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基板检测装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种基板检测装置，包括：光源单元，用于向待检测的基板发射检测光；光线检测器，设置在待检测基板的出射光线侧，用于检测出射光线的光强；分析单元，与所述光线检测器相连接，用于根据出射光线的光强，来确定所述待检测基板是否破损。本实施例的基板检测装置通过向待检测基板发射检测光，分析经过基板的出射光线的光强来确定基板是否破损，相比较于现有技术而言，提高了检测的准确率。
【专利说明】基板检测装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及基板的检测领域，具体是涉及一种基板检测装置。
【背景技术】
[0002]薄膜晶体管液晶显示器(TFT-1XD)是目前最为流行的显示器件，随着TFT-1XD的成熟，所需的玻璃也日益轻薄。但玻璃轻薄容易造成破损，对设备的稼动率以及工艺影响极大。因此设计检测玻璃破损的装置是有必要的。
[0003]目前，检测破损的设备主要有两种，一是EGIS (image Inspection System),主要是对玻璃边缘进行拍照，然后对拍的照片进行分析得出玻璃是否破损。该装置的缺点是只能对玻璃边缘破损进行检测，且误检率很高；二是通过几个光感器联动检测玻璃边缘是否破损，该装置缺点是也只能对玻璃边缘破损进行检测，误检率很高，并且经常会由于主设备其他异常，造成误检，从而造成后续玻璃基板的工艺不良。
实用新型内容
[0004]为了解决现有的基板检测装置的误检率高，结构复杂，本实用新型提供了一种基板检测装置。
[0005]本实用新型采用的技术方案是:一种基板检测装置，包括:
[0006]光源单元，用于向待检测的基板发射检测光；
[0007]光线检测器，设置在待检测基板的出射光线侧，用于检测出射光线的光强；
[0008]分析单元，与所述光线检测器相连接，用于根据出射光线的光强来确定所述待检测基板是否破损。
[0009]优选地，还包括至少一个设置在待检测基板和光线检测器之间的透镜，所述透镜用于对接收的光线进行聚焦。
[0010]优选地，所述透镜均匀分布在待检测基板的出射光线侧。
[0011]优选地，所述光线检测器与所述透镜一一对应设置。
[0012]优选地，所述分析单元用于将出射光线的光强值与时间形成曲线，所形成的曲线用于判断所述待检测基板是否破损。
[0013]优选地，所述分析单元用于将所得到的光强值与预定阈值进行比较，并根据比较结果来判断所述待检测基板是否破损。
[0014]优选地，所述分析单元还包括缓存电路，用于将当前的光强值与之前的光强值进行比较，并根据比较结果来判断所述待检测基板是否破损。
[0015]优选地，还包括支架，所述待检测基板放置在支架中部，所述光源单元和光线检测器设置在所述支架的两端。
[0016]优选地，所述支架为可伸缩支架，支架上设有调节器，用于调节支架的伸缩。
[0017]优选地，所述调节器还与光源单元、光线检测器相连接，用于调节光源单元、光线检测器与所述待检测基板之间的距离。[0018]本实用新型的有益效果是:本实用新型的基板检测装置通过向待检测基板发射检测光，分析经过基板的出射光线的光强来确定基板是否破损，相比较于现有技术而言，提高了检测的准确率，结构简单，大大降低了成本。
【专利附图】

【附图说明】
[0019]图1为本实用新型一种实施例的结构示意图；
[0020]图2为本实用新型第二种实施例的结构示意图；
[0021]图3为本实用新型一种实施例检测到的光强-时间变化的曲线；
[0022]图4为本实用新型第二种实施例检测到的光强-时间变化的曲线。
【具体实施方式】
[0023]为使本实用新型要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。
[0024]如图1所示，为本实用新型一种实施例的结构示意图，该实施例的基板检测装置，包括:
[0025]光源单元1，设置在待检测基板3的一侧，用于向待检测基板3发射检测光；
[0026]光线检测器6，设置在待检测基板3的出射光线侧，用于检测出射光线的光强；
[0027]分析单元7，与所述光线检测器6相连接，用于根据出射光线的光强来确定所述待检测基板是否破损。
[0028]本实施例的基板检测装置通过向待检测基板发射检测光，分析经过基板的出射光线的光强来确定基板是否破损，相比较于现有技术而言，提高了检测的准确率。
[0029]本实用新型的进行检测的基板为透明基板，例如可以是玻璃基板、石英基板或者有机基板等。以下是以玻璃基板为例进行说明。
[0030]本实用新型的光源单元I用于产生检测光，可以是各种适合的光源。优选地，该光源单元为产生平行光的光源，例如激光源等。本实用新型的光源设置在基板的一侧，向基板发射平行光，并且满足发射的平行光覆盖基板的表面。
[0031]本实用新型的光线检测器6用于检测透光基板的光线强度，设置在基板出射光线的一侧，可以是各种适合的光强检测传感器，用于对出射光线的光强进行检测。
[0032]本实用新型的分析单元7，用于分析出射光线的光强。该分析单元可以是各种分析光强的处理器，例如单片机、CPU (中央处理器)或者简单的比较电路等等，用于分析出射光线的光强。该分析单元与所述光线检测器6相连接，根据出射光线的光强来确定所述待检测基板是否破损。该分析单元可以预先设定一个光强值，当分析到出射光线的光强处于该预定光强值的阈值范围内时，则判定基板上不存在破损。当分析出出射光线的光强超出该预定光强值的阈值范围内时，贝1J判定基板上存在破损。光强阈值可以预先设定也可以通过对标准基板进行检测而获取。作为替代，所述分析单元设有缓存电路，可以比较当前的光强与之前的光强之间是否有变化，如果存在较大的变化，则判定基板上存在破损。所述缓存电路可以是简单的缓存电路，也可以是移位寄存电路或者存储芯片等。
[0033]如图2所示，为本实用新型第二种实施例的结构示意图，该实施例的基板检测装置与第一种实施例基本相同，其区别是:还包括至少一个设置在待检测基板3和光线检测器6之间的透镜5，所述透镜用于对接收的光线进行聚焦，可以是凸透镜或者凹面镜。本实施例在基板的出射光线处设有透镜，可以将从玻璃基板表面射出的光进行聚焦，由于出射光线进行了聚焦，便于光线检测器进行光强检测。
[0034]再次参阅图2，该实施例的玻璃基板的出射光线上均匀分布六个透镜，在基板的两端分别设有一个，其他四个均匀分布在基板的出射光线侧。该实施例的光线检测器6为六个，分别是第一光线检测器6A、第二光线检测器6B、第三光线检测器6C、第四光线检测器6D、第五光线检测器6E、第六光线检测器6F，每个光线检测器与其中一个透镜相对应。
[0035]图2也给出了光路原理，光源单元I向玻璃基板3射出光线，形成入射光线2，入射光线2进入玻璃基板3，并从玻璃基板3中射出，形成出射光线4，出射光线4经过玻璃基板之后有部分损耗，为此设置了多个凸透镜。在玻璃基板3的出射光线侧设有透镜5，出射光线经过透镜5的聚焦之后进入光线检测器6进行光强的检测。
[0036]本实施例的分析单元7可以通过曲线来显示出射光线的光强值，具体是将检测时间作为横坐标，将六个光线检测器处检测到的光强值作为纵坐标，形成光强值与时间的曲线。根据该曲线可以直观看到待检测基板是否破损。
[0037]本实施例的基板检测装置还包括有一支架，基板3设置在支架上，所述光源单元和光线检测器设置在所述支架的两端。优选地，该支架为可伸缩支架，支架上设有调节器，用于调节支架的伸缩。更优地，该调节器还可以调节光源单元、光线检测器与基板之间的距离。
[0038]如图3所示，为本实用新型一种实施例检测到的光强-时间变化的曲线，对应的光线检测器为6A和6F，其原因为玻璃基板在四个角位置都为切角，造成光线检测器6A和6E在刚开始检测的时候都有一部分光通过切角而被检测。切角的部分对应曲线的OA和BC部分；而曲线AB部分对应的光强是玻璃的非切角部分。
[0039]如图4所以，为本实用新型第二种实施例检测到的光强-时间变化的曲线，对应的光线检测器为6B、6C、6D和6E。由于该4个光线检测器对应的玻璃基板位置均为非切角部分，所以得到的光强随时间变化曲线应为一条平稳的曲线即图4的OC部分。
[0040]上述技术方案通过向待检测基板发射检测光，分析经过基板的出射光线的光强来确定基板是否破损，相比较与现有技术而言，提高了检测的准确率。
[0041]上述的【具体实施方式】仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的技术人员在本方法的启示下，在不脱离本方法宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可以作出很多变形，这些均属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种基板检测装置，其特征在于，包括: 光源单元，用于向待检测的基板发射检测光； 光线检测器，设置在待检测基板的出射光线侧，用于检测出射光线的光强； 分析单元，与所述光线检测器相连接，用于根据出射光线的光强来确定所述待检测基板是否破损。
2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，还包括至少一个设置在待检测基板和光线检测器之间的透镜，所述透镜用于对接收的光线进行聚焦。
3.根据权利要求2所述的基板检测装置，其特征在于，所述透镜均匀分布在待检测基板的出射光线侧。
4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述光线检测器与所述透镜——对应设置。
5.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述分析单元用于将出射光线的光强值与时间形成曲线，所形成的曲线用于判断所述待检测基板是否破损。
6.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述分析单元用于将所得到的光强值与预定阈值进行比较，并根据比较结果来判断所述待检测基板是否破损。
7.根据权利要求6所述的基板检测装置，其特征在于，所述分析单元还包括缓存电路，用于将当前的光强值与之前的光强值进行比较，并根据比较结果来判断所述待检测基板是否破损。
8.根据权利要求1-7任一项所述的基板检测装置，其特征在于，还包括支架，所述待检测基板放置在支架中部，所述光源单元和光线检测器设置在所述支架的两端。
9.根据权利要求8所述的基板检测装置，其特征在于，所述支架为可伸缩支架，支架上设有调节器，用于调节支架的伸缩。
10.根据权利要求9所述的基板检测装置，其特征在于，所述调节器还与光源单元、光线检测器相连接，用于调节光源单元、光线检测器与所述待检测基板之间的距离。
【文档编号】G01N21/958GK203396719SQ201320533042
【公开日】2014年1月15日 申请日期:2013年8月29日 优先权日:2013年8月29日
【发明者】谢少华, 侯智, 吴代吾, 杨子衡, 胡岳林, 王俊 申请人:合肥京东方光电科技有限公司, 京东方科技集团股份有限公司