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专利名称：提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法
技术领域：
本发明涉及微观检测技术领域，尤其涉及一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法。
背景技术：
透射电子显微镜(Transmission Electron Microscope, TEM)作为电子显微学的重要工具，可以同时分析微区的组织形态、晶体结构、组成元素、化学键结状态以及电子分布结构等，是固体材料分析强有力的工具之一。随着半导体行业的不断发展，技术的不断改良，芯片尺寸的不断缩减，材料生长日趋多元化、立体化、微型化，各种类型的异质材料中存在的界面、应变态、应变弛豫及随后的晶格失配位错的形成等，为TEM的使用提供了广阔的发展空间。 TEM的原理是电子束穿透样品，并激发出透射电子，经过聚焦与放大，采用探測器收集信号并成像。由于电子易散射和被物体吸收，所以必须制备超薄切片，TEM样品通常要减薄到O. 2um以下，TEM样品制备是ー个难点。许多情况下需要使用聚焦离子束(focusionbeam,FIB)进行切割得到薄片，此薄片即为TEM样品薄片。采用聚焦离子束制备透镜样品的步骤为首先在需要制样的部位淀积ー层金属作为保护，然后在两边进行刻蚀，最終形成ー个薄片，再通过超薄切片机(U-⑶T)将样品与芯片分离，这样便完成了样品的切片。完成样品切片后，需将样品提取出来。目前采用的样品提取方法为采用提取系统(Pi ckup系统),通过显微控制系统,将尖端为0. 2 0. 5μηι的玻璃针靠近已制备好的样品，利用样品与针尖之间的静电力，使得样品吸附到玻璃针上，然后将样品放至直径为3cm的碳膜铜网上。然而，在吸附的过程中，由于玻璃针静电吸附カ的不可控性，可能会导致样品被吸附到非针尖位置，从而导致样品无法转移吸附到碳膜铜网之上，最终导致样品提取失败。因此，有必要对现有的样品提取方法进行改进，以提高FIB透射电镜样品提取的成功率。

发明内容
本发明的目的在于提供一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，以提高聚焦离子束制备的透射电镜样品提取的成功率。为解决上述问题，本发明提出一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，包括如下步骤将第一玻璃针靠近已制备好的样品，利用样品与第一玻璃针的针尖之间的静电力，使得样品吸附到第一玻璃针上；当样品吸附到第一玻璃针的针尖位置时，通过玻璃针将样品放置至样品载体上；当样品被吸附到第一玻璃针的非针尖位置时，将第一玻璃针取下放至特定的金属底座上，使用第二玻璃针的针尖来吸取位于第一玻璃针上的样品，使得样品吸附到第二玻璃针的针尖位置，并将其放置至所述样品载体上。可选的，所述第一玻璃针的尖端的直径为O. 2^0. 5 μ m。可选的，所述第二玻璃针的尖端的直径为O. 2^0. 5 μ m。可选的，所述 第一玻璃针靠近已制备好的样品是在显微控制系统的控制下进行的。可选的，所述样品载体为碳膜铜网。可选的，所述碳膜铜网的直径为3cm。可选的，所述金属底座上设有一水平的通孔，所述第一玻璃针插入所述通孔固定于所述金属底座上。与现有技术相比，本发明提供的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法在样品被随机地吸附到第一玻璃针的非针尖位置时，将第一玻璃针取下并放至特定的金属底座上，使用第二玻璃针的针尖来吸取位于第一玻璃针上的样品，使得样品吸附到第二玻璃针的针尖位置，并将其放置至所述样品载体上；从而避免了样品由于被吸附到第一玻璃针的非针尖位置而导致的样品提取失败，提高了样品提取的成功率，降低了成本，且简单易操作。


图I为本发明实施例提供的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法的流程图；图2为本发明实施例提供的碳膜铜网的结构示意图；图3为本发明实施例提供的金属底座的结构示意图。图4为本发明实施例提供的将第一玻璃针放置在金属底座上的结构示意图。
具体实施例方式以下结合附图和具体实施例对本发明提出的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法作进ー步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用于方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。本发明的核心思想在于，提供一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，该方法在样品被随机地吸附到第一玻璃针的非针尖位置时，将第一玻璃针取下并放至特定的金属底座上，使用第二玻璃针的针尖来吸取位于第一玻璃针上的样品，使得样品吸附到第二玻璃针的针尖位置，并将其放置至所述样品载体上；从而避免了样品由于被吸附到第一玻璃针的非针尖位置而导致的样品提取失败，提高了样品提取的成功率，降低了成本，且简单易操作。请參考图1，图I为本发明实施例提供的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法的流程图，如图I所示，本发明实施例提供的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，包括如下步骤S101、将第一玻璃针靠近已制备好的样品，利用样品与第一玻璃针的针尖之间的静电力，使得样品吸附到第一玻璃针上；具体地，采用提取系统(Pickup系统)，在显微控制系统的控制下，将第一玻璃针靠近已制备好的样品，利用样品与第一玻璃针的针尖之间的静电力，使得样品吸附到第一玻璃针上；S102、当样品吸附到第一玻璃针的针尖位置时，通过玻璃针将样品放置至样品载体上；S103、当样品被吸附到第一玻璃针的非针尖位置时，将第一玻璃针取下放至特定的金属底座上，使用第二玻璃针的针尖来吸取位于第一玻璃针上的样品，使得样品吸附到第二玻璃针的针尖位置，并将其放置至所述样品载体上。进ー步地，所述第一玻璃针的尖端的直径为O. 2^0. 5 μ m。
进ー步地，所述第二玻璃针的尖端的直径为O. 2^0. 5 μ m。进ー步地，所述第一玻璃针靠近已制备好的样品是在显微控制系统的控制下进行的。进ー步地，所述样品载体为碳膜铜网，如图2所示；且所述碳膜铜网的直径为3cm。进ー步地，所述金属底座上设有一水平的通孔101，如图3所示；所述第一玻璃针102插入所述通孔固定于所述金属底座上；将第一玻璃针102放置在金属底座上的结构示意图如图4所不,第一玻璃针102放置在金属底座上之后,再利用第二玻璃针103吸附第一玻璃针102上的样品。综上所述，本发明提供了一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，该方法在样品被随机地吸附到第一玻璃针的非针尖位置时，将第一玻璃针取下并放至特定的金属底座上，使用第二玻璃针的针尖来吸取位于第一玻璃针上的样品，使得样品吸附到第二玻璃针的针尖位置，并将其放置至所述样品载体上；从而避免了样品由于被吸附到第一玻璃针的非针尖位置而导致的样品提取失败，提高了样品提取的成功率，降低了成本，且简单易操作。显然，本领域的技术人员可以对发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，包括如下步骤 将第一玻璃针靠近已制备好的样品，利用样品与第一玻璃针的针尖之间的静电力，使得样品吸附到第一玻璃针上； 当样品吸附到第一玻璃针的针尖位置时，通过玻璃针将样品放置至样品载体上； 其特征在于，当样品被吸附到第一玻璃针的非针尖位置时，将第一玻璃针取下放至特定金属底座上，使用第二玻璃针的针尖来吸取位于第一玻璃针上的样品，使得样品吸附到第二玻璃针的针尖位置，并将其放置至所述样品载体上。
2.如权利要求I所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述第一玻璃针的尖端的直径为O. 2"O. 5 μ m。
3.如权利要求I所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述第二玻璃针的尖端的直径为O. 2^0. 5 μ m0
4.如权利要求I所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述第一玻璃针靠近已制备好的样品是在显微控制系统的控制下进行的。
5.如权利要求I所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述样品载体为碳膜铜网。
6.如权利要求5所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述碳膜铜网的直径为3cm。
7.如权利要求I所述的提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，其特征在于，所述金属底座上设有一水平的通孔，所述第一玻璃针插入所述通孔固定于所述金属底座上。
全文摘要
本发明公开了一种提高提取聚焦离子束制备的透射电镜样品成功率的方法，该方法在样品被随机地吸附到第一玻璃针的非针尖位置时，将第一玻璃针取下并放至特定的金属底座上，使用第二玻璃针的针尖来吸取位于第一玻璃针上的样品，使得样品吸附到第二玻璃针的针尖位置，并将其放置至所述样品载体上；从而避免了样品由于被吸附到第一玻璃针的非针尖位置而导致的样品提取失败，提高了样品提取的成功率，降低了成本，且简单易操作。
文档编号G01N23/22GK102749346SQ20121026454
公开日2012年10月24日 申请日期2012年7月27日 优先权日2012年7月27日
发明者王炯翀, 陈强, 高林, 高金德 申请人:上海华力微电子有限公司