆäÅäÌ׵缫µÄ³ß´çºÍ´Ö²Ú¶È£¬½øÐв»Í¬ÐÎ×´ ºÍ²»Í¬´Ö²Ú¶ÈµÄÆøÌå¼ä϶¾øÔµÌØÐÔÊÔÑé¡£
3ºÅÆøÊÒ20Íâ¶Ë²¿ÉèÓпɲðж·¨À¼25½á¹¹£¬¿Éͨ¹ýжȥ¸Ã·¨À¼À´Îª¸ü»» µç¼«Ìṩ²Ù×÷¿Õ¼ä¡£2ºÅÆøÊÒ17ºÍ3ºÅÆøÊÒ20Éϰ²×°ÓÐ1ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´° ¿Ú 5¡¢ 2ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú 7¡¢ 3ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú IOºÍÖ÷ÊÔÑéʯӢ²£Á§¹Û ²ì´°¿Ú 12¡£¸ÃʯӢ²£Á§ÎªÔ¶×ÏÍâ²ÄÁÏ£¬¶Ô·Åµç¹ý³ÌÖз¢³öµÄ²¨³¤ÔÚ200nm 800nmµÄ¹âÆ×·¶Î§Äڹ⣬Æä͸¹ýÂÊ´óÓÚ90%£¬Í¨¹ý¸ßËÙÉãÏñÒÇ¿ÉÒÔ¼àÊӷŵçµÄ ·¢Éú¹ý³Ì¡£
²»Ðâ¸ÖµÄ×°ÖÃÖ§³Å×ù15ºÍ¸¨ÖúÖ§³Å¼Ü18Ö§³ÅÊÔÑé×°Öñ¾Ì壬ʹ±¾ÌåÄܹ» ƽÎÈ·ÅÖ㬷½±ã¸ü»»µç¼«£¬ÇÒʹװÖÃÄܹ»Æ½ÎÈÒÆ¶¯¡£
×îºóÓ¦µ±ËµÃ÷µÄÊÇÒÔÉÏʵʩÀý½öÓÃÒÔ˵Ã÷±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ļ¼Êõ·½°¸¶ø ·Ç¶ÔÆäÏÞÖÆ£¬¾¡¹Ü²ÎÕÕÉÏÊöʵʩÀý¶Ô±¾ÊµÓÃÐÂÐͽøÐÐÁËÏêϸµÄ˵Ã÷£¬ËùÊô ÁìÓòµÄÆÕͨ¼¼ÊõÈËÔ±Ó¦µ±Àí½âÒÀÈ»¿ÉÒÔ¶Ô±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ľßÌåʵʩ·½Ê½
½ø ÐÐÐ޸ĻòÕßµÈÍ¬Ìæ»»£¬¶øÎ´ÍÑÀ뱾ʵÓÃÐÂÐ;«ÉñºÍ·¶Î§µÄÈκÎÐ޸ĻòÕßµÈ Í¬Ìæ»»£¬Æä¾ùÓ¦º¸ÇÔÚ±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄȨÀûÒªÇó·¶Î§µ±ÖС£
ȨÀûÒªÇó1.Ò»ÖÖÓÃÓÚÖ±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±ÕÊäµçÏß·µÄÊÔÑéÑо¿×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ£¬ËùÊöÊÔÑé×°ÖõÄÕûÌåÍâÐγʡ°L¡±ÐÍ£¬°üÀ¨ÊúÖ±·½ÏòÉϲ¼ÖõĸßѹÒýÏß¶Ë¡¢¸ßѹ¾ùѹ»·ºÍ¹èÏ𽺸´ºÏ¾øÔµ×Ó¸ßѹÌ׹ܣ»ÒÔ¼°ÔÚˮƽ·½ÏòÉÏ£¬Í¬Öá·Ö²¼µÄλÓÚÖмäµÄ¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«ºÍÍâΧµÄÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç£»1ºÅÆøÊÒ¡¢2ºÅÆøÊÒºÍ3ºÅÆøÊÒ¹²Í¬×é³ÉºáÏòµÄÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç£¬ËùÊöÈý¸öÆøÊÒÓÉ1ºÅÅèʽ¾øÔµ×ÓºÍ2ºÅÅèʽ¾øÔµ×Ó¸ôÀë³ÉΪ¶ÀÁ¢µÄÆøÊÒ£¬ËùÊöÈý¸öÆøÊÒ»¹·Ö±ð¾ßÓÐÏàÓ¦µÄ¶ÀÁ¢³ä·ÅÆø·§ÃÅ1ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ¡¢2ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃźÍ3ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅ£»ËùÊöÿ¸ö³ä·ÅÆø·§ÃÅÉϾùÉèÖÃÓÐÆøÑ¹±í»òÃܶȼơ£
2¡¢ ÒÀ¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊö3ºÅÆø ÊÒµÄϲ¿ÉèÓÐÖ§Öù¾øÔµ×Ó£¬ÔÚÖ§Öù¾øÔµ×ÓÉÏÉèÖÃÓÐ¿ÉÆÁ±Î¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«¶Ë ²¿µç³¡µÄÆÁ±Î¾ùѹÕÖ£¬ÆÁ±Î¾ùѹÕÖÓë¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«Á¬½Ó¡£
3¡¢ ÒÀ¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊö2ºÅÅè ʽ¾øÔµ×ÓÓë¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«Ö®¼äÉèÓе缫¹ý¶ÉÁ¬½Ó¼þ¡£
4¡¢ ÒÀ¾ÝȨÀûÒªÇó1»ò2ÈÎÒ»ËùÊöµÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËù Êö3ºÅÆøÊÒµÄ3ºÅ³ä·ÅÆø·§ÃÅÉÏÉèÖÃÓдøÎ¶Ȳ¹³¥µÄÆøÌåÃܶȼơ£
5¡¢ ÒÀ¾ÝȨÀûÒªÇó1»ò3ÈÎÒ»ËùÊöµÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËù Êö2ºÅÆøÊҵĶ¥¶Ë°²×°ÓÐ1ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú¡£
6¡¢ ÒÀ¾ÝȨÀûÒªÇó4ËùÊöµÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊö3ºÅÆø ÊҵĶ¥¶ËÓÉ×óÖÁÓÒÒÀ´Î°²×°ÓÐ2ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿ÚºÍ3ºÅʯӢ²£Á§¹Û²ì ´°¿Ú¡£
7¡¢ ÒÀ¾ÝȨÀûÒªÇó6ËùÊöµÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊö3ºÅÆø ÊÒµÄÍâ¶Ë²¿Éϰ²×°ÓÐÖ÷ÊÔÑéʯӢ²£Á§¹Û²ì´°¿Ú ¡£
8¡¢ ÒÀ¾ÝȨÀûÒªÇó7ËùÊöµÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊö3ºÅÆøÊÒµÄÍâ¶Ë²¿ÉÏÉèÓпɲðжµÄ·¨À¼½á¹¹¡£
9¡¢ ÒÀ¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÆøÌå¾øÔµÊÔÑé×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊöÊÔÑé×° ÖþßÓÐʹ±¾ÌåÄܹ»Æ½ÎÈ·ÅÖúÍÒÆ¶¯µÄ×°ÖÃÖ§³Å×ùºÍ¸¨ÖúÖ§³Å¼ÜÖ§³ÅËùÊöÊÔ Ñé×°Öñ¾Ìå¡£
רÀûÕªÒª±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°Ò»ÖÖÓÃÓÚÖ±Á÷ÆøÌå¾øÔµ½ðÊô·â±ÕÊäµçÏß·(GIL)µÄÊÔÑéÑо¿×°Ö㬸Ã×°Öþ߱¸SF<sub>6</sub>ÆøÌå¼ä϶¾øÔµÊÔÑé¡¢¾øÔµ×ÓÑØÃæÉÁÂçÌØÐÔÊÔÑé¡¢ÒÔ¼°½ðÊôµ¼µç΢Á£ÊÔÑéµÄÊÔÑéÄÜÁ¦£¬Äܹ»ºÜºÃµØÂú×ãÖ±Á÷GIL¾øÔµÊÔÑéµÄÐèÒª¡£¸Ã×°ÖþßÓдóÖ¡°L¡±Ð͵ÄÍâÐΣ¬°üÀ¨ÊúÖ±·½ÏòÉϵĸßѹÒýÏß¶Ë¡¢¸ßѹ¾ùѹ»·ºÍ¹èÏ𽺸´ºÏ¾øÔµ×Ó¸ßѹÌ׹ܣ»ÒÔ¼°ÔÚˮƽ·½ÏòÉÏ£¬Í¬Öá·Ö²¼µÄλÓÚÖмäµÄ¸ßѹµ¼¸Ëµç¼«ºÍÍâΧµÄÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç£¬ÒÔ¼°Èý¸öÆøÊÒ¹²Í¬×é³ÉºáÏòµÄÊÔÑé×°ÖÃÍâ¿Ç¡£
Îĵµ±àºÅG01R31/08GK201196675SQ20082010806
¹«¿ªÈÕ2009Äê2ÔÂ18ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ2008Äê5ÔÂ27ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ2008Äê5ÔÂ27ÈÕ
·¢Ã÷ÕßÎâ¾ü»Ô, ÕÅÊéçù, ÕÅÓÑÅô, Åô Àî, Àî½ðÖÒ, ºÆ ÌÀ, ÍõÄþ»ª, ·¶½¨±ó ÉêÇëÈË:ÖйúµçÁ¦¿ÆÑ§Ñо¿Ôº