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专利名称：一种移动式单晶炉检漏装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及设备检测技术领域，更具体地说，涉及一种移动式单晶炉检漏装置。
背景技术：
单晶炉是生产单晶硅的重要设备，通过在惰性气体环境中利用石墨加热器将多晶硅熔化，利用直拉法生长无错位单晶硅。单晶炉在抽空检漏过程中有时会出现单晶炉漏气现象，为了能够准确找到单晶炉的漏气点，在检漏过程中经常会用到氦气检漏装置。氦气检漏装置由氦气检漏仪和氦气瓶组成。由于氦气检漏仪和氦气瓶的重量均较大，同时，氦气检漏仪的长方体外形，而氦气瓶为圆柱体外形，二者不同的外形给共同运输带来不便。由以上所述，如何提供一种移动式单晶炉检漏装置，以实现解决现有检漏装置运输和使用不便的问题，成为本领域技术人员亟需解决的技术问题。

实用新型内容有鉴于此，本实用新型提供一种移动式单晶炉检漏装置，以实现解决现有检漏装置运输和使用不便的问题。为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案—种移动式单晶炉检漏装置，包括氦气检漏仪和氦气瓶，还包括检漏小车，检漏小车包括底架、与底架固定相连的车轮和与底架固定相连的氦气瓶固定架；氦气检漏仪设置在底架上，氦气瓶通过氦气瓶固定架与检漏小车固定相连。优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，底架包括由方管焊接而成的矩形边框、与矩形边框焊接相连的车把和铺设在矩形边框上的载重板。优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，四个车轮分别设置在矩形边框的直角处。优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，车轮为能够锁死的树脂车轮。优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，车轮包括两个定向轮和两个万向轮。优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，氦气瓶固定架包括垂直于载重板并与载重板固定相连的支撑杆、与载重板呈45度夹角并与支撑杆固定相连的导向杆、与导向杆固定相连的弧形连接板和固定设置在导向杆底部的挡板。优选地，在上述的移动式单晶炉检漏装置中，支撑杆和导向杆为方管，连接板和挡板为厚度2mm的铁板。本实用新型提供了一种移动式单晶炉检漏装置，该单晶炉检漏装置包括氦气检漏仪、氦气瓶和检漏小车，其中，检漏小车包括底架、与底架固定相连的车轮和与底架固定相连的氦气瓶固定架。氦气检漏仪设置在底架上，氦气瓶通过氦气瓶固定架固定设置在底架上。与现有的检漏装置相比，本实用新型所提供的单晶炉检漏装置将氦气检漏仪和氦气瓶固定设置在检漏小车上，在使用时，通过检漏小车可以方便地将整套单晶炉检漏装置移动到待检测单晶炉旁，提高了工作效率，解决了现有检漏装置运输和使用不便的问题。

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本实用新型实施例提供的单晶炉检漏装置的右视图；图2为本实用新型实施例提供的单晶炉检漏装置的正视图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。本实用新型实施例公开了一种移动式单晶炉检漏装置，以实现解决现有检漏装置运输和使用不便的问题。本实用新型所提供的移动式单晶炉检漏装置包括氦气检漏仪、氦气瓶和检漏小车。如图1所示，检漏小车包括底架1、与底架I固定相连的车轮2和与底架I固定相连的氦气瓶固定架3。其中，底架I包括由方管焊接而成的矩形边框11、与矩形边框11焊接固定相连的车把12和铺设在矩形边框11上的载重板13 ;车轮2包括设置在矩形边框11上车把12 —侧的两个万向轮21和设置在矩形边框11上车把12对侧的两个定向轮22 ;氦气瓶固定架3包括垂直于载重板13并与其固定相连的支撑杆31、与载重板13呈45度夹角设置并与支撑杆31固定相连的导向杆32、与支撑杆31固定相连的弧形连接板33和固定设置在导向杆32底部的挡板34。氦气检漏仪设置在检漏小车的载重板13上，氦气瓶通过氦气瓶固定架3与载重板13固定相连。本领域技术人员可以想到，在本实用新型实施例所提供的氦气检漏装置中，氦气瓶固定架3设置在检漏小车的一侧，氦气瓶固定架3中的弧形连接板33为能够贴合氦气瓶圆柱形表面的弧形连接板；氦气检漏仪设置在检漏小车的另一侧。在使用本实用新型所提供的单晶炉检漏装置时，利用检漏小车将整套装置移动到待检测的单晶炉旁，与现有的检漏装置相比，本实用新型实施例所提供的单晶炉检漏装置提高了检漏工作的效率，解决了现有检漏装置运输和使用不便的问题。在上述实施例的基础上，为了进一步提高单晶炉检漏装置的稳定性，检漏小车的车轮选用可以锁死的树脂车轮。树脂车轮具有一定的弹性，能够在较颠簸的地面上平稳移动；可以锁死的车轮可以保证在锁死车轮后，检漏小车不会发生滑动，提高了本实用新型实施例所提供的单晶炉检漏装置的稳定性。优选地，上述的支撑杆和导向杆为方管，连接板和挡板为厚度2mm的铁板。方管和铁板均为常见的原料，使用方管和铁板可以降低本实用新型实施例所提供的单晶炉检漏装置的成本。本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本实用新型。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本实用新型的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本实用新型将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。
权利要求1.一种移动式单晶炉检漏装置，包括氦气检漏仪和氦气瓶，其特征在于，还包括检漏小车，所述检漏小车包括底架(I)、与所述底架(I)固定相连的车轮(2)和与所述底架(I)固定相连的氦气瓶固定架(3)； 所述氦气检漏仪设置在所述底架(I)上，所述氦气瓶通过所述氦气瓶固定架(3)与所述检漏小车固定相连。
2.根据权利要求1所述的移动式单晶炉检漏装置，其特征在于，所述底架(I)包括由方管焊接而成的矩形边框(11 )、与所述矩形边框(11)焊接相连的车把(12 )和铺设在所述矩形边框(11)上的载重板(13)。
3.根据权利要求2所述的移动式单晶炉检漏装置，其特征在于，四个所述车轮(2)分别设置在所述矩形边框(11)的直角处。
4.根据权利要求3所述的移动式单晶炉检漏装置，其特征在于，所述车轮(2)为能够锁死的树脂车轮。
5.根据权利要求4所述的移动式单晶炉检漏装置，其特征在于，所述车轮(2)包括两个定向轮(22)和两个万向轮(21)。
6.根据权利要求1所述的移动式单晶炉检漏装置，其特征在于，所述氦气瓶固定架(3)包括垂直于所述载重板(13)并与所述载重板(13)固定相连的支撑杆(31)、与所述载重板(13)呈45度夹角并与所述支撑杆(31)固定相连的导向杆(32)、与所述导向杆(32)固定相连的弧形连接板(33)和固定设置在所述导向杆(32)底部的挡板(34)。
7.根据权利要求6所述的移动式单晶炉检漏装置，其特征在于，所述支撑杆(31)和所述导向杆(32)为方管，所述连接板(33)和所述挡板(34)为厚度2mm的铁板。
专利摘要本实用新型公开了一种移动式单晶炉检漏装置，该单晶炉检漏装置包括氦气检漏仪、氦气瓶和检漏小车，其中，检漏小车包括底架、与底架固定相连的车轮和与底架固定相连的氦气瓶固定架。氦气检漏仪设置在底架上，氦气瓶通过氦气瓶固定架固定设置在底架上。与现有的检漏装置相比，本实用新型所提供的单晶炉检漏装置将氦气检漏仪和氦气瓶固定设置在检漏小车上，在使用时，利用检漏小车可以方便地将整套单晶炉检漏装置移动到待检测单晶炉旁，提高了工作效率，解决了现有检漏装置运输和使用不便的问题。
文档编号G01M3/02GK202836886SQ20122016025
公开日2013年3月27日 申请日期2012年4月16日 优先权日2012年4月16日
发明者陈甲子, 白剑铭, 田佳鑫 申请人:英利能源(中国)有限公司