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专利名称：探针接触电阻在线测量方法
技术领域：
本发明涉及一种集成电路芯片测量方法，具体涉及一种探针接触电阻在线测量方法。
背景技术：
在集成电路的晶片测试中，必须要用到探针卡来作为被测芯片与测试机之间的接 口。通常的测试中，将已知信号输入被测芯片，然后测量该芯片对输入信号的反映，该信号 的路径为在测试机通过电缆到测试头，再通过测试头到探针卡，然后通过探针到被测芯片 的焊盘(PAD)，并按原路径返回。探针卡上的探针直接与被测芯片的焊盘相连接，在现有的 晶片测试中，有其是高温晶片测试，随着针扎次数的增加，探针慢慢被氧化和被沾污，探针 的接触电阻会渐渐变大，探针的接触电阻在很大程度上取决于探针的材料与形状、PAD的材 料、触点的压力，以及探针的磨损和污染的状况等。探针电阻变大，会影响到测试结果的准 确性，一般常用的做法是设定每扎针约几百次就进行清针一次，但是这样操作不但浪费资 源，而且探针越往后使用，其电阻就会越大。为了保证测试的准确性和一致性，需要在每次测试时施加到PAD上的电压、电流 等参数准确一致，也就是说需要保证探针接触电阻的变化越小越好。通常，针卡公司会从探 针的角度出发，寻找一种抗氧化抗沾污能力较强的探针，就目前来讲，这种材料的探针也确 实存在，但是，费用及其昂贵，用这种探针来对一些价格低廉的消费类产品进行测试得不偿 失。

发明内容
为了克服现有技术中存在的测试探针电阻易变化影响测量精度的问题，本发明提 供一种增加测量精度的测量方法。为了实现上述目的，本发明提出一种探针接触电阻在线测量方法，包括以下步骤 探针卡连接被测芯片和测试机，所述探针卡上的测量探针直接与所述被测芯片上的焊盘相 连，所述焊盘上连接第一电线和第二电线，所述第一电线为高阻线，所述第二电线为低阻 线，所述测量探针和所述第二电线相连；增加一测试探针，所述测试探针和所述第一电线相 连；在所述第二电线上施加电压，并测得所述第二电线上的电流值；测量所述第一电线端 的电压值，即为所述测试探针上的电压值；将所述第二电线上施加的电压值与所述测试探 针上的电压值之差除以所述第二电线上的电流值，获得所述测量探针上的电阻；根据所述 电阻计算所述被测芯片的焊盘上的电压修正值；在所述被测芯片的焊盘上施加经修正后的 电压。可选的，所述测量探针和所述测试探针的材料均为铜。可选的，所述电压修正值等于通过所述测量探针的电流乘以所计算得出的测量探 针的电阻。本发明一种探针接触电阻在线测量方法的有益效果主要表现在本发明提供的探针接触电阻在线测量方法在测量过程中，同时测量探针的电阻，并实时修正施加在探针上 的电压，抵消因探针电阻变大而引起的测量误差，从而提高了测量的精度。


图1为本发明探针接触电阻在线测量方法的流程示意图。图2为本发明探针接触电阻在线测量方法的实际应用示意图。
具体实施例方式下面结合附图对本发明做进一步的说明。首先，请参考图1，图1为本发明探针接触电阻在线测量方法的流程示意图，从图 中可以看出，本发明探针接触电阻在线测量方法包括以下步骤步骤20 探针卡连接被测芯片和测试机，所述探针卡上的测量探针直接与所述被 测芯片上的焊盘相连，所述焊盘上连接第一电线和第二电线，所述第一电线为高阻线，所述 第二电线为低阻线，所述测量探针和所述第二电线相连，该步骤为测量的基本步骤；步骤21 增加一测试探针，所述测试探针和所述第一电线相连，该测试探针和测 量探针是属于同一批次的探针，材料也相同，本实施例中采用铜，因为材料相同，批次相同， 因此测试探针和测量探针的电阻也相同；根据所述电阻计算所述被测芯片的焊盘上的电压修正值；在所述被测芯片的焊盘 上施加经修正后的电压。步骤22 在所述第二电线上施加电压，并测得所述第二电线上的电流，测电流一 般是在电路中串联一个电流表，测得的该电流值也就是通过测量探针上的电流值；步骤23 测量所述第一电线端的电压值，即为所述测试探针上的电压值，测电压 值是在测试探针上并联一个电压表，测量测试探针上的电压值，是为了计算电阻；步骤24 将所述第二电线上施加的电压值与所述测试探针上的电压值之差除以 所述第二电线上的电流值，获得所述测量探针上的电阻；步骤25 根据所述电阻计算所述被测芯片的焊盘上的电压修正值，即原先在测量 探针上，会施加一定的电压，通过一定的电流，以作测试，电压修正值等于通过测量探针的 电流乘以所计算得出的测量探针的电阻，修正后的电压等于原先的电压值加上电压修正 值；步骤26 在所述被测芯片的焊盘上施加经修正后的电压。接着，请参考图2，图2为本发明探针接触电阻在线测量方法的实际应用示意图， 图中可以看到，第一电线11和第二电线12均连接于焊盘10上，所述第一电线为高阻线，所 述第二电线为低阻线，测试探针连接于第一电线，测量探针连接于第二电线上。本发明提供的探针接触电阻在线测量方法在测量过程中，同时测量探针的电阻， 并实时修正施加在探针上的电压，抵消因探针电阻变大而引起的测量误差，从而提高了测 量的精度。虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明所属技 术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因 此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求
一种探针接触电阻在线测量方法，包括以下步骤探针卡连接被测芯片和测试机，所述探针卡上的测量探针直接与所述被测芯片上的焊盘相连，所述焊盘上连接第一电线和第二电线，所述第一电线为高阻线，所述第二电线为低阻线，所述测量探针和所述第二电线相连；其特征在于所述测量方法还包括增加一测试探针，所述测试探针和所述第一电线相连；在所述第二电线上施加电压，并测得所述第二电线上的电流值；测量所述第一电线端的电压值，即为所述测试探针上的电压值；将所述第二电线上施加的电压值与所述测试探针上的电压值之差除以所述第二电线上的电流值，获得所述测量探针上的电阻；根据所述电阻计算所述被测芯片的焊盘上的电压修正值；在所述被测芯片的焊盘上施加经修正后的电压。
2.根据权利要求1所述的探针接触电阻在线测量方法，其特征在于所述测量探针和 所述测试探针的材料均为铜。
3.根据权利要求1所述的探针接触电阻在线测量方法，其特征在于所述电压修正值 等于通过所述测量探针的电流乘以所计算得出的测量探针的电阻。
全文摘要
本发明提出一种探针接触电阻在线测量方法，包括以下步骤探针卡连接被测芯片和测试机，探针卡上的测量探针直接与被测芯片上的焊盘相连，焊盘上连接第一电线和第二电线；增加一测试探针，测试探针和第一电线相连；在第二电线上施加电压，并测得第二电线上的电流值；测述第一电线端的电压值，即为测试探针上的电压值；将第二电线上施加的电压值与测试探针上的电压值之差除以第二电线上的电流值，获得测量探针上的电阻；根据电阻计算被测芯片的焊盘上的电压修正值；在被测芯片的焊盘上施加经修正后的电压。本发明提供的测量方法能够实时的测量探针上的电阻从而提供修正后的电压，减少了因探针电阻发生变化而导致测量误差，提高了测量的精度。
文档编号G01R27/08GK101937021SQ20101021648
公开日2011年1月5日 申请日期2010年6月30日 优先权日2010年6月30日
发明者余琨, 刘远华, 叶守银, 张志勇, 汤雪飞, 牛勇, 王锦, 祁建华 申请人:上海华岭集成电路技术有限责任公司