专利名称：一种供液�？榧捌涠杂Φ牧髁考菩Ｗ挤椒�
技术领域：
本发明涉及太阳电池制造领域，特别涉及一种供液�？榧捌涠杂Φ牧髁考菩Ｗ挤椒�。
背景技术：
在太阳电池制造领域，经常会进行湿制程即用酸溶液或碱溶液对硅片进行腐蚀和清洗，湿制程中一些测量仪器(例如流量计等)在酸碱环境下使用一段时间后就会逐步读数不准、老化或损坏，从而导致制程过程中出现设备故障进而影响工艺性能。参见图1，其显示了现有技术中对槽体3供液的供液模块,所述供液�？榘ㄇピ�1、流量计2、第一管道40和第二管道42，所述第一管道40连接在驱动单元I和流量计2之间，所述第二管道42连接在流量计2与槽体3之间，所述流量计2在使用一段时间后会产生老化或管路堵塞等现象，该些问题都会导致供应到槽体3中的供液量不准确，供液配比失衡会导致产品在制造过程中出现异常。所述流量计2上设置有用来调整流量计示值的校准�？椋ü髡Ｗ寄？榭墒沽髁考�2的示值与其实际测得的流量更加接近。在校准流量计及供液模块准确性时，需将设备停机、多人进行操作、穿好防护用品(防酸碱服、防毒面具、防酸碱手套、防酸碱皮靴、面罩等)，然后使用量杯对流入槽体的药液体积进行测量并通过调整校准�？槔唇行Ｗ迹馗床饬�2次以上。上述较准方法存在着以下主要缺点首先，过程繁琐，校准人员需要穿戴好防护用品且需要2人以上配合进行，在校准过程中还需要拆卸管道，需要多次定量，造成时间上浪费；另外校准人员的人身安全还存在危险；再者，校准时需停止供液�？樵俗鳎⑽笊奔浣档蜕省Ｒ虼耍绾翁峁┮恢止┮耗？榧捌涠杂Φ牧髁考菩Ｗ挤椒ㄒ越饩鱿钟辛髁考菩Ｗ挤椒ㄋ嬖诘墓谭彼�、耗时较长和校准人员存在人身安全等问题，已成为业界亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明的目的是要提供一种供液�？榧捌涠杂Φ牧髁考菩Ｗ挤椒ǎü龉┮耗？榧捌涠杂Φ牧髁考菩Ｗ挤椒ǹ杉蚧髁考平献疾⒓跎倭肆髁考菩Ｗ加檬保矣行岣呓献嫉陌踩�。为实现上述目的，本发明提供一种供液模块，用于对一槽体供液，包括驱动单元、流量计、连接在两者间的第一管道和连接在流量计另一侧的第二管道，所述供液�？榛拱ㄍ腹庑突撼辶客埠偷谌艿溃龅诙艿篮偷谌艿婪直鹆釉谕腹庑突撼辶客驳亩ザ撕偷锥耍龅谌艿懒又敛厶澹龅谌艿郎狭佑行Ｗ伎兀隽髁考粕暇哂杏糜谛Ｗ剂髁考频男Ｗ寄？椋銮ピ禾寰谝还艿�、流量计、第二管道、透光型缓冲量筒和第三管道至槽体。在一较佳实施例中，所述透光型缓冲量筒的材质为聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚全氟乙丙烯或聚对苯二甲酸丁二醇酯。
在一较佳实施例中，所述驱动单元为离心泵。在一较佳实施例中，所述供液模块所供应的液体为酸性溶液或碱性溶液。在一较佳实施例中，所述透光型缓冲量筒的容量为I 5L。本发明还提供一种用于上述任一项所述的供液�？樯系牧髁考菩Ｗ挤椒ǎㄒ韵虏街鑑、关闭校准开关；b、开启驱动单元驱动液体一预设时段；c、观测该预设时段内流入透光型缓冲量筒的液量；d、观测该预设时段内流量计的读数并计算出该预设时段内通过流量计的液量；e、判断所计算出的液量与流入透光型缓冲量筒的液量之差是否在一预设范围内，如是则结束，若否则继续步骤f、调整校准�？椴⒎祷刂敛街鑒。在一较佳实施例中，所述预设时段为5 30s。在一较佳实施例中，所述预设范围为O 5ml。与现有技术中需将设备停机并多人进行操作且需穿好防护用品相比，本发明的供液�？樯匣股柚糜型腹庑突撼辶客埠托Ｗ伎兀痉⒚鞯牧髁考菩Ｗ挤ǚ椒ㄏ裙乇招Ｗ伎夭⒖羟ピ禾逡辉ど枋倍危蠊鄄飧迷ど枋倍文诹魅胪腹庑突撼辶客驳囊毫浚⑼惫鄄飧迷ど枋倍文诹髁考频亩潦⒓扑愠龈迷ど枋倍文谕ü髁考频囊毫浚缓笈卸纤扑愠龅囊毫坑肓魅胪腹庑突撼辶客驳囊毫恐钍欠裨谝辉ど璺段冢缡窃蛐Ｗ冀崾舴裨虻髡Ｗ寄？椴⒓绦星笆霾街柚敝两献冀崾�。本发明可简化流量计的较准步骤，并降低较准的危险度和人力耗费。
图1为现有技术中供液�？榈淖槌山峁故疽馔迹煌�2本发明的供液�？榈淖槌山峁故疽馔迹煌�3为本发明的流量计校准方法的流程图。
具体实施方案下面结合具体实施例及附图来详细说明本发明的目的及功效。参见图2，本发明的供液�？橛糜诙圆厶�3供液，所述液体可为酸性溶液或碱性溶液，所述供液�？榘ㄇピ�1、流量计2、第一管道40、第二管道42、第三管道44、透光型缓冲量筒5和校准开关6，所述第一管道40连接在驱动单元I和流量计2之间，所述第二管道42连接在流量计2与透光型缓冲量筒5之间，第三管道44连接在所述透光型缓冲量筒5与槽体3之间，所述第二管道42和第三管道44分别连接在透光型缓冲量筒5的顶端和底端，所述校准开关6设置在所述第三管道44上，所述流量计2上具有用于校准流量计的校准�？�(未图示)。所述透光型缓冲量筒5上具有刻度50，其刻度对应显示其容量范围为I 5L。在本实施例中，所述刻度50的最大值为2L。所述驱动单元I为离心泵或隔膜泵等。所述透光型缓冲量筒5的材质为聚四氟乙烯、聚偏氟乙烯、聚全氟乙丙烯或聚对苯二甲酸丁二醇酯等。所述驱动单元I驱动液体经第一管道40、流量计2、第二管道42、透光型缓冲量筒5和第三管道44至槽体3。参见图3，结合参见图2，本发明的流量计校准方法应用于如图2所示的供液�？樯锨叶云淞髁考�2进行校准，所述流量计校准方法首先进行步骤S30，关闭校准开关6。
接着继续步骤S31，开启驱动单元I驱动液体一预设时段。所述预设时段为5 30s。接着继续步骤S32，观测该预设时段内流入透光型缓冲量筒5的液量。接着继续步骤S33，观测该预设时段内流量计2的读数并计算出该预设时段内通过流量计2的液量。接着继续步骤S34，判断所计算出的液量与流入透光型缓冲量筒5的液量之差是否在一预设范围内，如是则结束，若否则继续步骤S35。所述预设范围为O 5ml。在步骤S35中，调整校准模块并返回至步骤S31。继续参见图2和图3，为进一步说明本发明的目的及功效，以预设时段为20s、以透光型缓冲量筒的容量为2L为例进行说明，本发明的流量计校准方法先关闭校准开关6，此时所述透光型缓冲量筒5中最好基本没有溶液，接着开启驱动单元I驱动液体一预设时段(即20s)，此后观测到该预设时段内流入透光型缓冲量筒5的液量为210ml ;同时观测该预设时段内流量计2的读数为600ml/min，此时可以计算出该预设时段内通过流量计2的液量为200ml，之后可判断出所计算出的液量即200ml与流入透光型缓冲量筒5的液量210ml之差(即IOml)不在预设范围(即O 5ml)以内，从而调整校准�？椴⒓绦羟ピ狪驱动液体一预设时段(即20s)，直至通过流量计2的液量与流入透光型缓冲量筒5的液量之差在预设范围(即O 5ml)以内，流量计2的校准才算完成。综上所述，本发明的供液�？樯仙柚糜型腹庑突撼辶客玻痉⒚鞯牧髁考菩Ｗ挤ǚ椒ㄏ裙乇招Ｗ伎夭⒖羟ピ禾逡辉ど枋倍危蠊鄄飧迷ど枋倍文诹魅胪腹庑突撼辶客驳囊毫浚⑼惫鄄飧迷ど枋倍文诹髁考频亩潦⒓扑愠龈迷ど枋倍文谕ü髁考频囊毫浚缓笈卸纤扑愠龅囊毫坑肓魅胪腹庑突撼辶客驳囊毫恐钍欠裨谝辉ど璺段冢缡窃蛐Ｗ冀崾舴裨虻髡Ｗ寄？椴⒓绦星笆霾街柚敝两献冀崾�。本发明可简化流量计的较准步骤并提高校准效率，另外可降低较准的危险度和人力耗费。
权利要求
1.一种供液�？椋糜诙砸徊厶骞┮海ㄇピ�、流量计、连接在两者间的第一管道和连接在流量计另一侧的第二管道，其特征在于，所述供液�？榛拱ㄍ腹庑突撼辶客埠偷谌艿溃龅诙艿篮偷谌艿婪直鹆釉谕腹庑突撼辶客驳亩ザ撕偷锥耍龅谌艿懒又敛厶澹龅谌艿郎狭佑行Ｗ伎兀隽髁考粕暇哂杏糜谛Ｗ剂髁考频男Ｗ寄？椋銮ピ禾寰谝还艿�、流量计、第二管道、透光型缓冲量筒和第三管道至槽体。
2.根据权利要求1所述的供液�？椋涮卣髟谟冢鐾腹庑突撼辶客驳牟闹饰鬯姆蚁�、聚偏氟乙烯、聚全氟乙丙烯或聚对苯二甲酸丁二醇酯。
3.根据权利要求1所述的供液�？椋涮卣髟谟冢銮ピ胄谋谩�
4.根据权利要求1所述的供液�？椋涮卣髟谟冢龉┮耗？樗┯Φ囊禾逦嵝匀芤夯蚣钚匀芤�。
5.根据权利要求1所述的供液模块，其特征在于，所述透光型缓冲量筒的容量为I 5L。
6.一种用于权利要求1至5中任一项所述的供液模块上的流量计校准方法，其特征在于，包括以下步骤a、关闭校准开关；b、开启驱动单元驱动液体一预设时段；c、观测该预设时段内流入透光型缓冲量筒的液量；d、观测该预设时段内流量计的读数并计算出该预设时段内通过流量计的液量；e、判断所计算出的液量与流入透光型缓冲量筒的液量之差是否在一预设范围内，如是则结束，若否则继续步骤f、调整校准�？椴⒎祷刂敛街鑒。
7.根据权利要求1所述的流量计校准方法，其特征在于，所述预设时段为5 30s。
8.根据权利要求1所述的流量计校准方法，其特征在于，所述预设范围为O 5ml。
全文摘要
本发明提供一种供液�？榧捌涠杂Φ牧髁考菩Ｗ挤椒�。现有技术需将设备停机并多人进行操作且需穿好防护用品，从而造成流量计校准效率较低且成本较高。本发明的供液�？樯柚糜星ピ⒘髁考�、透光型缓冲量筒、第一、第二和第三管道，本发明的流量计校准法方法先关闭校准开关并开启驱动单元驱动液体一预设时段，之后观测该预设时段内流入透光型缓冲量筒的液量，并观测该预设时段内流量计的读数并计算出该预设时段内通过流量计的液量，然后判断所计算出的液量与流入透光型缓冲量筒的液量之差是否在一预设范围内，如是则校准结束，若否则调整校准�？椴⒓绦星笆霾街柚敝两献冀崾１痉⒚骺杉蚧髁考频慕献疾街瑁⒔档徒献嫉奈Ｏ斩群腿肆姆�。
文档编号G01F25/00GK103017870SQ20121047547
公开日2013年4月3日 申请日期2012年11月19日 优先权日2012年11月19日
发明者魏越, 何双权, 何悦, 荣道兰 申请人:尚德太阳能电力有限公司, 无锡尚德太阳能电力有限公司
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