רÀûÃû³Æ£ºÒ»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°ÖõÄÖÆ×÷·½·¨
¼¼ÊõÁìÓò£º
Ò»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öü¼ÊõÁìÓò[0001]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÉæ¼°Ò»ÖÖ·Ö²¼Ê½¹âÏË´«¸Ð×°Öã¬ÌرðÉæ¼°Ò»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏË ²âÎÂ×°Öá£
±³¾°¼¼Êõ£º
[0002]·Ö²¼Ê½¹âÏËζȴ«¸Ð×°ÖÃ(DTS)ÊÇÒ»ÖÖÐÂÐ˵ÄÏßÐÍ»ðÔÖ̽²âϵͳ£¬ËüÀûÓÃ×Ô·¢À ÂüÉ¢ÉäЧӦÒÔ¼°¹âʱÓò·´Éä¼¼Êõ»ñµÃÑØ¹âÏË·Ö²¼µÄʵʱζȲâÁ¿¡£¸Ã×°Öò»½ö¿ÉÒÔʵʱ²â Á¿Î¶ȵĴóС£¬¶øÇÒ¿ÉÒÔ¾«È·¶¨Î»»ðÔÖλÖ㬾ßÓвâÁ¿¾àÀ볤¡¢ÎÞ²âÁ¿Ã¤Çø¡¢¿¹µç´Å¸ÉÈÅ¡¢ÊÊ ºÏÒ×ȼÒ×±¬µÈ¶ñÁÓ»·¾³Ï¹¤×÷µÈÓŵ㣬ÔÚ¹«Â·½»Í¨ËíµÀ¡¢¸ßѹµçÀ¹µ¡¢ÊäúƤ´ø¡¢Ó;®¡¢´ó°Ó µÈÁìÓòÓнϹ㷺ӦÓ᣷ֲ¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°ÖõÄÓ¦Óó¡ºÏ¾ùÊôÓÚÖØ´ó¹Ø¼ü»ù´¡ÉèÊ©£¬¶ÔÎÂ¶È ²âÁ¿×¼È·ÐÔµÄÒªÇó½Ï¸ß£¬²¢ÇÒÐèÒª±£³Ö³¤ÆÚµÄÎȶ¨ÐÔ£¬ÓÈÆäÊÇ´ó°ÓÉøÂ©¼à²âÒÔ¼°³íÓÍÈÈ²É ¾®¾®ÏÂζȲâÁ¿µÈÓ¦ÓöÔζȳ¤ÆÚ²âÁ¿Îȶ¨ÐÔµÄÒªÇó¸ü¸ß¡£[0003]ÀíÂÛÉÏ£¬ÀûÓô«¸Ð¹âÏ˱³ÏòÉ¢ÉäÐźÅÖеķ´Ë¹ÍпË˹Ant1-stokesÐźÅÓë˹ÍÐ¿Ë Ë¹ÐźÅStokesµÄÇ¿¶ÈÖ®±È¼´¿É¹âÏ˸÷µãµÄζÈÖµ¡£ÊÂʵÉÏ£¬ÓÉÓÚ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°ÖÃÖÐµÄ ·Ö¹â¡¢ñîºÏ´æÔÚ²îÒìÒÔ¼°Ñ©±À¹âµç¶þ¼«¹ÜAro¹âµç̽²âÏìÓ¦ÓнϴóÀëÉ¢ÐÔ£¬Òò´Ë£¬ÈçͬҶ×Ú Ë³µÈÈ˵ÄÂÛÎÄÖб¨µÀµÄ×°ÖÃ(Ò¶×Ú˳£¬ÁõÑÞÆ½£¬Áõ¹ûµÈ.·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂϵͳµÄÑÐÖÆ¼° ÆäÓ¦Óã¬Ë®µç³§×Ô¶¯»¯£¬2012£¬Vol. 33£¬No.1, pp. 43-45£¬68)£¬³£¹æµÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲â ÎÂ×°ÖÃÊÇͨ¹ýÔÚÒ»¶ÎÄÚÖõij¤¶ÈΪÊýÊ®Ã×»òÕßÊý°ÙÃ׵IJο¼¹âÏË×÷Ϊ»ù×¼£¬²Î¿¼¹âÏË¿ÉÒÔ ÖÃÓÚζÈÒÑÖªµÄºãκÐÄÚ£¬Ò²¿ÉÒÔÓÃÈÈÃôµç×è¡¢îâµç×èµÈ²âÎÂÔª¼þʵʱ²âµÃ²Î¿¼¹âÏËÖÜΧ µÄζȣ¬¸ù¾Ý²Î¿¼¹âÏ˵ķ´Ë¹ÍпË˹Ant1-stokesÐźÅÓë˹ÍпË˹StokesÐźŵÄÇ¿¶È±È ÒÔ¼°²Î¿¼¹âÏ˵Äζȣ¬¿ÉÒÔÏû³ýÓÉÓڷֹ⡢ñîºÏ²îÒìÒÔ¼°Ñ©±À¹âµç¶þ¼«¹ÜAroÀëÉ¢ÐÔÔì³É µÄ²âÁ¿Îó²î¡£´ËÍ⣬ÊÜÏÞÓÚ·Ö¹âÆ÷µÄ¸ôÀë¶È£¬·´Ë¹ÍпË˹Ant1-stokesÐźÅÒÔ¼°Ë¹ÍпË˹ StokesÐźÅÖн«²»¿É±ÜÃâµØ»ìÈëÒ»¶¨±ÈÀýµÄÈðÀûRayleighÉ¢Éä¹â,»ìÈëµÄÈðÀûRayleigh É¢Éä¹â»áÓ°ÏìζȲâÁ¿Öµ£¬Òò´Ë·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°ÖÃÔÚ³ö³§Ç°»òÕßͶÔËǰÐè½øÐÐÎÂ¶È±ê ¶¨¡£ÔÚ³£ÓõÄ_4(T+300¡ãC·¶Î§ÄÚ£¬·´Ë¹ÍпË˹Ant1-stokesÐźÅÓë˹ÍпË˹StokesÐÅºÅµÄ ±ÈÖµÓëζȳɽüËÆÏßÐÔ¹ØÏµ£¬Òò´Ëζȱ궨¿É²ÉÓÃÁ½µã·¨±ê¶¨½«Ò»¶Î´«¸Ð¹âÏËÏȺóÖÃÓÚ µÍÎÂÇøÓò(ÈçÊÒÎÂ)ºÍ¸ßÎÂÇøÓò(Èç100¡ãCºãÎÂË®²Û)¡£È»ºó£¬ÓÉÓÚ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°ÖÃÖеļ¤ ¹â¶þ¼«¹Ü¡¢·Ö¹âÆ÷¡¢Ñ©±À¹âµç¶þ¼«¹ÜAPDµÈ¹âµçÆ÷¼þÈÝÒ×ÊÜζÈÓ°Ïì»òÕßËæÊ±¼äÖð²½ÀÏ»¯£¬ ´Ó¶øÓ°Ïìζȱ궨ϵÊý£»Èç¹û²»²ÉÈ¡±ØÒªµÄ´ëÊ©£¬·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°ÖõÄζȲâÁ¿»á³öÏÖ Îó²î£¬ÄÑÒÔÂú×㹤ҵ»·¾³³¤ÆÚÔÚÏßÎȶ¨²âÁ¿µÄÒªÇó¡£·¢Ã÷ÄÚÈÝ[0004]ΪÁ˽â¾öÏÖÓм¼ÊõÖеÄÉÏÊö²»×㣬±¾ÊµÓÃÐÂÐÍÌṩÁËÒ»Öֽṹ¼òµ¥µÄʵʱУ׼µÄ ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öã¬ÒÔÏû³ýÒò¹âµçÆ÷¼þÊÜζÈÓ°Ïì»òÕßËæÊ±¼äÖð²½ÀÏ»¯¶øµ¼ÖÂζȱ궨 ϵÊý±ä»¯¶øÔì³ÉµÄ²âÁ¿Îó²î¡£[0005]ΪʵÏÖÉÏÊöÄ¿µÄ£¬±¾ÊµÓÃÐÂÐͲÉÓÃÈçϼ¼Êõ·½°¸Ò»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Ö㬰üÀ¨Âö³å¼¤¹âÔ´¡¢·Ö¹âÆ÷¡¢Ì½²âÆ÷¡¢²Î¿¼¹âÏ˺С¢Ð£×¼¹âÏ˺С¢²âÁ¿¹âÏ˺͵ç·ģ¿é¡£ Âö³å¹âÔ´µÄÊä³ö¶ËÓë·Ö¹âÆ÷µÄÊäÈë¶ËÏàÁ¬£¬·Ö¹âÆ÷µÄµÚÒ»Êä³ö¶ËÒÀ´ÎÓë²Î¿¼¹âÏ˺С¢Ð£×¼ ¹âÏ˺С¢²âÁ¿¹âÏËÏàÁ¬£¬·Ö¹âÆ÷µÄµÚ¶þÊä³ö¶ËºÍµÚÈýÊä³ö¶ËÓë̽²âÆ÷µÄÊäÈë¶ËÏàÁ¬£¬Ì½²âÆ÷ µÄÊä³ö¶ËÓëµç·ģ¿éÏàÁ¬¡£[0006]ËùÊöµÄ²Î¿¼¹âÏ˺кÍУ׼¹âÏ˺оùÅÌÈÆÓÐÒ»¶Î³¤¶ÈΪÊýÊ®Ã×ÖÁÊý°ÙÃ׵ĹâÏË£¬²¢ ÇÒËùÊöµÄ²Î¿¼¹âÏ˺кÍУ׼¹âÏ˺еÄζȲ»Ïàͬ£¬²Î¿¼¹âÏ˺еÄζȴ¦ÓÚ(T45¡ãCµÄµÍÎÂ Çø£¬Ð£×¼¹âÏ˺еÄζȴ¦ÓÚ50¡ãCÒÔÉϵĸßÎÂÇø¡£[0007]ËùÊöµÄÂö³å¹âԴΪÕÂö³å¿í¶È¡¢¸ß·åÖµ¹¦Âʵİ뵼Ì弤¹â¹âÔ´»òÕß¹âÏ˼¤¹â¹â Ô´¡£[0008]ËùÊöµÄ̽²âÆ÷Ϊѩ±À¹âµç¶þ¼«¹ÜAPD£¬ÓÃÓÚ̽²âÆ÷΢ÈõµÄ¹âÏËÉ¢ÉäÐźŷ´Ë¹ÍÐ ¿Ë˹¹âºÍ˹ÍпË˹¹â¡£[0009]ÓÉÓÚÑ©±À¹âµç¶þ¼«¹ÜAPDµÄÀëÉ¢ÐԽϴó£¬Îª¼õСѩ±À¹âµç¶þ¼«¹ÜAPD¡ªÖÂÐÔÎÊÌ⣬ ±¾ÊµÓÃÐÂÐÍ»¹Ìá³öÒ»ÖÖµ¥Ò»Ì½²âÆ÷µÄ½á¹¹¡£ËùÊöµÄ·Ö¹âÆ÷Óë̽²âÆ÷Ö®¼ä»¹ÓÐ1X2¹â¿ª¹Ø£¬ ÆäÖзֹâÆ÷µÄµÚ¶þÊä³ö¶ËºÍµÚÈýÊä³ö¶ËÓë1X2¹â¿ª¹ØµÄÁ½¸öÊäÈë¶ËÏàÁ¬,1X2¹â¿ª¹ØµÄ ÊäÈë¶ËÓë̽²âÆ÷µÄÊäÈë¶ËÏàÁ¬¡£ÕâÑù£¬Í¨¹ý¿ØÖÆ1X2¹â¿ª¹Ø£¬¿ÉÒÔÑ¡ÔñÐÔµØÊ¹·´Ë¹ÍпË˹ ¹â»òÕß˹ÍпË˹¹â½øÈë̽²âÆ÷£¬¼´Í¨¹ý·Öʱ̽²âµÄ·½Ê½ÊµÏÖµ¥Ò»Ì½²âÆ÷¶ÔζÈÃô¸ÐµÄ·´Ë¹ ÍпË˹¹âºÍζȲ»Ãô¸ÐµÄ˹ÍпË˹¹âµÄ̽²â£¬¼õС̽²âÆ÷Ò»ÖÂÐÔµÄÎÊÌ⣬Ìá¸ß·Ö²¼Ê½¹âÏË ²âÎÂ×°Öõij¤ÆÚ²âξ«¶È¡£[0010]ÓëÏÖÓм¼ÊõÏà±È£¬±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÓŵãÔÚÓÚ[0011](I)±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ķֲ¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°ÖÃÀûÓÃÁ½¸öζȲ»Í¬µÄ²Î¿¼¹âÏ˺кÍУ ×¼¹âÏ˺У¬ÆäÖд¦ÓÚµÍÎÂÇøµÄ²Î¿¼¹âÏ˺ÐÓÃÓÚÏû³ýÓÉÓڷֹ⡢ñîºÏ²îÒìÒÔ¼°Ñ©±À¹âµç¶þ¼« ¹ÜAroÀëÉ¢ÐÔÔì³ÉµÄ²âÁ¿Îó²î£¬´¦ÓÚ¸ßÎÂÇøµÄУ׼¹âÏ˺ÐÓÃÓÚʵʱζÈУ׼£¬Ïû³ýÒò¹âµç Æ÷¼þÊÜζÈÓ°Ïì»òÕßËæÊ±¼äÀÏ»¯µ¼ÖµÄζȱ궨ϵÊý±ä»¯ËùÔì³É²âÁ¿Îó²î¡£[0012](2)±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ķֲ¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öýṹ¼òµ¥£¬³É±¾µÍ£¬¿É²Ù×÷ÐÔÇ¿¡£[0013](3)±¾ÊµÓÃÐÂÐÍ»¹Ìá³öÒ»ÖÖÀûÓõ¥Ò»Ì½²âÆ÷µÄ½á¹¹£¬¼õСÁË̽²âÆ÷µÄ²»Ò»ÖÂÐÔÎÊ Ì⣬Ìá¸ßÁ˳¤ÆÚ²âξ«¶È¡£
[0014]ͼ1ÊDZ¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÒ»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öá£[0015]ͼ2ÊDZ¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÒ»ÖÖµ¥Ò»Ì½²âÆ÷µÄʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öá£
¾ßÌåʵʩ·½Ê½
[0016]
ÒÔϽáºÏ¸½Í¼ºÍʵʩÀý£¬¶Ô±¾ÊµÓÃÐÂÐÍ×÷½øÒ»²½Ï꾡ÃèÊö¡£[0017]ʵʩÀý1[0018]Èçͼ1Ëùʾ£¬Ò»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Ö㬰üÀ¨Âö³å¼¤¹âÔ´1¡¢·Ö¹âÆ÷2¡¢ ̽²âÆ÷3¡¢²Î¿¼¹âÏ˺Ð4¡¢Ð£×¼¹âÏ˺Ð5¡¢²âÁ¿¹âÏË6ºÍµç·ģ¿é7¡£Âö³å¹âÔ´IµÄÊä³ö¶ËÓë ·Ö¹âÆ÷2µÄÊäÈë¶ËÏàÁ¬,·Ö¹âÆ÷2µÄµÚÒ»Êä³ö¶ËÒÀ´ÎÓë²Î¿¼¹âÏ˺Ð4¡¢Ð£×¼¹âÏ˺Ð5¡¢²âÁ¿¹â ÏË6ÏàÁ¬,·Ö¹âÆ÷2µÄµÚ¶þÊä³ö¶ËºÍµÚÈýÊä³ö¶ËÓë̽²âÆ÷3µÄÊäÈë¶ËÏàÁ¬,̽²âÆ÷3µÄÊä³ö ¶ËÓëµç·ģ¿é7ÏàÁ¬¡£[0019]ËùÊöµÄÂö³å¹âÔ´IΪÕÂö³å¿í¶È¡¢¸ß·åÖµ¹¦Âʵİ뵼Ì弤¹â¹âÔ´»òÕß¹âÏ˼¤¹â¹â Ô´¡£±¾ÊµÊ©ÀýÓÅÑ¡ÖÐÐIJ¨³¤Îª1550nmµÄ¹âÏ˼¤¹â¹âÔ´£¬Âö³å¿í¶È2 100ns¿Éµ÷£¬·åÖµ¹¦ÂÊ O. 5 100W¿Éµ÷¡£[0020]ËùÊöµÄ·Ö¹âÆ÷2ÓÃÓÚ·ÖÀë¹âÏ˱³ÏòÉ¢ÉäÐźÅ,±¾ÊµÊ©ÀýÃ×ÓÃ1X3ÀÂüWDM·Ö¹â Æ÷£¬ÆäÖÐÊäÈë¶ËΪ1550nm¹â͸Éä,µÚÒ»Êä³ö¶ËΪ¹«¹²¶Ë,µÚ¶þÊä³ö¶ËΪ1450nm¹â͸Éä,µÚÈý Êä³ö¶ËΪ1660nm¹â͸Éä¡£[0021]ËùÊöµÄ²Î¿¼¹âÏ˺Ð4ºÍУ׼¹âÏ˺Ð5¾ùÅÌÈÆÓÐÒ»¶Î¹âÏË£¬¸ù¾Ý²âÁ¿ÐèÒªÅÌÈÆµÄ¹â Ï˳¤¶ÈΪÊýÊ®Ã×ÖÁÊý°ÙÃס£ËùÊöµÄ²Î¿¼¹âÏ˺Ð4µÄζȴ¦ÓÚ(T45¡ãCµÄµÍÎÂÇø£¬¿ÉÒÔ²ÉÓúã οØÖƵķ½Ê½£¬Ò²¿ÉÒÔîâµç×èµÈ²âÎÂÔª¼þʵʱ²âÁ¿µÄ·½Ê½¡£ËùÊöµÄУ׼¹âÏ˺еÄζȴ¦ÓÚ 50¡ãCÒÔÉϵĸßÎÂÇø¡£±¾ÊµÊ©ÀýÖвο¼¹âÏ˺Ð4ÄÚÅÌÈÆÓÐÔ¼50Ã×µÄÂã¹âÏË£¬ºÐÄÚζȲÉÓúã οØÖƵķ½Ê½£¬Î¶ȿØÖÆÔÚ25¡À0. 50C ;У׼¹âÏ˺Ð5ÄÚÅÌÈÆÓÐÔ¼50Ã×µÄÂã¹âÏË£¬ºÐÄÚÎÂ¶È ²ÉÓúãοØÖƵķ½Ê½£¬Î¶ȿØÖÆÔÚ80¡À0. 5¡ãC¡£[0022]ËùÊöµÄ²âÁ¿¹âÏË5¿ÉÒÔÊǵ¥Ä£¹âÏË»òÕß¶àÄ£¹âÏË¡£±¾ÊµÊ©ÀýΪÔö¼Ó±³ÏòÉ¢ÉäÐźŠǿ¶È£¬ÓÅÑ¡GI62. 5/125µÄͨÐŶàÄ£¹âÏË¡£[0023]ËùÊöµÄ̽²âÆ÷3°üÀ¨µÚһ̽²âÆ÷31ºÍµÚ¶þ̽²âÆ÷32£¬·Ö±ðÓë·Ö¹âÆ÷2µÄµÚ¶þÊä³ö ¶ËºÍµÚÈýÊä³ö¶ËÏàÁ¬£¬ÓÃÓÚ̽²â´Ó²âÁ¿¹âÏË6·µ»ØµÄ·´Ë¹ÍпË˹¹âºÍ˹ÍпË˹¹âÐźţ¬ÓÉ ÓÚÐźż«ÎªÎ¢Èõ£¬±¾ÊµÊ©ÀýÓÅÑ¡¾ßÓÐÄÚ²¿ÔöÒæµÄÑ©±À¹âµç¶þ¼«¹ÜInGaAs APD0[0024]ËùÊöµÄµç·ģ¿é7½ÓÊÕµÚһ̽²âÆ÷31ºÍµÚ¶þ̽²âÆ÷32µÄµçÐźš£[0025]Ôڴ˾ßÌåʵʩÀýÖУ¬¸ß¹¦ÂÊ¡¢ÕÂö¿íµÄ¼¤¹âÂö³å¹âÔ´I¾·Ö¹âÆ÷2ºóÒÀ´Î½øÈë²Î¿¼ ¹âÏ˺Ð4¡¢Ð£×¼¹âÏ˺Ð5ºÍ²âÁ¿¹âÏË6£¬´Ó²âÁ¿¹âÏË6·µ»Ø±³ÏòÀÂüÉ¢ÉäÐźÅÔٴξ·Ö¹âÆ÷2 ·ÖÀë³öζÈÃô¸ÐµÄ·´Ë¹ÍпË˹Ant1-stokes¹âºÍζȲ»Ãô¸ÐµÄ˹ÍпË˹Stokes¹â,²¢·Ö±ð ±»µÚһ̽²âÆ÷31ºÍµÚ¶þ̽²âÆ÷32Ëù̽²â¡£²Î¿¼¹âÏ˺Ð4µÄζȴ¦ÓÚÊÒθ½½üµÄµÍÎÂÇø£¬ ÀûÓòο¼¹âÏ˺Ð4×÷Ϊ²Î¿¼µ¥Ôª£¬¼´ÒԲο¼¹âÏ˺Ð4µÄ·´Ë¹ÍпË˹ºÍ˹ÍпË˹µÄÇ¿¶ÈÖ®±È ÒÔ¼°²Î¿¼¹âÏ˺Ð4µÄʵ²âζȣ¬¼ÆËã³öУ׼¹âÏ˺Ð5ÒÔ¼°²âÁ¿¹âÏË6ÉÏÈκÎÒ»µãµÄζÈÖµ£¬ Ïû³ýÓÉÓڷֹ⡢ñîºÏ²îÒìÒÔ¼°Ñ©±À¹âµç¶þ¼«¹ÜAroÀëÉ¢ÐÔÔì³ÉµÄ²âÁ¿Îó²î¡£¶øÐ£×¼¹âÏ˺Р5µÄζȴ¦ÓÚ´óÓÚ50¡ãCµÄ¸ßÎÂÇø£¬ÓÉÓÚУ׼¹âÏ˺Ð5²ÉÓúãοØÖÆ£¬ºÐÄÚζÈÒÑͨ¹ý¸ß¾«¶È µÄ²âÎÂÔª¼þ»ñµÃ£¬Òò´ËÀûÓÃУ׼¹âÏ˺Ð5µÄʵ²âζÈÒÔ¼°ÒԲο¼¹âÏ˺Ð4Ϊ²Î¿¼»ù×¼µÄ¼Æ ËãζȿÉÒÔ¶Ô×°ÖõÄζȱ궨ϵÊý½øÐÐʵʱУ׼£¬Ïû³ýÒò¹âµçÆ÷¼þÊÜζÈÓ°Ïì»òÕßËæÊ±¼ä ÀÏ»¯ËùÔì³ÉµÄ²âÁ¿Îó²î¡£¸Ã×°ÖÃÔڲο¼¹âÏ˺еĻù´¡ÉÏÔö¼ÓÁËÒ»¸ö¸ßζεÄУ׼¹âÏ˺У¬ ¿ÉÒÔ¶Ô·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°ÖýøÐÐʵʱУ׼£¬Ïû³ýÆ÷¼þÀÏ»¯µÄÓ°Ï죬Ìá¸ß×°Öõij¤ÆÚ²âÁ¿×¼ È·ÐÔ¡£[0026]ʵʩÀý2[0027]Èçͼ2Ëùʾ£¬Ò»ÖÖµ¥Ò»Ì½²âÆ÷µÄʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Ö㬰üÀ¨Âö³å¼¤¹â Ô´1¡¢·Ö¹âÆ÷2¡¢Ì½²âÆ÷3¡¢²Î¿¼¹âÏ˺Ð4¡¢Ð£×¼¹âÏ˺Ð5¡¢²âÁ¿¹âÏË6¡¢µç·ģ¿é7ºÍ1X2¹â¿ª ¹Ø8¡£ÓëʵʩÀý1²»Í¬µÄÊÇ£¬ÔÚËùÊöµÄ·Ö¹âÆ÷2Óë̽²âÆ÷3Ö®¼äÔö¼ÓÁËÒ»¸ö1X2¹â¿ª¹Ø8£¬ ̽²âÆ÷3Ϊµ¥Ò»Ì½²âÆ÷¡£ËùÊöµÄ·Ö¹âÆ÷2µÄµÚ¶þÊä³ö¶Ë¼°µÚÈýÊä³ö¶Ë·Ö±ðÓëËùÊöµÄ1X2 ¹â¿ª¹Ø8µÄÁ½¸öÊäÈë¶ËÏàÁ¬£¬ËùÊöµÄ1X2¹â¿ª¹Ø8µÄÊä³ö¶ËÓë̽²âÆ÷3µÄÊäÈë¶ËÏàÁ¬£¬Ì½ ²âÆ÷3µÄÊä³ö¶ËºÍµç·ģ¿é7ÏàÁ¬¡£[0028]I X 2¹â¿ª¹Ø8¿ÉÑ¡ÓÃMEMS½á¹¹»òÕß»úе½á¹¹Ê½µÄ¹â¿ª¹Ø£¬±¾ÊµÊ©ÀýÓÅÑ¡MEMS½á¹¹µÄ¹â¿ª¹Ø¡£·Ö¹âÆ÷2µÄµÚ¶þÊä³ö¶Ë¼°µÚÈýÊä³ö¶Ë·ÖÀë³öζÈÃô¸ÐµÄ·´Ë¹ÍпË˹¹âÐźźÍζȲ»Ãô¸ÐµÄ˹ÍпË˹¹âÐźţ¬ÕâÁ½Â·ÐźÅÓë1X2¹â¿ª¹Ø8µÄÁ½¸öÊäÈë¶ËÏàÁ¬£¬´Ëʱ¿Éͨ¹ý¿ØÖÆI X 2¹â¿ª¹Ø8£¬¿ÉÒÔÑ¡ÔñÐÔµØÊ¹·´Ë¹ÍпË˹¹â»òÕß˹ÍпË˹¹â½øÈë̽²âÆ÷3£¬´Ëʱͨ¹ý·Öʱ̽²âµÄ·½Ê½ÊµÏÖµ¥Ò»Ì½²âÆ÷3¶ÔζÈÃô¸ÐµÄ·´Ë¹ÍпË˹¹âºÍζȲ»Ãô¸ÐµÄ˹ÍпË˹¹âµÄ̽²â£¬¼õС̽²âÆ÷Ò»ÖÂÐÔµÄÎÊÌ⣬Ìá¸ß·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öõij¤ÆÚ²âξ«¶È¡£
ȨÀûÒªÇó1.Ò»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Ö㬰üÀ¨Âö³å¼¤¹âÔ´¡¢·Ö¹âÆ÷¡¢Ì½²âÆ÷¡¢²Î¿¼¹âÏ˺С¢²âÁ¿¹âÏ˺͵ç·ģ¿é£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚ»¹°üÀ¨Ð£×¼¹âÏ˺У¬ËùÊöµÄÂö³å¹âÔ´µÄÊä³ö¶ËÓëËùÊöµÄ·Ö¹âÆ÷µÄÊäÈë¶ËÏàÁ¬£¬ËùÊöµÄ·Ö¹âÆ÷µÄµÚÒ»Êä³ö¶ËÒÀ´ÎÓëËùÊöµÄ²Î¿¼¹âÏ˺С¢ËùÊöµÄУ׼¹âÏ˺ÐÒÔ¼°ËùÊöµÄ²âÁ¿¹âÏËÏàÁ¬£¬ËùÊöµÄ·Ö¹âÆ÷µÄµÚ¶þÊä³ö¶ËºÍµÚÈýÊä³ö¶ËÓëËùÊöµÄ̽²âÆ÷µÄÊäÈë¶ËÏàÁ¬£¬ËùÊöµÄ̽²âÆ÷µÄÊä³ö¶ËÓëËùÊöµÄµç·ģ¿éÏàÁ¬¡£
2.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊöµÄ²Î¿¼¹âÏ˺кÍУ׼¹âÏ˺еÄζȲ»Ïàͬ£¬ËùÊöµÄ²Î¿¼¹âÏ˺еÄζȴ¦ÓÚ(T45¡ãCµÄµÍÎÂÇø£¬ËùÊöµÄУ׼¹âÏ˺еÄζȴ¦ÓÚ50¡ãCÒÔÉϵĸßÎÂÇø¡£
3.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊöµÄÂö³å¹âԴΪÕÂö³å¿í¶È¡¢¸ß·åÖµ¹¦Âʵİ뵼Ì弤¹â¹âÔ´»òÕß¹âÏ˼¤¹â¹âÔ´¡£
4.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊöµÄ̽²âÆ÷Ϊѩ±À¹âµç¶þ¼«¹ÜAPD¡£
5.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Öã¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚËùÊöµÄ·Ö¹âÆ÷ºÍËùÊöµÄ̽²âÆ÷Ö®¼ä»¹ÉèÖÃÓÐ1X2¹â¿ª¹Ø£¬ËùÊöµÄµÚ¶þÊä³ö¶ËºÍµÚÈýÊä³ö¶Ë·Ö±ðÓëËùÊöµÄ1X2¹â¿ª¹ØµÄÁ½¸öÊäÈë¶ËÏàÁ¬£¬ËùÊöµÄ1X2¹â¿ª¹ØµÄÊä³ö¶ËÓëËùÊöµÄ̽²âÆ÷µÄÊäÈë¶ËÏàÁ¬¡£
רÀûÕªÒª±¾ÊµÓÃÐÂÐ͹«¿ªÁËÒ»ÖÖʵʱУ׼µÄ·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°Ö㬰üÀ¨Âö³å¼¤¹âÔ´¡¢·Ö¹âÆ÷¡¢Ì½²âÆ÷¡¢²Î¿¼¹âÏ˺С¢Ð£×¼¹âÏ˺С¢²âÁ¿¹âÏ˺͵ç·ģ¿é£¬²Î¿¼¹âÏ˺еÄζȴ¦ÓÚµÍÎÂÇø£¬Ð£×¼¹âÏ˺еÄζȴ¦ÓÚ¸ßÎÂÇø£¬ÀûÓÃУ׼¹âÏ˺еÄʵ²âζȺͼÆËãζȿÉÒÔ¶Ô·Ö²¼Ê½¹âÏ˲âÎÂ×°ÖýøÐÐʵʱУ׼£¬Ïû³ýÒò¹âµçÆ÷¼þÊÜζÈÓ°Ïì»òÕßËæÊ±¼äÖð²½ÀÏ»¯µ¼ÖµÄζȱ궨ϵÊý±ä»¯ËùÔì³ÉµÄ²âÁ¿Îó²îÓ°Ï죬Ìá¸ß×°Öõij¤ÆÚ²âÁ¿×¼È·ÐÔ£¬Âú×㹤ҵӦÓÃÐèÇó¡£
Îĵµ±àºÅG01K11/32GK202886015SQ20122058967
¹«¿ªÈÕ2013Äê4ÔÂ17ÈÕ ÉêÇëÈÕÆÚ2012Äê11ÔÂ11ÈÕ ÓÅÏÈȨÈÕ2012Äê11ÔÂ11ÈÕ
·¢Ã÷Õß½¯¿¡, Çð¶°ÈÙ, ¬º£Ñó, Óà¿¡ÔÆ, Ф—²°Ø ÉêÇëÈË:º¼ÖÝɽÐñ¹âµçÓÐÏÞ¹«Ë¾