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专利名称：测温电极的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种真空室测温装置，尤其涉及一种测温电极。
背景技术：
光学镀膜设备包括作为被镀工件(光学片等)的载体工件盘、烘烤单元、工件盘下部设置的蒸发源等。真空镀膜室中设置对基片的烘烤机构是必要的。基片温度高，晶粒生长过程加速，膜凝结缺陷减少，再结晶作用增强，使膜的形成更加完善，因而会降低膜的内应力。但基片温度过高，又会使膜的热应力增大。基片温度太高，蒸镀材料的蒸汽分子就容易在基片上运动或再被蒸发，因而基片温度高致使凝结分子的临界蒸汽压也要高，导致薄膜形成大颗粒结晶，这对成膜和膜的质量都是不利的。然而在较高的基片温度下，吸附在基片表面的剩余气体分子将被解吸出来，从而增加了基体与沉淀分子之间的结合力。而且高温还会促使物理吸附向化学吸附转化，增加分子之间的相互作用，这就给增加膜的附着力使膜的结构致密、机械强度提高创造了条件。综合上述利弊，在镀膜机的设计中，应根据不 同的膜层，不同材料的基片而选择不同的烘烤温度，烘烤温度应可调控，因此均要有测温装置，为保证真空室的密封性以及在测量真空室内的烘烤温度，应设置测温装置作为测温元件，并保证真空室的密封。如图I所示，现有技术中的测温电极，主要包括电极杆I、绝缘座2、法兰3和热电偶4等，在电极杆两端开有通孔，将导线穿入，两端面上开有螺纹孔，装入螺钉以压紧导线。热电偶导线与电极相连。上述现有技术至少存在以下缺点导线与电极杆的连接方式不够牢固，有可能造成导线的脱出，而且热电偶不易固定。
发明内容本实用新型的目的是提供一种热电偶安装和连接可靠的测温电极。本实用新型的目的是通过以下技术方案实现的本实用新型的测温电极，包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，所述测温压盖将所述热电偶和测温压圈一起压在所述测温法兰上，所述测温压圈与所述测温法兰之间装有0形圈，所述测温法兰安装在真空室壁上。由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，本实用新型提供的测温电极，由于通过测温压盖将热电偶和测温压圈一起压在测温法兰上，测温压圈与测温法兰之间装有0形圈，测温法兰安装在真空室壁上。增加了热电偶安装和连接的可靠性，避免了导线与其它部分的碰触，增强了操作安全性和可靠性，且通用性强。

图I为现有技术中的测温电极的结构示意图；[0011]图2为本实用新型实施例提供的测温电极的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型实施例作进一步地详细描述。本实用新型的测温电极，其较佳的具体实施方式
是包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，所述测温压盖将所述热电偶和测温压圈一起压在所述测温法兰上，所述测温压圈与所述测温法兰之间装有0形圈，所述测温 法兰安装在真空室壁上。所述测温法兰与真空室壁的接触面之间装有0形圈密封，并涂覆有真空脂。所述热电偶为铠装热电偶。具体实施例如图2所示，主要包括测温压盖11、测温压圈12、测温法兰13、热电偶14等，测温压盖11压在热电偶14上，热电偶14压在测温压圈12上，测温压圈12下面装有0形圈和测温法兰13，测温法兰13通过螺钉安装在真空室壁15上，可安装在任意厚度的真空室壁15上，测温法兰13与真空室壁15接触面中装有0形圈密封，以真空脂涂覆于接触面保证密封。就完成了测温电极的安装与连接，检查后保证密封性完好安全可靠，热电偶14接通电源后，即可正常工作。热电偶14可以选用铠装热电偶。本实用新型的测温电极改进了连接方式，增加了热电偶安装和连接的可靠性，避免了导线与其它部分的碰触，增强了操作安全性和可靠性，且通用性强。以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型披露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
权利要求1.一种测温电极，其特征在于，包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，所述测温压盖将所述热电偶和测温压圈一起压在所述测温法兰上，所述测温压圈与所述测温法兰之间装有O形圈，所述测温法兰安装在真空室壁上。
2.根据权利要求I所述的测温电极，其特征在于，所述测温法兰与真空室壁的接触面之间装有O形圈密封，并涂覆有真空脂。
3.根据权利要求I或2所述的测温电极，其特征在于，所述热电偶为铠装热电偶。
专利摘要本实用新型公开了一种测温电极，包括测温压盖、测温压圈、测温法兰、热电偶，通过测温压盖将热电偶和测温压圈一起压在测温法兰上，测温压圈与测温法兰之间装有O形圈，测温法兰安装在真空室壁上。增加了热电偶安装和连接的可靠性，避免了导线与其它部分的碰触，增强了操作安全性和可靠性，且通用性强。
文档编号G01K7/02GK202501935SQ201220111900
公开日2012年10月24日 申请日期2012年3月22日 优先权日2012年3月22日
发明者徐建龙 申请人:北京北仪创新真空技术有限责任公司