专利名称：一种双杯电容压力传感器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种微机械双杯平面复合差动电容压力传感器。
目前国内外已有的微机械差动压力传感器基本类型是1、三明治式岛膜结构，其工作原理是当压力从上部加入，使岛下移，改变上下电容C1、C2间距，改变电容量C1-ΔC、C2+ΔC，形成差动电容输出；2、中央上举开放式差动电容压力传感器结构，其工作原理是压力从下部加入，将岛上举，在岛上固定的中央电极被推上举从而改变上下电容C1、C2间距，从而改C1+ΔC、C2-ΔC电容量，构成差动结构，形成差动电容输出；现有的微机械差动压力传感器的差动方法采用的是纵向差动，它们的缺点是，零压时上下电容间距很难保证一致，且电容C1和C2也很难做到相等。
本实用新型的目的就是提供一种开放式结构、电容C1和C2相等的一种双杯电容压力传感器。
本实用新型的技术构思是一种双杯电容压力传感器包括带引压管1的基座17、带通道孔2、左杯3、膜4、岛5、膜12、岛13和右杯14的基体18、电容C115的下电极6、电容C115的上电极7、电容C216的上电极10、电容C216的下电极11、电容C115的上电极固定板8和电容C216的上电极固定板9；电容C115的上电极7与电容C115的上电极固定板8连结，电容C115的下电极6与岛5连结，电容C115的上电极固定板8与基体18连结；电容C216的上电极10与电容C216的上电极固定板9连结，电容C216的下电极11与基体18连结，电容C216的上电极固定板9与岛13连结；基体18与基座17连结。压力从引压管1加入，经通道孔2分流进入左杯3和右杯14，使膜4和膜12同时上移，推动岛5和岛13同时上移，改变C115、C216电极板的间距，使C1+ΔC、C2-ΔC，形成电容量的差动变化。
本发明的效果是，开放式结构，引线方便，利于产品化；平面差动，电容C1、C2的极板间距用微机械加工，同时完成，容易做到间距的一致性。其电容面积靠设计电容尺寸来保证。有利于产品化，可大大提高生产效率。
以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步的说明，
图1是一种双杯电容压力传感器的示意图，弹性体以n型晶向单晶硅为基体18，其厚度为300μm，长为10μm，宽为8μm，用微机械加工成左杯3和右杯14，杯深200μm；再在上面腐蚀出通道孔2、膜4、膜12、岛5、岛13，膜厚40μm，电容15和电容16的电极板间距为10μm，基座17玻璃制成，其引压孔2直径为3mm，电容C115上电极固定板基体材料由玻璃制成，其尺寸长为8mm，宽为4mm，厚为300μm，电容C216上电极固定板基体材料由玻璃制成，其尺寸长为8mm，宽为4mm，厚为200μm，电容15和电容16在没受压力时为10pf，受压力变化为电容15和电容16的10％-30％FS。
本实用新型可测流体压力，也可测液位高度。经局部改造还可测固体压力。
权利要求1.一种双杯电容压力传感器包括带引压管(1)的基座(17)、带膜(12)、岛(13)和右杯(14)的基体(18)、电容(16)的上电极(10)、电容(16)的下电极(11)、电容(16)的上电极固定板(9)，电容(16)的上电极(10)与电容(16)的上电极固定板(9)连结，电容(16)的下电极(11)与基体(18)连结，电容(16)的上电极固定板(9)与岛(13)连结；基体(18)与基座(17)连结，其特征在于，本实用新型还包括通道孔(2)、左杯(3)、膜(4)、岛(5)、电容(15)的下电极(6)、电容(15)的上电极(7)、电容(15)的上电极固定板(8)，电容(15)的上电极(7)与电容(15)的上电极固定板(8)连结，电容(15)的下电极(6)与岛(5)连结，电容(15)的上电极固定板(8)与基体(18)连结。
专利摘要一种双杯电容压力传感器属于传感器技术领域,采用双杯双岛上举复合结构,主要解决传感器零压时上下电容间距很难保证一致、引线困难、被测介质与电容极板接触的问题。
文档编号G01L9/12GK2450651SQ00253179
公开日2001年9月26日 申请日期2000年11月23日 优先权日2000年11月23日
发明者牛德芳, 仲崇权, 殷福亮, 杨素英 申请人:大连理工大学
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