专利名称：光学探测器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种光学探测器(probe )。
背景技术：
传统上已知非接触式光学探测器(例如见于PCT国际申请No. 2009-534969的日本译文公布)。这种非接触式光学探测器使用激光照射待测量的物体(以下称为工件)，检测由工件的表面反射的光，以及获得工件的各个点的位置坐标。已知如图10中示出的线光学探测器100，作为非接触式光学探测器的示例。线光学探测器100使用扩束器103，该扩束器103允许激光变化形状为光LI，光LI在形状上为线的(以下称为线激光)。在线光学探测器100中，使用准直透镜102将由激光光源101发射的激光转换成平行光。然后，扩束器103允许平行光变化形状为线激光LI。因此，工件W被线激光LI照射。投射至工件W的线激光LI在工件W的表面上反射，以入射至图像拾取元件(未示出)上。这样，线光学探测器100可“一次”测量工件W的形状(form)。已知如图11中示出的飞点(flying spot)光学探测器200、作为非接触式光学探测器的另一示例。飞点光学探测器200使用旋转检流计(galvanometer)反射镜203。在飞点光学探测器200中，由激光光源201发射的激光通过反射镜202入射至检流计反射镜203上。然后，从检流计反射镜203反射的光L2 (以下称为点激光(point laser light))的离散点照射工件W。驱动检流计反射镜203关于入射光旋转。点激光L2扫描工件W的表面，使得点激光L2画出依据检流计反射镜203的旋转驱动的线。已扫描了工件W的表面的点激光L2在工件上被反射，以入射至图像拾取元件(未示出)上。这样，飞点光学探测器200可“顺序地(in sequence)”测量工件W的形状。已知如图12中示出的旋转反射镜光学探测器300，作为非接触式光学探测器的再一示例。旋转反射镜光学探测器300使用旋转多面反射镜303。在旋转反射镜光学探测器300中，由激光光源301发射的激光通过反射镜302入射至多面反射镜303上。然后，从多面反射镜303反射的光L3 (以下称为点激光)的离散点照射工件W。驱动多面反射镜303关于入射光旋转。点激光L3扫描工件W的表面，使得点激光L3画出依据多面反射镜303的旋转驱动的线。已扫描了工件W的表面的点激光L3在工件上被反射，以入射至图像拾取元件(未示出)上。这样，旋转反射镜光学探测器300可“顺序地”测量工件W的形状，类似于飞点光学探测器200。通常,作为测量原理,光剖切法(light-section method)用于非接触式光学探测器。例如，如图13和图14中所示，当线光学探测器100以光剖切法测量工件W的形状时，工件W的表面被线激光LI照射，该线激光LI通过光学系统(未示出的准直透镜和扩束器)来自于激光光源101。因此，仅需要通过图像拾取元件104拾取被激光照射的区域的像，以测量工件W的形状。与飞点光学探测器200和旋转反射镜光学探测器300相比，光学系统中不具有移动机构的线光学探测器100更易于维护。特别地，当利用来自传统光学探测器的激光照射具有镜面或边角(corner)的工件时，有时由于多次反射而得到错误的形状(false shape)(虚假像)。在线光学探测器100的情况中，如图15和图16中所示，以线形状不断地投射激光，并且一次获得工件W的形状。从而，当由于多次反射而形成虚假像时，真实像(realimage) R和虚假像(virtual image) V不能彼此区分开,这是不合适的。在这点上，飞点光学探测器200和旋转反射镜光学探测器300照射工件W，使得点激光在工件上画出线，以顺序地获得工件W的形状。因此，飞点光学探测器200和旋转反射镜光学探测器300可相对容易地识别由于多次反射而形成的虚假像。然而，与线光学探测器100相比，飞点光学探测器200和旋转反射镜光学探测器300在结构上更复杂，这是因为探测器200和300在光学系统中各自都需要移动机构，如上所述。因此，探测器200和300的维护很麻烦。此外，在需要利用马达等控制检流计反射镜203的工作角度的飞点光学探测器200的情况中，除非精确地控制检流计反射镜203的工作角度，否则不能准确地测量工件W的形状。此外，因为检流计反射镜203为移动机构，所以在长时间使用之后其性能退化。因此必须维护检流计反射镜203。此外，在旋转反射镜光学探测器300的情况中，有必要尽可能多地改进多面反射镜303的轮廓精度(profile accuracy)(特别是平面度)，以准确测量工件W的形状。这是因为测量精度依赖于多面反射镜303的轮廓精度。因为多面反射镜303为多面体的反射镜，所以除非多面反射镜303的表面具有均匀的表面精度，否则不能准确测量工件W的形状。
发明内容
本发明提供了一种光学探测器，该光学探测器可顺序地测量物体的形状，而不用在光学系统中装配移动机构。根据本发明的一个方面，提供了一种光学探测器，包括发射激光的激光光源、将由激光光源发射的激光转换成平行光的准直透镜、允许平行光改变形状为线激光的光变形部件、采用线激光的被选部分照射待测量物体的辐射部件、基于从物体的被线激光的被选部分照射的表面反射的激光拾取物体的像的图像拾取部件、和通过辐射部件控制线激光的辐射的控制器，其中线激光由多个部分组成，该多个部分包括一个端部分和另一端部分；并且控制器控制辐射部件，使得所述辐射部件采用线激光的部分，从所述一个端部分至另一端部分顺序地照射物体。
由下文中给出的详细描述和仅以示意的方式给出的附图，本发明上述的以及其他的目的、优势和特性将变得更能充分地被理解，且因此不意味着是对本发明的限制的描述。其中图1为根据第一实施例的光学探测器的构造的示意性视图；图2为第一实施例的光学探测器中的光学系统的示意性视图；图3为示出待测量物体被点激光照射而使得点激光在物体上画出线的状态的示意性视图；图4为示出关闭涉及虚假像的形成的微反射镜使得在关闭的微反射镜上反射的光不朝着待测量物体传播的状态的示意性视图；图5示出了通过图4的光学探测器获得的待测量物体的形状的示例；图6为根据第二实施例的光学探测器的构造的示意性视图；图7为第二实施例的光学探测器中的光学系统的示意性视图；图8为示出待测量物体被点激光照射而使得点激光在物体上画出线的状态的示意性视图；图9为示出关闭涉及虚假像的形成的单元(cell)以阻止光在关闭的单元处透射的状态的示意性视图；图10为传统线光学探测器中的光学系统的示意性视图；图11为传统的飞点光学探测器中的光学系统的示意性视图；图12为传统旋转反射镜光学探测器中的光学系统的示意性视图；图13A为示出使用传统线光学探测器的物体形状测量的前视图；图13B为示出使用传统线光学探测器的物体形状测量的侧视图；图14示出了由图13的光学探测器获得的待测量物体的形状的示例；图15为示出在使用传统线光学探测器测量物体的形状时发生的多次反射的状态的侧视图；以及图16示出了待测量物体的形状和由图15的光学探测器获得的虚假像的示例。
具体实施例方式参考附图，将描述本发明的实施例。(第一实施例)根据第一实施例的光学探测器IA为非接触式光学探测器，其扫描工件W的表面并得到工件W的每一点的位置坐标。如图1中所示，光学探测器IA包括光学部件10A、图像拾取部件20A和控制器30A。如图1和图2中所示，光学部件IOA包括激光光源11、准直透镜12、扩束器13、和DMD (数字微镜器件)15。激光光源11例如由LD (激光二极管)构成，并产生和发射激光光源。激光由激光光源11发射至准直透镜12，该准直透镜在水平方向上位于激光光源11的右边。准直透镜12将从激光光源11入射的光转换为平行光，并允许平行光传播至扩束器13，该扩束器在水平方向上位于准直透镜12的右边。扩束器13例如为棒透镜或柱透镜。充当光变形部件的扩束器13允许来自准直透镜12的平行光变化形状为线激光。当平行光在水平方向上从左边穿过扩束器13时，平行光变为线状的光束(即线激光)。然后，线激光传播至DMD 15，该DMD 15在水平方向上位于扩束器13的右边。DMD 15为包括IC (集成电路)的大约矩形的光学器件，其上有以栅格状形式布置的几百几千至几百万个微反射镜。DMD 15反射来自于扩束器13的线激光。每一个微反射镜对应于显示器件的一个像素。下面将描述的控制器30A通过控制微反射镜的倾斜来执行开启/关闭(0N/0FF)控制。在线激光之间，在开启状态的微反射镜上反射的光向下传播以照射位于下方的工件W。另一方面,在关闭状态的微反射镜上反射的光不传播至工件W,而传播至探测器中的吸收体。每一个微反射镜都被独立地驱动，且因此可针对每一个微反射镜，即针对每一个显示像素控制光的反射。因此，DMD 15充当光反射部件，其反射线激光的被选部分。此外，激光光源11、准直透镜12、扩束器13和DMD 15被置于同一光轴上。图像拾取部件20A包括光接收透镜21和图像传感器22。光接收透镜21透射从工件W的表面反射的激光。透射通过光接收透镜21的激光入射至图像传感器22上，该图像传感器22与光接收透镜21位于同一光轴上。图像传感器22为图像拾取元件，该图像拾取元件基于从工件W的表面反射的激光拾取工件W的像，以获得工件W的每一点的坐标值。图像传感器22将获得的坐标值输出至控制器30A。因此，图像传感器22充当图像拾取部件，其基于在DMD 15上反射并进一步在工件W的表面上反射的激光而拾取工件W的像。控制器30A包括CPU (中央处理单元)、RAM (随机存取存储器)、R0M (只读存储器)等，并被连接至光学部件IOA和图像拾取部件20A。CPU读取存储在ROM中的各种处理程序，以将这些程序展开到RAM中，并与展开的程序合作地执行各种类型的处理。因此，CPU执行光学探测器IA的总体控制。RAM展开由CPU执行的处理程序到RAM中的程序存储区域，并在数据存储区域中存储输入数据和处理结果数据，该处理结果数据通过程序的执行来产生。由非易失性半导体存储器构成的ROM存储要由CPU执行的系统程序、要在系统程序中执行的各种处理程序、当各种处理程序被执行时要使用的数据、以及通过CPU的算法处理而获得的各种处理结果的数据。程序以计算机可读程序代码的形式存储在ROM中。对于每一个微反射镜，控制器30A控制DMD 15的各个微反射镜的倾斜，以控制线激光的反射。具体地，当线激光投射至一些微反射镜上时，控制器30A从微反射镜的一端至另一端一个接着一个顺序地开启线激光投射在其上的微反射镜，并关闭除了刚开启的微反射镜之外的微反射镜。因此，构成线激光的部分按从线激光的一个端部分至另一端部分的次序顺序地向下传播，即，向工件W的方向上传播。基于由图像传感器22拾取的工件W的像，控制器30A确定虚假像存在与否。如果确定虚假像存在，则控制器30A控制导致虚假像的形成的线激光部分不朝着工件W传播。在光学探测器IA中，顺序地通过图像传感器22连续地拾取工件W的形状。因此，可以以如下方式确定虚假像的存在或不存在当拾取的图像位置从前一拾取的图像位置改变了预定阈值或更多时，确定虚假像存在。下面，参考图3至图5将描述根据第一实施例的光学探测器IA的操作。首先，从光学探测器IA的激光光源11发射激光。从激光光源11发射的激光通过准直透镜12行进至扩束器13。扩束器13允许来自于准直透镜12的光变化形状为线激光。然后，线激光传播至DMD 15。在DMD 15处，针对每一个微反射镜控制线激光的反射。具体的，当线激光投射到DMD 15中的一些微反射镜上时，控制器30A从微反射镜的一端至另一端一个接着一个顺序地开启线激光投射其上的微反射镜，并关闭除了刚被打开的微反射镜之外的微反射镜。即，处于开启状态的微反射镜的数目总是仅为一个，且仅在开启状态的微反射镜上反射的光朝着工件W传播。因此，工件W总是被点激光照射。从微反射镜的一个端至另一端一个接着一个顺序地开启线激光投射其上的微反射镜。因此，以点激光照射了工件W，使得点激光在其上画出线(见图3)。因此，光学探测器IA可顺序地测量工件W的形状，而不用在光学系统中装配移动机构，例如检流计反射镜或多面反射镜。从而，没有必要维护移动机构以及调整移动机构的精度。此外，即使当由于多次反射而形成虚假像时，仍可容易地识别虚假像。以上述方式照射到工件W上的光在工件W的表面反射，以通过光接收透镜21入射到图像传感器22上。因此，可以拾取工件W的图像。然后，基于由图像传感器22拾取的工件W的像，控制器30A确定虚假像的存在或不存在。因为光学探测器IA照射工件W，使得点激光在工件W的表面上画线，所以即使当由于多次反射而形成虚假像时，仍可容易地识别出虚假像。此外，可在线激光中识别出导致虚假像的形成的光。当确定虚假像存在时，控制器30A防止导致虚假像的形成的线激光部分朝着工件W传播，如图4中所示。即，在线激光投射其上的DMD 15的微反射镜之中，涉及虚假像的形成的微反射镜被关闭，使得防止在关闭状态的微反射镜上反射的光朝着工件W传播。从而，可防止虚假像的形成(见图5)。如上所述，第一实施例的光学探测器IA包括发射激光的激光光源11 ;将从激光光源11发射的激光转换成平行光的准直透镜12 ;允许平行光变化形状为线激光的扩束器13 ;采用线激光的被选部分照射工件W的辐射部件；图像传感器22，当工件W被线激光的被选部分照射时，图像传感器22基于从物体表面反射的激光，拾取工件W的像；以及控制器30A，通过辐射部件控制线激光的辐射。线激光由多个部分(对应于各个微反射镜)构成，该多个部分包括一个端部分和另一端部分(对应于微反射镜的一端和另一端)；且控制器30A控制辐射部件，使得辐射部件采用线激光的部分，从一个端部分至另一端部分顺序地(对应于一个接着一个顺序地开启微反射镜)照射工件W。因此，光学探测器IA可顺序地测量工件W的形状，而不用在光学系统中装配移动机构，例如检流计反射镜或多面反射镜。从而，没有必要维护移动机构以及调整移动机构的精度。此外，即使当由于多次反射而形成虚假像时，仍可轻易地识别虚假像。特别地，根据第一实施例的光学探测器1A，辐射部件为DMD 15，该DMD 15包括以栅格状形式布置的多个微反射镜并反射线激光的被选部分。此外，当线激光投射到一些微反射镜上时，控制器30A从微反射镜的一端至另一端顺序地开启线激光投射其上的微反射镜，并关闭除了刚被打开的微反射镜之外的微反射镜。因为DMD 15对开启/关闭转换具有良好的响应，并具有高的光使用效率，所以光学探测器IA可通过使用DMD 15的这种优点而执行辐射控制，这增强了光学探测器IA的便利性(convenience)。此外，根据第一实施例的光学探测器1A，基于由图像传感器22拾取的工件W的像，控制器30A确定虚假像的存在与否。如果确定虚假像存在，则控制器30A防止导致虚假像的形成的线激光部分朝着工件W传播(不照射工件W)。从而，虚假像的形成被防止，这导致高效的测量。(第二实施例)根据第二实施例的光学探测器I为扫描工件W的表面并获得工件W的每一点的位置坐标的非接触式光学探测器。如图6中所示，光学探测器I包括光学部件10、图像拾取部件20和控制器30。光学探测器I的与第一实施例的光学探测器IA的结构相同的结构以相同的参考标记表示。
光学部件10包括激光光源11、准直透镜12、扩束器13和液晶快门(shutter)阵列14。激光光源11例如由LD (激光二极管)构成，并产生及发射激光。激光由激光光源11发射至准直透镜12，准直透镜12被布置在激光光源11的下方。准直透镜12将从激光光源11发射的光转换成平行光，并允许平行光传播至扩束器13，该扩束器13被布置在准直透镜12的下方。扩束器13例如为棒透镜或柱透镜。充当光变形部件的扩束器13允许来自于准直透镜12的平行光变化形状为线激光。当平行光从上面穿过扩束器13时，平行光变为线状的光束(即线激光)。然后，线激光传播至液晶快门阵列14，该液晶快门阵列14被布置在扩束器13的下方。液晶快门阵列14为液晶快门的阵列，液晶快门是以通过对液晶分子施加或停止施加电场来改变液晶分子的布置的方式透射或阻挡光的元件。当线激光从上面进入液晶快门阵列14时，将在下面描述的控制器30控制液晶快门阵列的单元(cell)开启或关闭，并因此针对每一单元控制通过单元的线激光的透射(见图7)。因此，液晶快门阵列14充当透射线激光的被选部分的光透射部件。透射穿过液晶快门阵列14的激光照射位于下方的工件W。此外，激光光源11、准直透镜12、扩束器13和液晶快门阵列14被置于同一光轴上。图像拾取部件20包括光接收透镜21和图像传感器22。光接收透镜21透射从工件W的表面反射的激光。透射穿过光接收透镜21的激光入射至图像传感器22上，图像传感器22与光接收透镜21位于同一光轴上。图像传感器22为基于从工件W的表面反射的激光拾取工件W的像、以获得工件W的每一点的坐标值的图像拾取元件。图像传感器22输出获得的坐标值至控制器30。因此，图像传感器22充当基于透射穿过液晶快门阵列14并进一步在工件W的表面上反射的激光而拾取工件W的像的图像拾取部件。控制器30包括CPU (中央处理单元)、RAM (随机存取存储器)、ROM (只读存储器)等，并被连接至光学部件10和图像拾取部件20。CPU读取存储在ROM中的各种处理程序以将该程序展开至RAM中，并与展开的程序合作地执行各种类型的处理。因此，CPU执行光学探测器I的总体控制。RAM展开由CPU执行的处理程序至RAM中的程序存储区域，并在数据存储区域中存储输入数据和处理结果数据，该处理结果数据通过程序的执行来产生。由非易失性半导体存储器构成的ROM存储要由CPU执行的系统程序、要在系统程序中执行的各种处理程序、当各种处理程序被执行时使用的数据、以及通过CPU的算法处理而获得的各种处理结果的数据。程序以计算机可读程序代码的形式存储在ROM中。控制器30控制液晶快门的单元开启或关闭，并因此针对每一单元控制通过所述单元的线激光的透射。具体地，控制器30从液晶快门的一端至另一端一个接着一个顺序地打开液晶快门，并关闭除刚被打开的液晶快门之外的液晶快门。因此，按从线激光的一个端部分至另一端部分的次序顺序地透射构成线激光的部分。基于由图像传感器22拾取的工件W的像，控制器30确定虚假像的存在与否。如果确定虚假像存在，那么控制器30遮挡导致虚假像的形成的光的透射。在光学探测器I中，工件W的形状由图像传感器22顺序地连续拾取。从而，可以如下方式确定虚假像的存在或不存在当拾取的图像位置从前一拾取的图像位置已经改变了预定的阈值或更多时，确定虚假像存在。下面，将参考图8至图9描述根据第二实施例的光学探测器I的操作。首先，从光学探测器I的激光光源11发射激光。从激光光源11发射的激光通过准直透镜12行进至扩束器13。扩束器13允许来自准直透镜12的光变化形状为线激光。然后，线激光传播至液晶快门阵列14，并且针对每一个单元控制穿过液晶快门阵列14的单元的线激光的透射。特别是，从液晶快门的一端至另一端一个接着一个顺序地打开液晶快门阵列14中包括的以行布置的液晶快门，并关闭除了刚被打开的液晶快门之外的液晶快门。即，打开的单元的数目总是仅为一个，且线激光仅透射穿过开启的单元。因此，工件W总是被点激光照射。从单元的一端至另一端一个接着一个顺序地开启液晶快门。因此，以点激光照射工件W，使得点激光在其上画出线(见图8)。因此，光学探测器I可顺序地测量工件W的形状，而不用在光学系统中装配移动机构，例如检流计反射镜或多面反射镜。从而，没有必要维护移动机构以及调整移动机构的精度。此外，即使当由于多次反射而形成虚假像时，仍可容易地识别虚假像。以上述方式照射到工件W上的光在工件W的表面反射，以通过光接收透镜21入射到图像传感器22上。因此，可以拾取工件W的图像。然后，基于由图像传感器22拾取的工件W的像，控制器30A确定虚假像的存在或不存在。因为光学探测器I照射工件W，使得点激光在工件W的表面上画线，所以即使当由于多次反射而形成虚假像时，仍可容易地识别出虚假像。此外，可在线激光中识别出导致虚假像的形成的光。当确定虚假像存在时，控制器30阻止导致虚假像的形成的线激光的部分的透射，如图9中所示。即，涉及虚假像的形成的液晶快门的单元被关闭，使得阻止那里的光透射。从而，可防止虚假像的形成(见图5)。如上所述，根据第二实施例的光学探测器I，线激光由多个部分(对应于各个单元)构成，包括一个端部分和另一端部分(对应于所述单元的一端和另一端)；且控制器30控制辐射部件，使得辐射部件利用线激光的部分从一个端部分至另一端部分顺序地(对应于一个接着一个顺序地打开单元)照射工件W，采用的方式类似于第一实施例的光学探测器1A。因此，光学探测器I可顺序地测量工件W的形状，而不用在光学系统中装配移动机构，例如检流计反射镜或多面反射镜。从而，没有必要维护移动机构以及调整移动机构的精度。此夕卜，即使当由于多次反射而形成虚假像时，仍可容易地识别虚假像。特别地，根据第二实施例的光学探测器1，辐射部件为液晶快门阵列14，其包括以行布置并透射线激光被选部分的液晶快门。此外，控制器30从液晶快门的一端至另一端一个接着一个顺序地打开液晶快门，并关闭除了刚被打开的液晶快门之外的液晶快门。因为液晶快门阵列14可以高精度控制辐射，所以光学探测器I可通过使用液晶快门阵列14的这种优点来执行辐射控制，其提供了更可靠的测量结果。此外，根据第二实施例的光学探测器1，基于由图像传感器22拾取的工件W的像，控制器30确定虚假像的存在与否，采用的方式类似于第一实施例的光学探测器1A。如果确定虚假像存在，则控制器30阻止导致虚假像的形成的线激光部分的透射(辐射)。从而，防止了虚假像的形成，导致有效的测量。在上文中，详细地描述了本发明的实施例。然而，本发明不限于这些实施例，并因此可适当地变化而不脱离本发明的范围。例如，在第一实施例中，从微反射镜的一端至另一端一个接着一个顺序地开启线激光投射其上的微反射镜。然而，本发明不限于此。例如，可从一端至另一端以一次开启多个微反射镜(例如两个接着两个)的方式顺序地开启微反射镜。另外，在第一实施例中，将DMD 15作为光反射部件的示例。然而，本发明不限于此，而是可使用任何类型的光反射部件，只要该光反射部件具有反射线激光的被选部分的功能。另外，在第二实施例中，从液晶快门阵列14的一端至另一端一个接着一个顺序地开启包括在液晶快门阵列14中的单元。然而，本发明不限于此。例如，可从一端至另一端以一次开启多个单元(例如两个接着两个)的方式顺序地开启单元。此外，在第二实施例中，将液晶快门阵列14作为光透射部件的示例。然而，本发明不限于此，而是可使用任何类型的光透射部件，只要该光透射部件为具有遮挡光的快门功能的微粒(microparticle)的阵列(即快门阵列)。例如，可使用MEMS快门阵列，或PLZT快门阵列来代替液晶快门阵列14。此外，在第一和第二实施例中，以如下方式确定虚假像的存在与否当拾取的图像位置从前一拾取的图像位置改变了预定的阈值或更多时，确定虚假像存在。然而，确定方法不限于此，而是可使用任何方法，只要该方法可确定虚假像的存在或不存在。此外，光学探测器IA和I的元件的详细构造和操作也可适当地变化，而不脱离本发明的范围。
权利要求
1.一种光学探测器，包含激光光源，发射激光；准直透镜，将从所述激光光源发射的激光转换成平行光；光变形部件，允许所述平行光变化形状为线激光；辐射部件，采用所述线激光的被选部分照射待测量的物体；图像拾取部件，基于从所述物体表面反射的激光，拾取所述物体的像，该物体被所述线激光的被选部分照射；以及控制器，通过所述辐射部件控制所述线激光的辐射，其中，所述线激光由多个部分构成，该多个部分包括一个端部分和另一端部分；以及所述控制器控制所述辐射部件，使得所述辐射部件采用所述线激光的部分，从所述一个端部分至另一端部分顺序地照射所述物体。
2.根据权利要求1所述的光学探测器，其中所述辐射部件为光反射部件，该光反射部件反射所述线激光的被选部分。
3.根据权利要求2所述的光学探测器，其中所述光反射部件为数字微镜器件，该数字微镜器件包括以栅格状形式布置的多个微反射镜；以及当所述线激光投射至所述微反射镜的一些上时，所述控制器从这些微反射镜的一端向另一端顺序地开启所述微反射镜中的所述一些，并关闭所述微反射镜中的所述一些中除了刚被开启的微反射镜之外的微反射镜。
4.根据权利要求1所述的光学探测器，其中所述辐射部件为光透射部件，该光透射部件透射所述线激光的被选部分。
5.根据权利要求4所述的光学探测器，其中所述光透射部件为快门阵列，包括以行布置的快门；以及所述控制器从这些快门的一端至另一端顺序地打开所述快门，而关闭除了刚被打开的快门之外的快门。
6.根据权利要求5所述的光学探测器，其中所述快门阵列为液晶快门阵列、MEMS快门阵列和PLZT快门阵列中的一个。
7.根据权利要求1所述的光学探测器，其中基于所述物体的像，所述控制器确定虚假像的存在或不存在，所述像通过所述图像拾取部件来拾取；以及当所述控制器确定所述虚假像存在时，所述控制器防止所述线激光的一部分朝着所述物体传播，所述线激光的所述部分导致所述虚假像的形成。
8.根据权利要求2所述的光学探测器，其中基于所述物体的像，所述控制器确定虚假像的存在或不存在，所述像通过所述图像拾取部件来拾�。灰约暗彼隹刂破魅范ㄋ鲂榧傧翊嬖谑保隹刂破鞣乐顾鱿呒す獾囊徊糠殖潘鑫锾宕ィ鱿呒す獾乃霾糠值贾滤鲂榧傧竦男纬�。
9.根据权利要求3所述的光学探测器，其中基于所述物体的像，所述控制器确定虚假像的存在或不存在，所述像通过所述图像拾取部件来拾�。灰约暗彼隹刂破魅范ㄋ鲂榧傧翊嬖谑保隹刂破鞣乐顾鱿呒す獾囊徊糠殖潘鑫锾宕ィ鱿呒す獾乃霾糠值贾滤鲂榧傧竦男纬�。
10.根据权利要求4所述的光学探测器，其中基于所述物体的像，所述控制器确定虚假像的存在或不存在，所述像通过所述图像拾取部件来拾�。灰约暗彼隹刂破魅范ㄋ鲂榧傧翊嬖谑保隹刂破鞣乐顾鱿呒す獾囊徊糠殖潘鑫锾宕ィ鱿呒す獾乃霾糠值贾滤鲂榧傧竦男纬�。
11.根据权利要求5所述的光学探测器，其中基于所述物体的像，所述控制器确定虚假像的存在或不存在，所述像通过所述图像拾取部件来拾�。灰约暗彼隹刂破魅范ㄋ鲂榧傧翊嬖谑保隹刂破鞣乐顾鱿呒す獾囊徊糠殖潘鑫锾宕ィ鱿呒す獾乃霾糠值贾滤鲂榧傧竦男纬伞�
12.根据权利要求6所述的光学探测器，其中基于所述物体的像，所述控制器确定虚假像的存在或不存在，所述像通过所述图像拾取部件来拾取;以及当所述控制器确定所述虚假像存在时，所述控制器防止所述线激光的一部分朝着所述物体传播，所述线激光的所述部分导致所述虚假像的形成。
全文摘要
一种光学探测器，包含激光光源，发射激光；准直透镜，将从所述激光光源发射的激光转换成平行光；光变形部件，允许所述平行光变化形状为线激光；辐射部件，采用所述线激光的被选部分照射待测量的物体；图像拾取部件，基于从所述物体表面反射的激光，拾取所述物体的像，该物体被所述线激光的被选部分照射；以及控制器，通过所述辐射部件控制所述线激光的辐射。所述线激光由多个部分构成，该多个部分包括一个端部分和另一端部分；并且所述控制器控制所述辐射部件，使得所述辐射部件采用所述线激光的部分，从所述一个端部分至另一端部分顺序地照射所述物体。
文档编号G01B11/24GK103033143SQ20121036699
公开日2013年4月10日 申请日期2012年9月28日 优先权日2011年9月30日
发明者山县正意, 根本贤太郎 申请人:株式会社三丰
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