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专利名称：检查检验装置的方法和建立检验装置的测量变量的方法
技术领域：
本发明涉及检查检验装置的方法和建立检验装置的测量变量的方法。更具体而言，本发明涉及使用光源和照相机来检查非接触式检验装置的当前状况的方法，以及建立与检验板的特性对应的最优测量状况的方法。
背景技术：
在多种电子器件中使用如下安装板其中电子部件安装在印刷电路板(PCB)上。 该安装板通过在裸板的焊区上镀覆焊料然后使电子部件的末端与焊料镀覆区连接的方法来制作。通常，为了验证安装有电子部件的PCB的可靠性，必须在安装电子部件之前或之后检验PCB制造得好坏。例如，必须在电子部件安装在PCB上之前检验焊料在PCB的焊区上镀覆得好坏，或者在电子部件安装在PCB上之后检验电子部件安装得好坏。检验过程由如下检验装置执行，该检验装置包括检验探测器，其具有提供检验光的光源；照相机，其用于拍摄图像等。然而，可能出现以下情况，因长期使用检验装置而使检验探测器的硬件状况发生改变，进而降低检验可靠性。另外，由于PCB根据制造商的不同而具有不同的颜色和反射率，因此可能出现以下情况，当采用相同的检验状况检验具有不同特性的PCB时，检验可靠性降低。

发明内容
本发明示例性实施例提供一种检查检验装置的方法，该方法使用自动测试程序来检查检验探测器的硬件状况，并且判断与制造所述检验装置时相比所述检验装置的当前工作状况是否正常。本发明示例性实施例还提供一种建立检验装置的测量变量的方法，该方法能够自动重建与检验板的特性对应的测量变量，以缩短作业文件的建立时间，并且提高检验精度。下面将描述本发明的附加特征，并且部分附加特征可从说明书中直接得出，或可以通过实践本发明来获悉。本发明示例性实施例披露了一种建立检验装置的照明强度的方法。该方法包括 将检验板安装在检验装置中；调整由所述检验装置的照相机获取的拍摄图像的频率分布图的宽度，以避开暗区和亮区；以及通过将所述频率分布图调整至图的中部附近，来调整所述检验装置的照明强度。该方法还可以包括将所述频率分布图的宽度调窄。该方法还可以包括使用具有与所述照明强度的平均值对应的参数的有效指标信息来调整所述检验装置的照明强度。所述有效指标信息可以包括可见度信息。使用具有与所述照明强度的平均值对应的参数的有效指标信息来调整所述检验装置的照明强度的步骤可以包括在改变所述检验装置的照明强度的同时，测量可见度信息；以及用允许有效像素面积与检验区域面积之比超过所测可见度信息中的预先建立的有效值的照明强度来建立所述检验装置的照明强度。所述方法还可以包括在改变所述检验装置的照明强度的同时测量所述可见度信息之后，使用所述所测可见度信息，利用所述检验装置的照相机预先直观地显示与有效像素对应的区域和不与所述有效像素对应的区域中的至少一个。所述检验装置的照明可以对应于光栅图案照明。所述方法还可以包括在调整由所述检验装置的照相机获取的拍摄图像的频率分布图的宽度以避开所述暗区和所述亮区之前，用第一颜色标记值与被选暗值相比更小或相等的所述暗区，并且用第二颜色标记值与被选亮值相比更大或相等的所述亮区。本发明的另一个示例性实施例披露了一种建立检验装置的照明强度的方法。所述方法包括将检验板安装在检验装置中；在改变所述检验装置的照明强度的同时，向所述检验板提供光；利用所述检验装置的照相机来获取被所述检验板反射的光，并且获取所述检验板的图像数据；从所获取的所述检验板的图像数据中获取用于建立照明强度的测量数据；以及基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度。用于建立照明强度的所述测量数据可以包括可见度和灰度级中的至少一个。在基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度时，可以基于可见度和灰度级来建立所述检验装置的照明强度。在基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度时，可以用使有效像素的数量大于或等于所述检验板的图像数据中的阈值的照明强度来建立所述检验装置的照明强度， 其中，在所述有效像素中所述测量数据在预定范围内。在基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度时，可以用使有效像素的数量大于或等于所述检验板的图像数据中的阈值的照明强度来建立所述检验装置的照明强度， 其中，在所述有效像素中可见度和灰度级在预定范围内。本发明的又一示例性实施例披露了一种检查检验装置的方法。所述方法包括将设定对象安装在检验装置中；针对所述设定对象，使用测试程序检查所述检验装置的硬件状况，所述硬件状况包括照明的聚焦状况、光栅移动装置的移动状况、照明的均勻性状况和照明的光照度状况中的至少一种状况；以及向用户显示所检查的所述检验装置的硬件状况。所述设定对象可以具有用于检查照明的聚焦状况的第一区域、用于检查光栅移动装置的移动状况的第二区域、用于检查照明的均勻性状况的第三区域和用于检查照明的光照度状况的第四区域中的至少一个。在显示所检查的所述检验装置的硬件状况时，可以显示以下信息中的至少一种 所检查的硬件状况的数值化信息、和将所检查的硬件状况与制造所述检验装置时的初始硬件状况相比得出的等级信息。本发明的又一个示例性实施例披露了一种建立检验装置的照明强度的方法。所述方法包括将检验板安装在检验装置中；以及通过调整由所述检验装置的照相机获取的拍摄图像的频率分布图来调整所述检验装置的照明强度。根据本发明，使用所述自动测试程序来检查所述检验装置100的当前硬件状况， 从而可以判断与制造所述检验装置时的初始硬件状况相比，当前硬件状况是否正常。另外，
5自动重建与具有各种特性的检验板150对应的诸如照明强度、基准可见度等测量变量，从而缩短存储在作业文件中的检验状况的设定时间，以增加用户便捷性，并且减小因建立错误而导致的测量误差，以提高检验精度。应该理解到，上文的概述和下文的详述是示例性和说明性的，并且意图在于提供要求保护的本发明的详细说明。


在本说明书中结合并纳入附图以便更好地理解本发明，附图构成本发明的一部分并示出了本发明的实施例，并且与下文中的描述一起说明本发明的原理。图1是示出根据本发明示例性实施例的检验装置的示意图。图2是示出检查根据本发明示例性实施例的检验装置的方法的流程图。图3是示出根据本发明示例性实施例的检验装置的测量变量的建立方法的流程图。图4A和图4B是示出对频率分布图进行调整的拍摄图像。
图5A和图5B是示出建立基准可见度的图。图6是示出根据本发明另一示例性实施例的检验装置的测量变量的建立方法的流程图。图7是示出根据本发明又一示例性实施例的检验装置的测量变量的建立方法的流程图。
具体实施例方式下面将参考附图更全面地描述本发明，其中附图中示出了本发明的示例性实施例。然而，本发明可以用很多不同的方式来实现，而不能认为限于本文中所提到的示例性实施例。当然，提供示例性实施例是为了使公开充分并全面，并且向本领域的技术人员充分地传达本发明的范围。为清晰起见，附图中可能放大某些层和区域的尺寸和相对尺寸。应该理解，当文中提到部件或层“在另一部件或层上”、“与另一部件或层连接”或 “与另一部件或层相连”时，部件或层可以直接在另一部件或层上、与另一部件或层直接连接或与另一部件或层直接相连，或者在部件或层与另一部件或层之间可以存在介入的部件或层。相比之下，当文中提到部件“直接位于另一部件或层之上”、“与另一部件或层直接连接”或“与另一部件或层直接相连”时，不存在介入的部件或层。在全文中，相同的附图标记表示相同的部件。本文所使用的短语“和/或”包括一个或多个相关列举项的任意组合或全部组合。应该理解，尽管文中可以使用短语第一、第二和第三等来描述多个部件、组件、区域、层和/或部分，但这些部件、组件、区域、层和/或部分不受这些短语限制。这些短语仅仅用来将一个部件、组件、区域、层或部分与另一个区域、层或部分区分开。从而，在不背离本发明的教导的情况下，可以将下文所述的第一部件、组件、区域、层或部分称为第二部件、 组件、区域、层或部分。在本文中，为了便于描述，可以使用诸如“之下”、“下方”、“较低”、“上方”和“较高” 等空间相对短语来描述附图中所示的一个部件或特征与另一个部件或特征的关系。应该理解，除了图中示出的方位外，空间相对短语还意图涵盖装置在使用或操作中的不同方位。例如，如果装置在图中翻转，则描述为在另一部件或特征“下方”的部件的方位将变为在另一部件或特征“上方”。从而，示例性短语“下方”可以涵盖上方和下方两个方位。该装置可以以其它方式定方位(旋转90度或在其它方位)，并且对本文所使用的空间相对描述词做相
应理解。本文所使用的术语仅仅为了描述特定示例性实施例，而不是为了限制本发明。除非文中明确指出，否则本文所使用的单数形式“一”、“一个”和“这个”意图涵盖复数形式。 还应该理解，短语“包括”和/或“包含”在用于本说明书时表示存在所提及的特征、整体、 步骤、操作、部件和/或组件，但不排除存在额外的一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、 部件、组件和/或它们的组合。在本文中参考剖视图来描述本发明的示例性实施例，其中剖视图是本发明理想示例性实施例(和中间结构)的示意图。如此，预料到会因例如制造工艺和/或公差而与所图示的形状存在差异。从而，本发明的示例性实施例不应该看作限于本文所示区域的具体形状，而应该包括由例如制造导致的形状偏差。例如，示出为矩形的注入区域在边缘处通常具有整圆的或弯曲的特征和/或注入浓度梯度而不是从注入区域至非注入区域呈现二元变化。同样，由离子注入形成的埋入区域可能造成一些离子注入发生在埋入区域与进行离子注入时所穿透的表面之间的区域中。从而，图中所示的区域本质上是示意性的，所示区域的形状并非意图示出装置的区域的实际形状，并且并非意图限制本发明的范围。除非另外限定，否则本文所使用的所有短语(包括技术短语和科学短语)的含义与本发明所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同。还应该理解到，常用词典中所定义的短语应该解释为具有与其在相关技术背景中的含义一致的含义，并且除非本文明确定义，否则不应该用理想化的或过于刻板的意义来进行解释。下面，参考附图详细描述本发明的示例性实施例。图1是示出根据本发明示例性实施例的检验装置的示意图。在图1中，附图标记 150可以表示检验对象、设定对象或检验板。参考图1，根据本发明示例性实施例的检验装置100包括台架140，其用于支撑和移动检验对象150 ；至少一个第一照明部110，其向检验对象150提供图案光；第二照明部 120，其向检验对象150提供用于获取二维QD)信息的光；以及至少一个照相机130，其接收被光检验对象150反射的光并且形成图案图像和平面图像。第一照明部110向检验对象150提供图案光，以获取诸如检验对象150的高度信息、可见度信息等三维(3D)信息。例如，第一照明部110可以包括光源112，其产生光；光栅部件114，其将来自光源112的光转换成图案光；光栅移动装置116，其等间隔地移动光栅部件114;以及投影透镜118，其将经光栅部件114转换成的图案光投影在检验对象150上。 可以使用诸如压电致动器等光栅移动装置116以每次2 π /n总共n-1次的方式使光栅部件 114移动，以使图案光产生相位转变。“η”是大于或等于2的自然数。具有上述结构的多个第一照明部110可以相对于照相机130的中心沿圆周方向以大致恒定的角度彼此间隔地设置，以增加检验精度。第二照明部120可以具有圆环形形状，并且安装在台架140的附近。第二照明部 120向检验对象150提供用于获取2D信息的光，以设定检验对象150的初始校准和检验区域等。例如，第二照明部120可以包括发光二极管(LED)或产生白光的荧光灯，该发光二极管(LED)包括分别产生红光、绿光和蓝光的红色LED、绿色LED和蓝色LED中的至少一个。照相机130利用来自第一照明部110的图案光来拍摄检验对象150的图案图像， 并且利用来自第二照明部120的用于获取2D信息的光来拍摄检验对象150的平面图像。例如，照相机130安装在检验对象150的上方。具有上述结构的检验装置100利用第一照明部110和第二照明部120来向检验对象150提供光，并且利用照相机130借助光来拍摄检验对象150的反射图像，由此获得检验对象150的3D图像和2D图像。图1中所示的检验装置100仅为示例性的，并且可以变型成均包括照相机和至少一个照明部的各种结构。下面，详细描述检查具有上述结构的检验装置100的方法和建立检验装置100的测量变量的方法。图2是示出检查根据本发明示例性实施例的检验装置的方法的流程图。参考图1和图2，为了检查检验装置100的当前状况，在步骤SlOO中，将独立制造的用来检查检验装置100的设定对象150安装在检验装置100的台架140上。接着，在步骤SllO中，针对设定对象150，使用自动测试程序来检查检验装置100 的硬件状况。具体而言，检验装置100利用第一照明部110和第二照明部120向安装在台架140上的设定对象150提供光。然后，检验装置100借助照相机130拍摄图像，并且分析所拍摄图像，以便检查检验装置100中的检验探测器的硬件状况。例如，检验装置100自动检查当前硬件状况，例如，包括第一照明部110或第二照明部120在内的照明的聚焦状况、 光栅移动装置116的移动状况、照明的均勻性状况和照明的光照度状况，等等。照明的聚焦状况对应于从被第一照明部110或第二照明部120投影在设定对象150上的图案的调制传递函数(MTF)计算出的值。当在照相机130处观察时，无论PZT致动器的移动是否等间距， 光栅移动装置116的移动状况都与通过数值化(numericalizing)而获取的值对应。照明的均勻性状况对应于通过将照相机130的视场(FOV)中照明的最大值与最小值之间的差异数值化所获得的值。照明的光照度状况与如下测量变量对应其用于检查与满足测量的预定最小光照度相比，当前时刻最亮照明强度如何。设定对象150可以划分成不同的区域，以检查不同种类的硬件状况。例如，设定对象150可以具有用于检查照明的聚焦状况的第一区域、用于检查光栅移动装置116的移动状况的第二区域、用于检查照明的均勻性状况的第三区域、以及用于检查照明的光照度状况的第四区域。可以在各个区域上形成合适的图案，以检查相关硬件。另外，可以在一个区域上检查至少两种硬件状况。在检查完检验装置100的硬件状况之后，在步骤S120中向用户显示当前硬件状况。例如，在检查完检验装置100的硬件状况之后，显示检查到的当前硬件状况的数值化信息和当前硬件状况的等级信息中的至少一个，检查到的当前硬件状况诸如为照明的聚焦状况、光栅移动装置116的移动状况、照明的均勻性状况和照明的光照度状况等，上述等级信息通过将所检查到的当前硬件状况与制造检验装置时的初始硬件状况进行比较来获得。用户可以检查所显示的硬件状况的等级，并且判断是否需要对相关硬件进行维护。如上所述，使用自动测试程序将检验装置100的当前硬件状况与制造检验装置时的初始硬件状况进行比较，并向用户显示当前硬件状况，从而可以判断当前工作状况是否正常。在使用检验装置100检查检验板150时，由于诸如颜色和反射率等特性会根据检验板150的制造商的不同而存在差异，因此可以根据检验板150的特性将测量变量最优化。 测量变量可以包括例如照明强度、可见度等。图3是示出根据本发明示例性实施例的检验装置的测量变量的建立方法的流程图。参考图1和图3，为了建立与检验板150的特性对应的检验装置100的测量变量， 在步骤S200中，将检验板150安装在检验装置100的台架140上。接着，在步骤S210中，与检验板150的特性对应地自动建立检验装置100的照明强度。具体而言，检验装置100借助第一照明部110或第二照明部120向安装在台架140 上的检验板150提供光，并且利用照相机130获取拍摄图像。在获取所拍摄图像时，可以优选地在包括第一照明部110、第二照明部120和照相机130在内的检验探测器移动至使检验板150上的空闲部分尽可能小的位置之后，获取所拍摄图像。其后，通过调整所拍摄图像的频率分布图来建立检验装置100的照明强度。图4A和图4B是示出对频率分布图进行调整的拍摄图像。图4A示出了所拍摄图像的频率分布图，并且图4B示出了调整后的频率分布图。在图4A和图4B的频率分布图中， χ轴表示图像亮度，而y轴表示与图像亮度对应的像素数量。参考图4A和图4B，调整频率分布图可以通过以下操作来执行将频率分布图的平均值“A”调整至图(graph)的中部附近、将频率分布图的宽度“B”调整成避开暗区“C”和亮区“D”、以及将频率分布图的宽度“B”调窄等。通过调整频率分布图来将照明强度建立为具有尽可能窄的区域，从而可以建立与检验板150的特性对应的照明强度的最优化区域。照相机的可测灰度级在0至255的范围内。在频率分布图位于图的中部附近的情况下，所测照明强度变为处于照相机的可测灰度级范围内。因此，为了增加允许测量照明强度的像素数量，可以将频率分布图调整到图的中部附近。在建立照明强度时，照明强度的优选范围可以使用以下视觉标记法来建立，在该方法中，在其值与对应被选亮值的第一点相比更大或相等的部分上作红色标记，并且在其值与对应被选暗值的第二点相比更小或相等的部分上作蓝色标记。在建立了照明强度之后，在步骤S220中，与检验板150的特性对应地建立检验装置100的基准可见度。基准可见度与用于判定检验是否有效的测量变量对应，并且可以由用户在0至1的范围内建立。图5A和图5B是示出建立基准可见度的图。图5A和图5B示出了可见度大于基准可见度的有效像素的比例，该比例随照明强度而变化。参考图5A和图5B，为了建立基准可见度，在建立照明强度的步骤S210所建立的照明强度的范围内改变照明强度，同时，测量可见度信息。作为测量可见度信息的结果，如图5A所示，有效像素面积与检验区域(或所关注的区域R0I)的面积之比可能不大于用户期望的有效值。有效值与用户预先建立的值对应，并且可能建立为例如大约95%。换句话说，当基准可见度根据诸如检验板150的颜色、反射率等特性而建立得过高时，有效像素面积的比例不超过有效值。于是，由于难于进行有效的检验，因此可优选地根据检验板150的特性重建基准可见度。因而，基准可见度被建立为，使有效像素面积与检验区域的面积(例
9如检验区域的总面积)之比超过所测可见度信息中的预先建立的有效值。例如，如图5B所示，当在改变基准可见度的情况下测量有效像素面积的比例时，可以获得有效像素面积的比例超过有效值时的可见度，并且将所获得的可见度建立为基准可见度。可以利用所测可见度信息，用检验装置中的照相机预先直观地显示与有效像素对应的区域和不与有效像素对应的区域中的至少一个。其后，在步骤S230中，存储由建立照明强度的步骤S210建立的照明强度和由建立基准可见度的步骤S220建立的基准可见度。如上所述，由于与具有各种特性的检验板150对应地自动重建经最优化的照明强度和经最优化的基准可见度，因此可以对各种检验板150执行有效的检验，并且可以提高检验可靠性。在建立照明强度或基准可见度时，可以获得除将要有焊料真正形成在检验区域上的焊区以外的形成有孔和丝等的特定区域的信息，并且该信息可以用在稍后执行的实际检验过程中，从而提高检验可靠性。图6是示出根据本发明另一示例性实施例的检验装置的测量变量的建立方法的流程图。参考图1和图6，为了建立与检验板150的特性对应的检验装置100的测量变量， 在步骤S300中，将检验板150安装在检验装置100的台架140上。接着，在步骤S310中，与检验板150的特性对应地自动建立检验装置100的照明强度的第一范围。可以通过调整由检验装置100的照相机130所得到的所拍摄图像的频率分布图来建立照明强度的第一范围。调整频率分布图通过以下操作来执行将频率分布图的平均值“A”调整至图的中部附近，将频率分布图的宽度“B”调整成避开暗区“C”和亮区 “D”，以及将频率分布图的宽度“B”调窄等。与频率分布图的宽度“B”对应的照明强度的范围为照明强度的第一范围R1。照明强度的第一范围Rl可以根据检验板150的特性通过调整频率分布图来首先建立。在建立照明强度的第一范围Rl时，照明强度的第一范围Rl可以使用以下视觉标记法来建立，在该方法中，在其值与对应被选亮值的第一点相比更大或相等的部分上作红色标记，并且在其值与对应被选暗值的第二点相比更小或相等的部分上作蓝色标记。其后，在步骤S320中，使用照明强度的第一范围Rl内的有效指标信息来自动建立检验装置100的照明强度的第二范围R2。有效指标信息可以包括例如可见度信息。为了建立照明强度的第二范围R2，在由建立照明强度的第一范围Rl的步骤S310 所建立的照明强度的第一范围RI内改变光照强度的同时，测量可见度信息。接着，如图5B 所示，作为测量可见度信息的结果，将有效像素面积与检验区域的面积(例如检验区域的总面积)之比超过预先建立的有效值的所测可见度信息范围建立为照明强度的第二范围 R2。可以使用所测可见度信息，用检验装置中的照相机预先直观地显示与有效像素对应的区域和不与有效像素对应的区域中的至少一个。其后，在步骤S330中存储所建立的照明强度的第二范围R2。如上所述，通过分析检验装置100的照明强度的频率分布图来建立第一范围R1， 接着使用可见度信息在第一范围RI中建立第二范围R2，以便可以根据检验板150的特性精确地建立照明强度。检验处理可以在建立的照明强度的第二范围R2内进行，以便提高检验精度。在建立照明强度时，可以获得除将要有焊料真正形成在检验区域上的焊区以外的形成有孔和丝等的特定区域的信息，并且该信息可以用在稍后执行的实际检验过程中，从而提高检验可靠性。图7是示出根据本发明又一示例性实施例的检验装置的测量变量的建立方法的流程图。参考图1和图7，为了根据检验板150的特性建立检验装置100的测量变量，在步骤S400中，将检验板150安装在检验装置100的台架140上。接着，在步骤S410中，在改变检验装置100的第一照明部110的照明强度的同时向检验板150提供光之后，在步骤S420中，利用检验装置100的照相机130获取被检验板 150反射的光，并且获取与照明强度对应的检验板150的图像数据。其后，在步骤S430中，根据所获取的检验板150的图像数据来获取各个像素的可见度和灰度级。换句话说，针对与照明强度对应的所拍摄的各个图像数据测量各个像素的可见度和灰度级。接着，在步骤S440中，基于可见度和灰度级建立第一照明部110的照明强度。例如，对检验板150的图像数据中的有效像素(有效像素的可见度和灰度级在预定有效范围内)的数量进行计数，接着用有效像素的数量大于或等于阈值的照明强度来建立第一照明部110的照明强度。作为另一选择，用检验板150的图像数据中的有效像素(有效像素的可见度和灰度级在预定有效范围内)的可见度总和大于或等于阈值的照明强度来建立第一照明部110的照明强度。换句话说，基于针对各个照明强度所获得的各个图像数据的灰度级和可见度来得出有效像素，接着，可以将与使有效像素的数量、有效像素的可见度总和最大的图像数据对应的照明强度建立为第一照明部110的照明强度。可以使用所测可见度信息，用检验装置中的照相机预先直观地显示与有效像素对应的区域和不与有效像素对应的区域中的至少一个。照相机的可测灰度级在0至255的范围内。从而，为了使用图案光以相移莫尔测量方式测量三维形状，当正弦波形的光强因光的干涉效应而在0至255的范围内变化时，可测量正弦波形而不出现诸如低于0或高于255的失真，从而使正弦波形保留在检验区域中。 从而，设定0至255之间的例如10和230之间的阈值，以建立能使正弦波形不失真的照明强度。也就是说，可以使用灰度级作为用于建立照明强度的变量。可见度用于测量所测数据的正弦波形的质量，并且判断所测数据是否具有良好的可靠性。为了获取具有良好可靠性的所测数据，可以建立照明强度来获取可见度比阈值大的正弦波形。也就是说，可以使用可见度作为用于建立照明强度的变量。当由用户或者通过使用建立照明强度的方法来输入诸如颜色、反射率等板特性时，照明强度和可见度自动建立在预先建立的范围内，以生成最优化参数。从而，可以缩短作业文件的设定时间，并且可以提高精度。也就是说，作业文件的检验状况自动重建为与测量对象对应，从而减小测量误差。如上所述，使用自动测试程序检查检验装置100的当前硬件状况，从而可以判断与制造检验装置时的初始硬件状况相比当前工作状况是否正常。另外，自动重建与具有各种特性的检验板150对应的诸如照明强度、基准可见度等测量变量，从而缩短存储在作业文件中的检验状况的设定时间，以增加用户便捷性，并且减小因建立错误而导致的测量误差，以提高检验精度。 显然，对于本领域的技术人员而言，可以在不脱离本发明主旨和范围的情况下对本发明进行各种修改和变型。从而，其意图在于使本发明涵盖落入所附权利要求书及其等同内容的范围内的本发明的修改和变型。
权利要求
1.一种建立检验装置的照明强度的方法，包括 将检验板安装在检验装置中；调整由所述检验装置的照相机获取的拍摄图像的频率分布图的宽度，以避开暗区和亮区；以及通过将所述频率分布图调整至图的中部附近，来调整所述检验装置的照明强度。
2.根据权利要求1所述的方法，还包括 将所述频率分布图的宽度调窄。
3.根据权利要求1所述的方法，还包括使用具有与所述照明强度的平均值对应的参数的有效指标信息来调整所述检验装置的照明强度。
4.根据权利要求3所述的方法，其中， 所述有效指标信息包括可见度信息。
5.根据权利要求4所述的方法，其中，使用具有与所述照明强度的平均值对应的参数的有效指标信息来调整所述检验装置的照明强度的步骤包括在改变所述检验装置的照明强度的同时，测量可见度信息；以及用允许有效像素面积与检验区域面积之比超过所测可见度信息中的预先建立的有效值的照明强度来建立所述检验装置的照明强度。
6.根据权利要求5所述的方法，还包括在改变所述检验装置的照明强度的同时测量所述可见度信息之后， 使用所述所测可见度信息，利用所述检验装置的照相机预先直观地显示与有效像素对应的区域和不与所述有效像素对应的区域中的至少一个。
7.根据权利要求1所述的方法，其中， 所述检验装置的照明对应于光栅图案照明。
8.根据权利要求1所述的方法，还包括在调整由所述检验装置的照相机获取的拍摄图像的频率分布图的宽度以避开所述暗区和所述亮区之前，用第一颜色标记值与被选暗值相比更小或相等的所述暗区，并且用第二颜色标记值与被选亮值相比更大或相等的所述亮区。
9.一种建立检验装置的照明强度的方法，包括 将检验板安装在检验装置中；在改变所述检验装置的照明强度的同时，向所述检验板提供光； 利用所述检验装置的照相机来获取被所述检验板反射的光，并且获取所述检验板的图像数据；从所获取的所述检验板的图像数据中获取用于建立照明强度的测量数据；以及基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度。
10.根据权利要求9所述的方法，其中，用于建立照明强度的所述测量数据包括可见度和灰度级中的至少一个。
11.根据权利要求9所述的方法，其中，在基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度时，基于可见度和灰度级来建立所述检验装置的照明强度。
12.根据权利要求9所述的方法，其中，在基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度时，用使有效像素的数量大于或等于所述检验板的图像数据中的阈值的照明强度来建立所述检验装置的照明强度，在所述有效像素中所述测量数据在预定范围内。
13.根据权利要求9所述的方法，其中，在基于所述测量数据建立所述检验装置的照明强度时，用使有效像素的数量大于或等于所述检验板的图像数据中的阈值的照明强度来建立所述检验装置的照明强度，在所述有效像素中可见度和灰度级在预定范围内。
14.一种检查检验装置的方法，包括将设定对象安装在检验装置中；针对所述设定对象，使用测试程序检查所述检验装置的硬件状况，所述硬件状况包括照明的聚焦状况、光栅移动装置的移动状况、照明的均勻性状况和照明的光照度状况中的至少一种状况；以及向用户显示所检查的所述检验装置的硬件状况。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述设定对象具有用于检查照明的聚焦状况的第一区域、用于检查光栅移动装置的移动状况的第二区域、用于检查照明的均勻性状况的第三区域和用于检查照明的光照度状况的第四区域中的至少一个。
16.根据权利要求14所述的方法，其中，在显示所检查的所述检验装置的硬件状况时，显示以下信息中的至少一种所检查的硬件状况的数值化信息、和将所检查的硬件状况与制造所述检验装置时的初始硬件状况相比得出的等级信息。
17.一种建立检验装置的照明强度的方法，包括将检验板安装在检验装置中；以及通过调整由所述检验装置的照相机获取的拍摄图像的频率分布图来调整所述检验装置的照明强度。
全文摘要
本发明公开了一种检查检验装置的方法和建立检验装置的测量变量的方法。为了建立检验装置的照明强度，将检验板安装在检验装置中。接着，调整由检验装置的照相机获取的拍摄图像的频率分布图的宽度，以避开暗区和亮区。其后，通过将频率分布图调整至图的中部附近，来调整检验装置的照明强度。于是，可以缩短存储在作业文件中的检验状况的设定时间，以增加用户便捷性，并且可以减小由错误建立导致的测量误差，以提高检验精度。
文档编号G01N21/93GK102262095SQ201110095628
公开日2011年11月30日 申请日期2011年4月14日 优先权日2010年4月14日
发明者柳希昱 申请人:株式会社高永科技