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角度检测装置的制作方法

时间:2025-03-31    作者: 管理员

专利名称:角度检测装置的制作方法
技术领域
本发明涉及采用霍尔元件的角度检测装置。
背景技术
在采用霍尔元件的角度传感器中,基 本如图5所示,在由磁铁产生的均匀的磁通量密度B的磁场内设置霍尔元件1,供给规定的电流I,求解输出V,由此,计算磁通量方向和霍尔元件I所形成的角度0。在这种情况下,在霍尔元件I的霍尔系数为K、厚度为d、供给电流为I、磁通量密度为B的基础上,霍尔元件I的输出V通过下式获得。V = (K/d) I B sin 0. . . (I)另外,在专利文献I中公开有采用两个霍尔元件,检知旋转角的旋转角度检测器。现有技术文献专利文献专利文献I JP特开昭62-95402号文献

发明内容
一般来讲,霍尔元件,存在因周围的温度变化等,霍尔系数K等会发生变化,输出V会改变的危险。为此,为了求解下确的角度e,优选采用设置温度检测传感器等来进行温度修正运算。但是,在专利文献I的旋转角度检测器中,可采用两个霍尔元件在某种程度上抵消霍尔系数的温度的影响。该专利文献I的旋转角度检测器的目的在于普通的宽范围的角度检测,针对微小角度的检测,无法以良好的精度进行测定。在该专利文献I中,在应测定的角度0为0附近,一个霍尔元件的角度检测面的朝向为0°方向,另一霍尔元件的朝向为90°方向。在这样的角度传感器中,测定角在0°或90°附近,两个霍尔元件的条件大大不同,所以测定精度差。另外,在专利文献I中,根据两个霍尔元件的输出之比进行测定,但是,在两个输出有大大不同的情况下,这些输出中包括的误差的影响在测定值中较大地呈现出来。本发明的目的在于消除上述问题,提供一种角度检测装置,其采用两个霍尔元件,在测定范围中,使两个霍尔元件的条件一致,进而,根据输出的差分进行计算,由此,进行微小角度的高精度的检测。用于实现上述目的的本发明的角度检测装置,在磁通量密度均匀的磁场内配置霍尔元件,通过该霍尔元件来检测角度0,其特征在于,该角度检测装置具有 第I、第2传感器,沿相对与上述磁通量方向平行的中线以角度+0倾斜的+0轴和-0轴而分别设置的由霍尔元件构成;检测电路,在相对上述磁通量方向上述中线相对倾斜角度9的情况下,求解上述第I、第2传感器的输出Va、Vb ;运算电路,根据该检测电路的输出对tan 0 =tan 4) (Va-Vb) / (Va+Vb)进行运算,求解角度0。利用本发明的角度检测装置,能够采用两个霍尔元件,去除受到温度变化造成的影响的因素,通过霍尔元件的输出的差分来求解角度,特别是能够较优地实施微小的角度测定。


图I为实施例的结构图。图2为放大图。
图3为电路结构图。图4为原理性的说明图。图5为采用霍尔元件的角度传感器的基本结构图。附图标记说明11 :磁铁保持体;12 :轴杆;13a、13b :磁铁;14 :V形槽;15a :第I传感器;15b 第2传感器;16a、16b :检测电路;17 :运算电路;18 :显不电路;19 :电流供给电路。
具体实施例方式根据图I 图4所示的实旋例,详细说明本发明。在实施例的角度检测装置中,如图I所示,相对周围的固定的磁铁保持体11,测定中心的轴杆12的旋转角0,例如,轴杆12将液面计的浮子的上下运动作为微小的旋转角度的位移而进行检测。在由导磁性材料形成的磁铁保持体11中,安装一对磁铁13a、13b,并在磁铁13a、13b之间形成基于从N极朝向S极的平行磁通量的均匀磁场。在轴杆12上开设V形槽14,如图2的放大图所示,轴杆12的V形槽14的两条斜边,以中线N为中心,在其两侧,按照角度土小(小在90°以下,优选为10° 15° )倾斜。在V形槽14的两条斜边上,分别经由衬底或直接地安装有由霍尔元件构成的第I传感器15a、第2传感器15b。在第I、第2传感器15a、15b中,将使作为磁通量检测面的平面平行于V形槽14的斜边,例如,与未图示的传感器电路衬底一起粘接。沿该+0轴、-0轴分别配置第I传感器15a、第2传感器15b的磁通量检测面。另外,使中线N与磁通量平行的情况下轴杆12的角度9变为O。另外,磁铁保持体11和轴杆12的关系也可是相对的,磁铁保持体11旋转,轴杆12固定。图3为电路结构图,经由搭载于第I传感器15a、第2传感器15b的衬底上的传感器电路的输出Va、Vb分别经由检测电路16a、16b,与运算电路17连接,进一步与显示电路18连接。另外,从电流供给电路19向第I传感器15a、第2传感器15b的传感器电路供给定电流I。图4为原理性的说明图,如果在磁通量密度B均匀的磁场内,使轴杆12如图4所示,按照小于角度$的角度9旋转,则在Ka、Kb表示相应的霍尔系数,da、db表示厚度,I表不供给电流,B表不磁通量密度时,则根据⑴式,对于第I、第2传感器15a、15b的输出Va、Vb,分别由下述的(2)、(3)式表示。Va = (Ka/da) I B sin ((J) + 0 ). . . (2)
Vb = (Kb/db) I B sin ( - 9 ). . . (3)如果在该⑵、⑶式中,代入sin ( a 土 @ ) = sin a cos ^ ±cos a sin ^的三角公式,则获得下述的(2)’、(3)’。Va = (Ka/da) I B (sin cos 0 +cos sin 0 ) (2),Vb = (Kb/db) I B (sin cos 0 —cos sin 0 )…(3),在这里,如果求解输出Va、Vb的差Va_Vb,则形成下面的(4)式,如果求解输出Va、Vb的和Va+Vb,则形成下述的式(5)。Va-Vb = 2 (Ka/da) I B cos sin 0... (4)Va+Vb = 2 (Kb/db) I B sin cos 0. . . (5)如果霍尔元件为相同种类,则通常Ka = Kb, da = db。但是,霍尔系数Ka、Kb、厚度da、db严格地说稍有不同,即使在轴杆12的中线N与磁通量方向一致的0 = 0的情况下,也有Va古Vb。在这种情况下,在0 = 0的状态,即,零点调整中,求解第I传感器15a和第2传感器15b的输出Va、Vb,按照Va = Vb的方式对常数进行修正,进行正规化处理。如果这样对输出Va、Vb进行正规化处理,求解(Va-Vb) / (Va+Vb),则获得下述的
(6)、(7)式。(Va-Vb) / (Va+Vb) = (cos sin 0)/ (sin cos 0 )= tan 0 /tan. . . (6)... tan 0 = tan (Va-Vb) / (Va+Vb)... (7)这样,在(7)式中,第I、第2传感器15a、15b的霍尔系数Ka、Kb、厚度da、db、供给电流I、磁通量密度B相抵消。但是,即使对输出Va、Vb进行正规化处理,也有时霍尔系数Ka、Kb由于温度而改变,该影响还波及(7)式的测定值。由此,如果调查各自的霍尔元件的温度特性,选择并采用温度系数近似的、成对的霍尔元件,则可进一步减少第I、第2传感器15a、15b的温度变化造成的影响。此外,由于tanct为常数,故基于输出Va、Vb的(7)式的运算获得tan 9,能够根据三角函数表等求解角度0。另外,如果角度0为足够微小的角,由于sin0N0、COS0N1,故有tan 0 = 0,根据(7)式而得到下述的(7)’。9 = tan (Va-Vb) / (Va+Vb)... (7),另外,在第I、第2传感器15a、15b的输出Va、Vb中,有时与⑵”、(3)”式那样的 磁通量密度无关、与供给电流I有关的偏置电压0a、0b重叠。Va = (Ka/d) I B sin (¢+9) +Oa (2) ”Vb = (Kb/d) I B sin ( - 9 ) +Ob…(3) ”在这种情况下,在去除磁铁13a、13b的磁通量密度为0的无磁场状态下,通过将电流I供给到第I、第2传感器15a、15b,能够求解偏置电压0a、0b。因此,预先从预输出Na、Vb中扣除该偏置电压0a、Ob即可。
权利要求
1.一种角度检测装置,在磁通量密度均匀的磁场内配置霍尔元件,通过该霍尔元件来检测角度e,其特征在于,该角度检测装置具有第I、第2传感器,沿相对与上述磁通量方向平行的中线以角度±0倾斜的+0轴和-0轴而分别设置的由霍尔元件构成;检测电路,在相对上述磁通量方向上述中线相对倾斜角度e的情况下,求解上述第I、第2传感器的输出Va、Vb ;运算电路,根据该检测电路的输出对tan 0 = tan (Va-Vb) / (Va+Vb)进行运算,求解角度9。
2.根据权利要求I所述的角度检测装置,其特征在于,上述+0轴、-0轴为V形槽的两条斜边。
3.根据权利要求I或2所述的角度检测装置,其特征在于,在上述角度0为微小角的情况下,设tan0_0。
4.根据权利要求I 3中任何一项所述的角度检测装置,其特征在于,在上述中线与上述磁通量方向一致的Q = O的状态,按照上述输出Va、Vb为Va = Vb的方式进行零点调MiF. O
5.根据权利要求I 4中任何一项所述的角度检测装置,其特征在于,在无磁场状态,按照上述输出Va、Vb为Va = Vb = O的方式对输出Va、Vb中包含的偏置电压进行修正。
全文摘要
本发明的角度检测装置的目的在于通过运算,去除受到温度变化造成的影响的因素,实施正确的角度测定。轴杆(12)的V形槽(14)的两条斜边在以中线N为中心的两侧,按照角度±φ倾斜,在两条斜边上,安装霍尔元件的传感器(15a,15b)。在均匀的磁通量密度B的磁场内,如果按照角度θ使轴杆(12)旋转,则对于传感器(15a,15b)的输出Va、Vb,在Ka、Kb表示霍尔系数、da、db表示厚度、I表示供给电流时,Va=(Ka/da)·I·B·sin(φ+θ)=(Ka/da)·I·B·(sinφ·cosθ+cosφ·sinθ),Vb=(Kb/d)·I·B·sin(φ-θ)=(Kb/db)·I·B·(sinφ·cosθ-cosφ·sinθ)。(Va-Vb)/(Va+Vb)=(cosφ·sinθ)/(sinφ·cosθ)=tanθ/tanφ,tanθ=tanφ·(Va-Vb)/(Va+Vb),可在与Ka、Kb、da、db、I、B无关的情况下求出tanθ。
文档编号G01D3/036GK102735159SQ201110198670
公开日2012年10月17日 申请日期2011年7月13日 优先权日2011年4月4日
发明者上月健次, 嘉山长兴, 荒井由太郎 申请人:东京计装株式会社

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