专利名称：一种化学气体传感器芯片的制作方法
技术领域：
本发明涉及化学气体传感器技术领域，具体涉及一种化学气体传感器芯片。
背景技术：
化学气体传感器芯片部件多、体积大。
发明内容
为了克服上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种化学气体传感器芯片，结构简单，体积小、成本低。为了达到上述目的，本发明采取的技术方案为:一种化学气体传感器芯片，包括玻璃基底I，在玻璃基底I上采用微电子工艺加工有加热电极2和敏感电极3，在加热电极2和敏感电极3上烧结有敏感材料4。由于采用了微电子工艺，实现批量生产，整个元件的结构简单，体积�。杀镜汀�
附图为本发明的结构示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明做详细描述。参照附图，一种化学气体传感器芯片，包括玻璃基底I，在玻璃基底I上采用微电子工艺加工有加热电极2和敏感电极3，在加热电极2和敏感电极3上烧结有敏感材料4。本发明采用了微电子工艺，能够实现批量生产，整个元件的结构简单，体积�。杀镜�。
权利要求
1.一种化学气体传感器芯片，包括玻璃基底(I)，其特征在于:在玻璃基底(I)上采用微电子工艺加工有加热电极(2)和敏感电极(3)，在加热电极(2)和敏感电极(3)上烧结有敏感材料⑷。
全文摘要
一种化学气体传感器芯片，包括玻璃基底，在玻璃基底上采用微电子工艺加工有加热电极和敏感电极，在加热电极和敏感电极上烧结有敏感材料，本发明采用了微电子工艺，能够实现批量生产，整个元件的结构简单，体积�。杀镜�。
文档编号G01N27/26GK103163189SQ201110426319
公开日2013年6月19日 申请日期2011年12月15日 优先权日2011年12月15日
发明者黄亚兵 申请人:西安民生电热技术工程有限责任公司
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