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专利名称：针压检测电路以及使用该电路的点测系统的制作方法
技术领域：
本实用新型与用于点测芯片或光电零组件的点测系统有关，特别·是指一种可取代机械式寻边器来确保探针针压的针压检测电路，以及使用该针压检测电路的点测系统。
背景技术：
点测设备(prober)是一种利用探针(probe)来检测诸如发光二极管等半导体晶粒性能表现或特性参数的设备。在点测作业进行时，假使探针针压(probing force)过大，不但晶粒表面会因针痕过长影响外观检验质量，且可能会造成晶粒表面损伤，也容易造成探针磨损，而一旦针压过小，可能造成探针与晶粒接点接触不良，进而影响点测结果，因此，如何确保探针能以适当的针压抵接晶粒接点，一直是业者关注的议题。传统上，利用搭载在点测装置中的机械式寻边器(edge sensor)，例如在中国台湾第M345241、M382589等新型专利说明书中所揭示的各式各样的寻边器，可达到确保探针能确实接触并在待测晶粒的接点施加一定压抵力量的目的。一般而言，这些习用机械式寻边器的结构，大抵上包含有一基座、一与该基座之间通过一弹片弹性连接并可相对该基座摆动的摆臂，以及一可调预力施加器，其中，探针固定于该摆臂上，且该可调预力施加器为利用磁性吸力、磁性斥力或者弹簧回复力来施加一作用于该基座与该摆臂之间的预力，使该探针在未受力的状态下，二个分别设于该基座与该摆臂上的电性接点可以保持接触而电导通，而一旦探针接触并持续压抵待测晶粒的接点至前述预力被克服的程度时，该摆臂将相对该基座摆动使该二电性接点分离造成断路，因此，通过该可调预力施加器给予特定的预力，并在侦测到前述二电性接点断开时的关键点停止承载晶粒的升降载台上升，即可确保探针在点测作业时已经确实接触并在待测晶粒的接点上施加一特定压抵力量。上述机械式寻边器的缺点在于，连接在基座与摆臂之间的弹片在长期使用之下容易弹性疲乏，以致在进行点测作业中，往往需要频繁地调整施加的预力以校正针压；其次，二个分别设于基座与摆臂上的电性接点在长期使用之下容易碳化，不但必须清理保养，且清理完成之后还需要重新校正整个机械式寻边器，徒增作业时间；此外，由于传统的机械式寻边器具有相当的高度，在配合积分球(integrating sphere)进行点测作业时，因积分球的开口无法尽量贴近待测晶粒的发光区，以致容易影响其测量准确度。此外，中国台湾第M406740号新型专利公开了一种利用光学辨识技术来确认针尖位置的自动调整装置，然而，此自动调整装置是使用监视组件来撷取针尖影像，并辅助一发光元件照射针尖来提高监视组件的辨识率，因此并不适合用于利用积分球来检测光电组件的点测作业中，况且，利用光学辨识技术是否能确保探针每次都能以同样的、适当的针压抵触待测物的接点，实是有待商榷。
发明内容针对上述问题，本实用新型的主要目的在于提供一种点测系统，其可避免上述习用技术的缺点。[0007]为达到上述目的，本实用新型所提供的一种点测系统，其特征在于包含有一升降载台，用于承载一待测物；一针压检测模块，具有一针压检测电路以及对应于所述待测物上方的一第一与一第二探针，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有一第一与一第二接点，用于分别电性耦接所述第一与第二探针；一升降控制器，与所述升降载台电连接，用于控制所述升降载台的动作，使待测物能与所述第一与第二探针接触而彼此电连接，或者使待测物能与所述第一与第二探针分离而彼此电性绝缘；一信号转换器，与所述针压检测电路电连接，以撷取所述针压检测单元的跨电压，并通过判断所述跨电压的数值使所述升降控制器控制所述升降载台的动作；一测试电路，用于电连接所述第一与第二探针。上述本实用新型的技术方案中，所述针压检测电路还包含有一与所述电源电连接并与所述针压检测单元串联的分压元件。所述分压元件的电阻值小于所述针压检测单元的升压元件的电阻值。 所述针压检测电路还包含有一第一开关以及一第二开关，所述第一开关用于使所述第一探针能切换地与所述探针连接线路的第一接点或所述测试电路的一第一接点电性耦接；所述第二开关用于使所述第二探针能切换地与所述探针连接线路的第二接点或所述测试电路的一第二接点电性耦接。还包含有一切换装置，用于当所述信号转换器所撷取的跨电压下降到达一预定的阈值时，将与所述探针连接电路的第一与第二接点分别电性耦接的第一与第二探针，切换至分别与所述测试电路的一第一接点与一第二接点电性耦接。所述切换装置包含有一第一开关，一端与所述第一探针电连接，另一端能切换至与所述探针连接线路的第一接点或所述测试电路的第一接点电连接；一第二开关，一端与所述第二探针电连接，另一端能切换至与所述探针连接线路的第二接点或所述测试电路的第二接点电连接。本实用新型的点测系统还提供了另一技术方案一种点测系统，其特征在于包含有一升降载台，用于承载一待测物；一针压检测模块，具有一针压检测电路以及对应于所述待测物上方的第一至第四探针，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一第一与一第二针压检测单元，所述第一针压检测单元包含有一第一升压元件以及与所述第一升压元件并联的一第一探针连接线路，所述第一探针连接线路具有一第一与一第二接点，用于分别电性耦接所述第一与第二探针；所述第二针压检测单元包含有一第二升压元件以及与所述第二升压元件并联的一第二探针连接线路，所述第二探针连接线路具有一第三与一第四接点，用于分别电性耦接所述第三与第四探针；一升降控制器，与所述升降载台电连接，用于控制所述升降载台的动作，使待测物能与所述第一至第四探针接触而彼此电连接，或者使待测物能与所述第一至第四探针分离而彼此电性绝缘；一信号转换器，与所述针压检测电路电连接，用于撷取所述第一与第二针压检测单元的跨电压，并通过判断各所述跨电压的数值，使所述升降控制器控制所述升降载台的动作；一测试电路，用于电连接所述第一至四探针。其中，所述针压检测电路还包含有一与所述电源电连接并与所述第一针压检测单元串联的分压元件，以及一与所述电源电连接并与所述第二针压检测单元串联的另一分压元件。所述针压检测电路还包含有一第一至第四开关，其中所述第一开关用于使所述第一探针能切换地与所述第一探针连接线路的第一接点或所述测试电路的一第一接点电性耦接；所述第二开关用于以使所述第二探针能切换地与所述第一探针连接线路的第二接点或所述测试电路的另一第一接点电性耦接；所述第三开关用于使所述第三探针能切换地与所述第二探针连接线路的第三接点或所述测试电路的一第二接点电性耦接；所述第四开关用于使所述第四探针能切换地与所述第二探针连接线路的第四接点或所述测试电路的另一第二接点电性耦接。承载于所述升降载台的待测物为一芯片，所述芯片包含有二电性接点，所述第一与第二探针用于接触并电连接所述芯片的其中的一电性接点，所述第三与第四探针用于接触并电连接所述芯片的另一电性接点。所述第一至第四探针设置于一探针卡。再者，本实用新型的再一目的在于提供一种可取代习用的机械式寻边器的针压检测电路。为达到上述目的，本实用新型所提供的一种针压检测电路，其特征在于包含有一电源；一与所述电源电连接的针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有一第一接点与一第二接点，用于分别电性耦接一第一探针与一第二探针。本实用新型的针压检测电路还包含有一与所述电源电连接并与所述针压检测单元串联的分压元件。还包含有一第一开关以及一第二开关，所述第一开关的一端与所述第一探针电连接，另一端能切换至与所述第一接点电连接；所述第二开关的一端与所述第二探针电连接，另一端能切换至与所述第二接点电连接。所述针压检测单元的二端电连接至一用于读取所述针压检测单元的跨电压的模拟/数字信号转换器。所述第一与第二探针用于分别点触于一芯片的二电性接点。所述第一与第二探针用于同时点触于一芯片的一电性接点。采用上述技术方案，本实用新型利用以上的点测系统，在点测作业开始进行时，由升降控制器操作升降载台上升，并通过信号转换器同时撷取针压检测单元的跨电压，且当待测物上升至确实与各探针接触而电连接时，因探针连接线路导通并与电阻并连，所测量的针压检测单元的跨电压将明显下降，由此，当判断前述跨电压一下降或下降至一预定的阈值(threshold value)时,升降台控制器即控制升降载台停止动作,使待测物可保持在与各探针确实接触的状态，以利测试作业的进行。换言之，本实用新型所提供的点测系统省去习用机械式寻边器的设置，因而可免除习用机械式寻边器的缺点。其次，本实用新型所提供的点测系统可搭配积分球进行点测作业，使得适用性较好。其次，本实用新型所提供的点测系统，也可应用于需使用多对探针的点测作业中，例如应用于待测物包含有多个芯片的晶圆的点测作业中，此时前述多对探针可固定于一探针卡，且每一对探针可电性耦接至一单独的针压检测电路，并通过检测机撷取并判断各针压检测电路的针压检测单元的跨电压，来确认每一对探针是否已经确实接触各个对应芯片的电性接点；另一方面，本实用新型的点测系统也可应用于高功率的发光二极管芯片的点测作业中，此时，一对电性耦接于一针压检测电路的探针，同时接触该高功率LED芯片的其中的一电性接点，而另一对探针同时接触该高功率LED芯片的另一电性接点。

图I是本实用新型第一较佳实施例所提供的点测系统的示意图，其中显示探针耦接于针压检测电路且待测物尚未与探针接触；图2类同图I，显示待测物与探针接触；图3类同图2，显示探针耦接于测试电路；图4是本实用新型第一较佳实施例所提供的点测系统的针压检测电路的等效电路不意图； 图5A是升降载台的位置以及针压检测单元的跨电压相对时间的关系图；图5B是图5A的部分放大图，用于说明升降载台的位移关系；图6是本实用新型第二较佳实施例所提供的点测系统的示意图；图7A是本实用新型第三较佳实施例所提供的点测系统的示意图；图7B是一示意图，显示一对探针同时接触待测物的一电性接点，而另一对探针同时接触该待测物的另一电性接点；图7C是本实用新型第三较佳实施例所提供的点测系统的针压检测电路的等效电路不意图。
具体实施方式
为了详细说明本实用新型的结构、特点及功效，现举以下较佳实施例并配合附图说明如下。申请人:首先在此说明，在以下将要介绍的实施例以及图式中，相同的标号表示相同或类似的构件或结构特征。如图I至图4所示，本实用新型第一较佳实施例所提供的点测系统10，主要包含有一升降载台12、一针压检测模块14、一检测机16以及一测试机18。图I至图3之间的差异在于，图I显示探针耦接于针压检测电路且待测物尚未与探针接触；图2是显示待测物与探针接触；图3是显示探针耦接于测试电路；图4是第一较佳实施例所提供的点测系统的针压检测电路的等效电路不意图。升降载台12与一般用于工具机或点测设备中可沿Z轴上下垂直移动或可沿X、Y与Z三轴移动的工作平台相同，升降载台12的顶面用于承载固定一准备进行点测作业的待测物20，待测物20可以是(但不限于)LED芯片、LED封装模块、具有多个芯片的晶圆等对象。如图4所示，在此实施例中，待测物20是以LED封装模块为例。针压检测模块14主要包含有一针压检测电路22以及对应于待测物20的第一接点20a与第二接点20b上方的一第一探针24a与一第二探针24b。针压检测电路22具有一电源(如本实施例所提供的直流电源)26、一与电源26电连接的分压兀件(如本实施例所提供的电阻R1)，以及与该分压元件串联的一针压检测单元28。其中，该分压元件具有保护针压检测电路22的回路电流的功用，用于承受针压检测单元28可能产生的短路电流。针压检测单元28包含有一升压元件(如本实施例所提供的电阻R2)以及与该升压元件并联的一探针连接线路30，探针连接线路30具有断开的一第一接点30a与一第二接点30b，该升压元件为第一接点30a与第二接点30b提供一特定偏压。此外，针压检测电路22还包含有一一端与第一探针24a电连接的第一开关SWl以及一一端与第二探针24b电连接的第二开关SW2，通过第一、第二开关SW1、SW2，第一接点30a可电性耦接于第一探针24a，而第二接点30b可电性耦接于第二探针24b，使该升压元件所提供的特定偏压可通过第一探针24a及第二探针24b分别输入待测物20的第一接点20a与第二接点20b。再者，该升压元件主要设计为克服待测物20的第一接点20a与第二接点20b之间导通所需的能障，或者依待测物20的内部元件特性而触发待测物20在特定导通状态下运作所需施加于第一接点20a与第二接点20b之间的操作偏压，电源26及该分压元件是依照待测物20在导通状态可承受的电流功率而提供最适的电性规格。因此，在本实施例中，当待测物20为LED封装模块时，若为以LED组件的正、负电极分别与第一接点20a及第二接点20b电连接，则升压元件所提供的特定偏压则需大于LED组件的顺向导通电压(forward-bias),从而使LED封装模块导 通运作，并在第一探针24a及第二探针24b之间存在一等效电阻，该等效电阻包括第一、第二探针24a、24b与第一、第二接点20a、20b的欧姆接触电阻、模块导线线电阻、模块导线与LED组件的欧姆接触电阻以及LED组件的欧姆接触电阻与接面横向电阻，相比于升压元件有较低甚至接近短路的电阻特性，此时分压元件则需承受较高的直流分压甚至接近电源26的直流电压。故在最为简便的电路设计结构下，申请人实际采用的电源26为可产生5V的直流电源，而分压元件及升压元件分别具有可调变或固定为100K及400K欧姆的电阻R1、R2，使第一探针24a及第二探针24b与待测物20的第一接点20a与第二接点20b达到欧姆接触的瞬间，升压元件可向待测物20提供约4V的操作偏压，使LED组件由截止转为导通状态，并由LED组件的导通电流特性使升压元件与探针连接线路30的并联等效电阻降低为接近分压元件甚至近似待测物20的等效电阻，进而降低针压检测电路22中针压检测单元28的分压。其次，上述的探针24a、24b的型态并无特定的限制，例如，可为由探针夹具夹持固定的直线状针体或具有预定弯曲角度的弯针，或者为固定于一探针卡的悬臂式探针。检测机16主要具有一信号转换器32、一升降控制器34以及一接口控制器36。其中信号转换器32可以是一般用于撷取电压讯号的电位计或进而更转换电压讯号的模拟/数字信号转换器(A/D converter)，其讯号撷取线路32a跨接于针压检测电路22的针压检测单元28的二端，以撷取并供判读针压检测单元28的跨电压。而升降控制器34，是与信号转换器32及升降载台12电连接，升降控制器34可控制升降载台12的驱动马达(图中未示)，使升降载台12可带动待测物20，在一待测物20与第一、第二探针24a、24b分离而彼此电性绝缘的预备位置(如图I所示)，与于一使待测物20与各探针24a、24b接触而电连接的接触位置(如图2所示)之间往复位移，而且，在升降控制器34控制升降载台12由预备位置上升至接触位置的过程中，升降控制器34更可根据信号转换器32所撷取的电压讯号，判断待测物20已经确实与各探针24a、24b接触而停止升降载台12的动作，使待测物20可确实保持在与各探针24a、24b接触而电连接的状态，以便测试机18进行点测作业。而接口控制器36为电连接测试机18的一接口控制器38，以利检测机16与测试机18彼此之间控制指令的交换。测试机18主要包含有与检测机16的接口控制器36电连接的接口控制器38，以及一与接口控制器38电连接的测试单元40，测试单元40具有一测试电路42，其具有断开的一第一接点42a与一第二接点42b,而且,如图3所不,通过第一、第二开关SW1、SW2的切换动作，第一接点42a可电性耦接于第一探针24a，而第二接点42b可电性耦接于第二探针24b，如此一来，测试机18即可对待测物20进行点测作业。以下将针对如何利用针压检测电路22来判断探针已经确实接触待测物的电性接点(探针已经施加电性接点足够的针压)的原理，以及整个点测系统的作业流程进一步详细介绍，以使所属技术领域具有通常知识的人士能更加了解本实用新型的技术特征并能够据此实施本实用新型。当待测物固定于升降载台12开始进行测试时(如图I所示)，点测系统10的检测机16首先将利用升降控制器34操作升降载台12，使升降载台12可位移并保持在预备位置。其次，整个点测系统将切换到针压检测模式，即，检测机16将下达控制指令，使第一开关SWl与第二开关SW2同步切换到第一探针24a与探针连接线路30的第一接点30a电性耦接，且第二探针24b与第二接点30b电性耦接的状态(如图I所示)。而后，检测机16便 用信号转换器32读取针压检测单元28的跨电压。而后，检测机16通过升降控制器34控制升降载台12上升至待测物20的第一与第二接点20a与20b分别与第一与第二探针24a与24b接触而电连接的接触位置(如图2所示)。信号转换器32在上述过程中持续读取针压检测单元28的跨电压，此时，升降载台12仍持续上升，以致各探针24a、24b施加在待测物接点20a、20b的针压持续增加。信号转换器32同时撷取针压检测单元28的跨电压并通过判断跨电压的数值是否自一恒定值下降，从而决定是否停止升降载台12的上升动作。详而言之，如图5A与图5B所示，图5A为升降载台的位置以及针压检测单元的跨电压相对时间的关系图；在图5A中，左边纵轴代表升降载台12的位置，右边纵轴表示信号转换器32所量测的针压检测单元28的跨电压，横轴代表时间，而曲线Cl表示升降载台位置与时间的关系曲线，而曲线C2表示跨电压与时间的关系曲线。如图中所示，在时间开始到tl (约略十几毫秒)的区间中，曲线Cl随时间递增，意味着升降载台12自初始位置Xi持续上升，此时由于第一与第二探针24a、24b尚未与待测物20接触，故探针连接线路30呈断路的状态，此时信号转换器32所量得的跨电压为电阻R2的跨电压(约为4V)，故在此区间中，曲线C2呈一直线，也就是电压保持在一;〖亘定值(constant value)。其次，当第一与第二探针24a、24b与待测物20的第一与第二接点20a、20b接触之后(tl之后)，由于此时信号转换器32所量得的针压检测单元28跨电压，为电阻R2与探针24a、24b本身电阻加上待测物20内电阻并联后的等效电阻的跨电压，因此曲线C2将呈现一明显的电压下降趋势，在此同时，当信号转换器32 —侦测到跨电压数值由恒定值下降时，可立刻通知升降控制器34发出指令控制升降载台12停止上升(停止位置Xf);或者，也可如本实施例所提供的，通知升降控制器34发出指令控制升降载台12以一较低的上升速率缓步进给，并在一预定时间后停止升降载台12的动作。详而言之，如图5B所示，图5B为图5A的部分放大图，用于说明升降载台的位移关系，当信号转换器32侦测到电压下降时，即控制升降载台12缓步进给，使各探针24a、24b施加在待测物接点20a、20b的针压缓步增加，而后，当信号转换器32撷取并判断针压检测单元28的跨电压数值下降到达一预先设定的阈值Vt时，对应于时间t2，即立刻通知升降控制器34发出指令控制升降载台12停止上升(停止位置Xf )，使待测物20可保持在与各探针24a与24b确实接触的状态(即探针24a与24b以特定的针压确实抵接待测物的接点20a与20b)。在此需说明的是，阈值Vt的设定可依据探针、待测物的种类、封装模块结构或其他需要而定，实际上，若预定的阈值设定更低至使第一、第二探针24a、24b与第一、第二接点20a、20b之间存在最小的欧姆接触电阻(针压检测单元28的跨电压接近曲线C2的末端水平渐进线)，则探针的针压将相对提高(因为升降载台的上升量将增加)，反之，若阈值设定更高，针压将相对降低(因为升降载台停止的时间提早)。此外，申请人曾经就传统使用机械式寻边器的针压设定方法与此方法进行比较，实验结果显示，使用此方法进行针压设定，当跨电压到达所设定的阈值Vt即停止升降载台上升的时间点t2，比利用机械式寻边器利用其二电性接点跳脱断开而停止升降载台上升的时间点t3约提早了 5ms左右，换言之，本发明具有较佳的反应速度，可避免针压过负荷的情况发生，有效提升待测物表面针痕的外观检验质量，且降低待测物表面损伤与探针磨损的缺陷。其次，若判断跨电压的数值尚未到达设定的阈值，则判断升降载台是否到达所设定的一最高位置，若尚未到达，则升降载台12仍持续上升，以致各探针24a、24b施加在待测物接点20a、20b的针压持续增加，若已经到达(虽然测量的跨电压尚未到达所设定的阈值)，则立即停止升降载台的动作，以避免施加在待测物20的针压有超负载的可能。之后，整个 点测系统10将切换到待测物测试模式，即，检测机16将下达控制指令，使第一开关SWl与第二开关SW2同步切换到使第一探针24a与测试电路42的第一接点42a电性耦接，且第二探针24b与第二接点42b电性耦接的状态(如图3所示)。之后，检测机16将判断升降载台12是否真正已经停止上升，等到确定升降载台12已经停止，检测机16将通过其接口控制器36发出指令，经由接口控制器38通知测试机18进行点测作业。当测试机18完成点测作业之后，升降载台12即下降回到预备位置，以准备另一梯次的待测物点测作业。由以上的陈述可知，本实用新型所提供的点测系统10可通过针压检测电路22配合检测机16自动侦测探针24a、24b是否已经确实接触待测物的接点20a、20b，并通过判读针压检测单元28的跨电压数值是否下降或到达预先设定的一阈值而停止升降载台12的动作，确保探针24a、24b以适当的针压电性抵接待测物，以利后续的测试作业进行。本实用新型所提供的点测系统与习用的点测设备相比，因不需设置机械式寻边器来确保针压，故整体结构较为简单，并可省去习用点测设备需要定时或不定时调整寻边器的作业时间，而且，应用于本实用新型的点测系统的探针，可使用简单的夹具夹持，使积分球可较为接近待测物的发光区，以获得较为准确的测量结果。另一方面，在上述公开的实施例中，本实用新型的点测系统为应用于一般LED模块只需一对探针进行点测作业的情形，然而，本实用新型所提供的点测系统也可应用于需使用多对探针的点测作业中，例如应用于待测物包含有多个芯片的晶圆的点测作业中，或者应用于单一电性接点需要一对探针进行点测作业的高功率发光二极管芯片的点测作业中。详而言之，在多芯片的晶圆点测作业中，可使用包含有多对探针的探针卡进行点测作业，此时每一对探针可电性耦接至一单独的针压检测单元，并通过检测机撷取并判断各个针压检测单元的跨电压数值是否全部下降或到达所设定的阈值，来确认每一对探针是否已经以预定的针压确实接触各个对应芯片的电性接点，再进行测试作业。有关此部分的具体技术内容，可参照图6所示的本实用新型第二较佳实施例所揭示的点测系统10’，在此实施例中，是以包含有四对探针的针压检测模块14’为例，当然，取决于待测物的型态，探针的数量可以更少或更多。如图6所示，点测系统10’的针压检测电路22’包含有一共享的直流电源26以及四组并联的针压 检测单元28a 28d，每组针压检测单元同样具有并联的一电阻(R21 R24)与一分别可与二探针(24a 24h)电性耦接的探针连接线路(301 304)，且四组针压检测单元28a 28d分别电连接于点测机16的信号转换器32，如此一来，信号转换器32可同时监测各针压检测单元28a 28d的跨电压，并通 过判断各针压检测单元28a 28d的跨电压数值是否下降或全部到达所设定的阈值，来决定是否停止升降载台12动作，如此，可确保每一对探针以适当的针压接触各个对应芯片的电性接点，以利后续测试作业的进行。由于此实施例的点测系统10’的整个作业流程与第一较佳实施例所揭示的作业流程类同，差异仅在于在此实施例中必须确认每一针压检测单元28a 28d的跨电压数值都下降或到达所设定的阈值才停止升降载台12的动作，因此，有关具有多对探针的点测系统的详细作业流程，容申请人在此不予赘述。其次，就高功率发光二极管芯片而言，正、负电极大多设计为大面积的接触电极以降低欧姆接触电阻承受大电流功率，同理，芯片封装模块也大多有大面积的电性接点与正、负电极电性导通；因此就高功率LED芯片的点测作业而言，如图7A至图7C所示，通常是以一对探针(第一探针24a与第二探针24b)同时接触高功率LED芯片(待测物20)的其中的一电性接点20a，而另一对探针(第三探针24c与第四探针24d)同时接触高功率LED芯片20的另一电性接点20b。在应用于此点测作业时，本实用新型所提供的点测系统可具体实施如下。如图7A至图7C所示，本实用新型第三较佳实施例所提供的点测系统10”同样包含有一用于承载待测物20的升降载台12、一针压检测模块14”、一检测机16以及一测试机18。针压检测模块14”具有一针压检测电路22”以及对应于待测物上方的第一至第四探针24a 24d，针压检测电路22”具有一直流电源26以及与直流电源26电连接的一第一针压检测单元28a与一第二针压检测单元28b。第一针压检测单元28a包含有一第一电阻R21以及与第一电阻R21并联的一第一探针连接线路301，第一探针连接线路301具有一第一接点30a与一第二接点30b,用于分别电性稱接第一与第二探针24a与24b。同样地,第二针压检测单元28b包含有一第二电阻R22以及与第二电阻R22并联的一第二探针连接线路302，第二探针连接线路302具有一第三接点30c与一第四接点30d，用于分别电性耦接第三与第四探针24c与24d。其次，针压检测电路22”还包含有一与直流电源26电连接并与第一针压检测单元28a串联的电阻R11，以及一与直流电源26电连接并与第二针压检测单元28b串联的另一电阻R12。检测机16实质上与第一较佳实施例所公开的相同，即主要具有一信号转换器32、一升降控制器34以及一接口控制器36。其差异在于信号转换器32电连接于针压检测电路22的方式，使得信号转换器32可同时撷取并判读第一与第二针压检测单元28a与28b的跨电压。而测试机18与第一实施例所公开的实质上相同，均具有一与检测机16的接口控制器36电连接的接口控制器38，以及一与接口控制器38电连接的测试单元40。但测试单元40的测试电路42具有并联的二个第一接点42a、42b，用于分别电性耦接第一与第二探针24a与24b，以及并联的二个第二接点42c、42d，用于分别电性耦接第三与第四探针24c与24d。此外，通过设置于针压检测电路22”中的一第一至第四开关SWl SW4，使得第一至第四探针24a 24d可切换地分别与针压检测电路22”的第一至第四接点30a 30d同步率禹接，或者与测试单元40的第一至第二接点42a 42d同步电性稱接。如此一来，本实用新型第三较佳实施例所提供的点测系统10”便可应用于高功率发光二极管芯片的点测作业中。当然，本实用新型所提供的针压检测电路，也可应用于待测物的一接点同时点触有一第一与一第二探针，而另一接点只点触有一第三探针的点测作业情形，此时第一、二探针之间可电连接一组针压检测电路，而第三探针与第一与第二探针之间，可以按实际针压设定的需要与否，而连接或不连接另一组针压检测电路。综上所述，本实用新型所提供的点测系统具有用于检测针压的针压检测电路，以确保探针能以适当的针压电性抵接待测物。本实用新型所提供的检测系统省去习用机械式寻边器的设计，故整体结构较为简单，可加速整体点测作业时间，并可使积分球尽量贴近光电待测物的发光区，以获得较为准确的测量结果。 最后，必须再次说明，在上述实施例中，是以信号转换器32与升降控制器34设置在检测机16中，以及测试单元40设置在测试机18中的方式来实现本实用新型的点测系统，然而，前述各构件的设置位置并无特别的限制，甚至，检测机与测试机也可整合为一体。换言之，本实用新型在前述实施例中所揭示的构成元件，仅为举例说明，并非用来限制本案的专利范围，其他等效元件的替代或变化，也应被本案的专利保护范围所涵盖。
权利要求1.一种点测系统，其特征在于包含有 一升降载台，用于承载一待测物； 一针压检测模块，具有一针压检测电路以及对应于所述待测物上方的一第一与一第二探针，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有一第一与一第二接点，用于分别电性耦接所述第一与第二探针； 一升降控制器，与所述升降载台电连接，用于控制所述升降载台的动作，使待测物能与所述第一与第二探针接触而彼此电连接，或者使待测物能与所述第一与第二探针分离而彼此电性绝缘； 一信号转换器，与所述针压检测电路电连接，以撷取所述针压检测单元的跨电压，并通过判断所述跨电压的数值使所述升降控制器控制所述升降载台的动作； 一测试电路，用于电连接所述第一与第二探针。
2.如权利要求I所述的点测系统，其特征在于所述针压检测电路还包含有一与所述电源电连接并与所述针压检测单元串联的分压元件。
3.如权利要求2所述的点测系统，其特征在于所述分压元件的电阻值小于所述针压检测单元的升压元件的电阻值。
4.如权利要求I所述的点测系统，其特征在于所述针压检测电路还包含有一第一开关以及一第二开关，所述第一开关用于使所述第一探针能切换地与所述探针连接线路的第一接点或所述测试电路的一第一接点电性耦接；所述第二开关用于使所述第二探针能切换地与所述探针连接线路的第二接点或所述测试电路的一第二接点电性耦接。
5.如权利要求I所述的点测系统，其特征在于还包含有一切换装置，用于当所述信号转换器所撷取的跨电压下降到达一预定的阈值时，将与所述探针连接电路的第一与第二接点分别电性耦接的第一与第二探针，切换至分别与所述测试电路的一第一接点与一第二接点电性耦接。
6.如权利要求5所述的点测系统，其特征在于所述切换装置包含有 一第一开关，一端与所述第一探针电连接，另一端能切换至与所述探针连接线路的第一接点或所述测试电路的第一接点电连接； 一第二开关，一端与所述第二探针电连接，另一端能切换至与所述探针连接线路的第二接点或所述测试电路的第二接点电连接。
7.一种点测系统，其特征在于包含有 一升降载台，用于承载一待测物； 一针压检测模块，具有一针压检测电路以及对应于所述待测物上方的第一至第四探针，所述针压检测电路具有一电源以及与所述电源电连接的一第一与一第二针压检测单元，所述第一针压检测单元包含有一第一升压元件以及与所述第一升压元件并联的一第一探针连接线路，所述第一探针连接线路具有一第一与一第二接点，用于分别电性耦接所述第一与第二探针；所述第二针压检测单元包含有一第二升压元件以及与所述第二升压元件并联的一第二探针连接线路，所述第二探针连接线路具有一第三与一第四接点，用于分别电性耦接所述第三与第四探针； 一升降控制器，与所述升降载台电连接，用于控制所述升降载台的动作，使待测物能与所述第一至第四探针接触而彼此电连接，或者使待测物能与所述第一至第四探针分离而彼此电性绝缘； 一信号转换器，与所述针压检测电路电连接，用于撷取所述第一与第二针压检测单元的跨电压，并通过判断各所述跨电压的数值，使所述升降控制器控制所述升降载台的动作； 一测试电路，用于电连接所述第一至四探针。
8.如权利要求7所述的点测系统，其特征在于所述针压检测电路还包含有一与所述电源电连接并与所述第一针压检测单元串联的分压元件，以及一与所述电源电连接并与所述第二针压检测单元串联的另一分压元件。
9.如权利要求7所述的点测系统，其特征在于所述针压检测电路还包含有一第一至第四开关，其中所述第一开关用于使所述第一探针能切换地与所述第一探针连接线路的第一接点或所述测试电路的一第一接点电性耦接； 所述第二开关用于以使所述第二探针能切换地与所述第一探针连接线路的第二接点或所述测试电路的另一第一接点电性耦接； 所述第三开关用于使所述第三探针能切换地与所述第二探针连接线路的第三接点或所述测试电路的一第二接点电性耦接； 所述第四开关用于使所述第四探针能切换地与所述第二探针连接线路的第四接点或所述测试电路的另一第二接点电性耦接。
10.如权利要求7所述的点测系统，其特征在于承载于所述升降载台的待测物为一芯片，所述芯片包含有二电性接点，所述第一与第二探针用于接触并电连接所述芯片的其中的一电性接点，所述第三与第四探针用于接触并电连接所述芯片的另一电性接点。
11.如权利要求10所述的点测系统，其特征在于所述第一至第四探针设置于一探针卡。
12.—种针压检测电路，其特征在于包含有 一电源； 一与所述电源电连接的针压检测单元，所述针压检测单元包含有一升压元件以及与所述升压元件并联的一探针连接线路，所述探针连接线路具有一第一接点与一第二接点，用于分别电性耦接一第一探针与一第二探针。
13.如权利要求12所述的针压检测电路，其特征在于还包含有一与所述电源电连接并与所述针压检测单元串联的分压元件。
14.如权利要求12所述的针压检测电路，其特征在于还包含有一第一开关以及一第二开关，所述第一开关的一端与所述第一探针电连接，另一端能切换至与所述第一接点电连接；所述第二开关的一端与所述第二探针电连接，另一端能切换至与所述第二接点电连接。
15.如权利要求12所述的针压检测电路，其特征在于所述针压检测单元的二端电连接至一用于读取所述针压检测单元的跨电压的模拟/数字信号转换器。
16.如权利要求12所述的针压检测电路，其特征在于所述第一与第二探针用于分别点触于一芯片的二电性接点。
17.如权利要求12所述的针压检测电路，其特征在于所述第一与第二探针用于同时点触于一芯片的一电性接点。
专利摘要本实用新型涉及一种针压检测电路以及使用该电路的点测系统，该点测系统包含有一用于承载一待测物的升降载台，以及一针压检测电路。针压检测电路具有一包含有一升压元件以及一与升压元件并联的探针连接线路的针压检测单元，探针连接线路具有二接点，用于分别电性耦接用于点测待测物的二探针。通过撷取并判断针压检测单元的跨电压的数值来控制升降载台的动作，可使待测物接触或离开各探针，如此，可确保探针以适当的针压与待测物确实电性接触而进行测试作业。
文档编号G01R31/26GK202649398SQ201220252688
公开日2013年1月2日 申请日期2012年5月31日 优先权日2011年11月11日
发明者范维如, 刘永钦, 洪嘉宏, 陈兴洲 申请人:旺矽科技股份有限公司