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专利名称：用于通过以可滑动方式设置的板对准电子元器件的载体的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于接收和对准多个电子元器件的载体。并且，本发明涉及一种操作该载体的方法。
背景技术：
集成电路通常制造在半导体晶片上。集成电路具有多种用途并且可见于通用电气 装置中。根据制造它们的目的，在将集成电路与诸如电阻器、电容和感应器之类的其它电 子元器件装配在一起之前，对它们进行封装、标记和测试。例如，在给定的温度、压力、倾角 和不同的加速类型下对MEMS(微机电系统)部件进行测试。由此，对电子元器件的整个加 工可划分为纯制造过程和修整电子元器件的接触布局(contact patterns)后的过程。存 在两类处理电子元器件的机器处理单一电子元器件的所谓“重力式测试分选机(Gravity handler)”和“捡置式测试分选机(Pick & Place-Handler) ”以及处理所谓条形电子元器 件(strip)的“条形测试分选机”。US 2003/0017629 Al公开了一种用于在测试操作期间支承单一电子装置的设备， 其包括主体和支承构件，其中，所述支承构件由不导电的高电阻率的材料制成并包括多 个凹部，每个所述凹部均适于接收单独的单一装置。本文还公开了一种用于测试这种装置 的方法，其中这些装置在整个测试过程中被承载在包括一个或多个环境控制腔的支承构件 上。US 2006/0154386 Al公开了一种被提供用于对准放置在载体上的多个半导体装 置的设备和方法。使用时对准导件邻近各个装置安置，并设置成使得这些对准导件对应于 每个半导体装置的预期对准位置。为了对准，通过定位装置来保持半导体装置，该定位装置 包括多个保持件，每个保持件均被构造成产生力来保持半导体装置。还设置有致动器，其可 操作成移动该定位装置和保持件，以抵靠对准导件偏压半导体装置，从而对半导体装置进 行定向，直到使它们与所述对准导件对准。US 7, 156,680 B2公开了一种插件和设有该插件的电子元器件处理设备。为 了提供能够可拆卸地附连至插件本体的导芯和能够可拆卸地附连有导芯的插件本体，US 7，156，680 B2提供了一种能够以可拆卸的方式附连至插件本体的导芯，其包括支承部分， 该支承部分能够支承面阵列型电子元器件的外部端子面，以使该面阵列型电子元器件的外 部端子面裸露于插口的连接端子的方向；钩接收件，该钩接收件能够与设置于插件本体的 钩部以可松开的方式接合；和插件本体，该插件本体能够与导芯以可拆卸的方式附连，该插 件本体包括电子元器件引导部分，该电子元器件引导部分包括附连导芯的导芯附连插口 ； 以及电子元器件入口，该电子元器件入口与导芯附连插口相连，从而可将电子元器件引导 至附连于导芯附连插口的导芯；和钩部，该钩部能够与设置于导芯的钩接收件以可松开的 方式接合。US 5，596，229 A公开了一种芯片载体结构，其用于容纳具有电子接触垫的芯片载 体，该芯片载体结构具有用于芯片载体的定位结构和配置成形成容纳所述芯片载体的相配结构的有槽结构，该有槽结构的槽与芯片载体的所述垫对准，以便提供从相配的定位结构 和有槽结构的外部到内部的通往所述垫的电气和机械接入。

发明内容
需要一种能够以有效的方式接收和对准电子元器件的系统。为了实现上述目的，提供了一种具有根据独立权利要求所述特征的载体及操作该 载体的方法。根据本发明的示例性实施方式，提供了一种用于接收和对准多个电子元器件的载 体，其中，该载体包括接收器，每个该接收器适于(具体来说是用于)接收多个电子元器件 中指定的一个；第一板，该第一板包括多个第一抵接(具体来说是接触)部(具体来说是部 段)，其中，第一抵接部形成相应的指定接收器的其中一个边界(具体来说是指示或固定界 限或范围的表面)；第二板，该第二板包括多个第二抵接部，其中，第二抵接部形成相应的 指定接收器的其中另一个边界；并且其中，第一板和第二板以能够相对于彼此滑动的方式 (具体来说是滑行或滑移)设置(例如，以便将电子元器件夹持在接收器中)。根据本发明的另一示例性实施方式，提供了一种使用载体的方法，其中，该方法包 括在载体的每个接收器中均接收多个电子元器件中指定的一个；提供载体的包括多个第一抵接部的第一板，其中，第一抵接部形成相应的指定接 收器的其中一个边界；提供载体的包括多个第二抵接部的第二板，其中，第二抵接部形成相应的指定接 收器的其中另一个边界；以及使第一板和第二板相对于彼此滑动以夹持接收器中的电子元器件。术语“载体”可具体表示一种用于承载的容器或一种承载装置。载体可以是条状 构件，其适于将多个电子元器件承载在载体的接收器中。这种载体可形成为一系列层状的 多层板，如经过加工(例如形成图案)的金属薄板。这种载体可结合分选机使用，从而能够 利用载体来处理电子装置，以便随后实施对电子元器件的测试(例如功能测试)。术语“对准”可具体表示将某物进行排列或校直。例如，可将电子元器件与固定的 抵接部对准。术语“电子元器件”可具体表示适于被安装在诸如印刷电路板之类的电子支承基 片上的任意部件。这种电子元器件还可通过通常称之为“测试分选机”的处理机器进行处 理。电子元器件的示例是电子芯片，即封装的芯片或未封装的裸芯片。术语“接收器”可具体指代用以接收和容纳某物的装置，或者更为具体地指代用于 电子元器件的容器。术语“板”可具体表示一光滑扁平的薄片材料。更具体来说板可以由多个部分构 成并且板可包括沟槽、切口、凹部或者甚至突起。板可以具有不同的厚度并且板可以由不同 的材料制成。而更具体来说，板可以由金属板形成、尤其是由诸如弹性金属薄板之类的金属 薄板形成。板可以涂上用于改变诸如电阻或抗磨损性之类表面特性的不同涂料。术语“抵接部”可具体表示接触部段，即接收器的直接抵接电子元器件的部分。术语“形成边界”可具体表示指示或固定界限或范围的事物。更具体的是它可表示例如由抵接部限定的事物。术语“可滑动地”或“滑动”可具体指代沿表面平稳地移动。一个板相对于另一个 板的滑动可具体引起弹性回复力，从而使一个板相对于另一个板被往回驱动。根据本发明的示例性实施方式，载体可包括多个接收器，每个该接收器接收多个 电子元器件中指定的一个电子元器件。多个接收器的尺寸可由第一板的第一抵接部和第二 板的第二抵接部界定。第一板的第一抵接部和第二板的第二抵接部可位于接收器的相对侧 上。第一板和第二板可以是能够沿第一板的主平面和第二板的主平面相对于彼此移动的， 第一板的主平面和第二板的主平面可以是重合的或者可以是彼此平行的。当第一板与第二 板的相对位置相对于彼此改变时，接收器的尺寸可以发生变化。第一板和第二板可位于平 行于彼此的位置处。可沿对角方向改变第一板的位置和第二板的位置，即可使第一板的拐 角区域和第二板的拐角区域接近和与之相反地将其拉开。可平行于第一板和第二板的重合 的主平面使第一板和第二板以及由其限定的第一抵接部和第二抵接部的边界共同接近和 拉开。当第一板的第一抵接部与第二板的第二抵接部靠近时，可将多个电子元器件夹持在 多个接收器中的多个第一抵接部与多个第二抵接部之间。在下文中，将描述载体的又一示例性实施方式。但是，这些实施方式也应用于所述 方法。第一板可以是弹性单元板，其包括多个弹性单元(例如设置成行和列的矩阵)，其 中，每个接收器分别被指定所述多个弹性单元中的至少一个弹性单元。每个第一抵接部可 分别形成在弹性单元上。术语“弹性单元”具体表示单一的或组合的设备，该设备用于执行 一个具体的功能，其中在该情况下，该功能可以是可伸缩的、弹性回复的或者弹性的。弹性 单元的目的可以是可允许对于多个电子元器件的不同尺寸的补偿公差。否则由于电子元器 件尺寸不同，电子元器件可能从接收器脱落或者可能导致未对准。弹性单元可具体为使第 一抵接部具有弹性性能的弹性涂层或橡胶部件。弹性单元也可以是诸如任意种类的弹簧之 类任意弹性的单元、例如迂回弯曲弹簧(meandrical springs)。第一板可设置在第二板上并可沿第二板移动。可至少在一个方向上将第一板紧固 住以使其不产生所不希望的变形，该方向可以是朝向第二板的方向。第二板可以是平面的 或者可以具有适于引导第一板和指定的弹性单元以及第一抵接部的移动的凹部。载体可适 于使电子元器件与第二抵接部对准，其中，安装有第一抵接部的弹性单元可以以自动的方 式施加第一力。第一抵接部中的每一个均可至少安装到其中一个指定的弹性单元。每个弹 性单元均可向第二抵接部施加第一力。第二抵接部中的每一个可被指定给其中一个第一抵 接部。电子元器件可与第二抵接部对准。每个弹性单元的位置或变形状态可决定相应的指定接收器的其中一个边界。弹性 单元的位置可决定接收器的尺寸，并且弹性单元的变形状态也可决定接收器的尺寸。弹性 单元的位置可随着第一板与第二板相对于彼此的位置而共同发生改变。每个第一抵接部的 位置可相对于每个第二抵接部以相同的方式发生变化。第一板与第二板相对于彼此的位置 的变化可导致每个接收器的尺寸以相同的方式共同变化，即接收器的尺寸可共同增大或接 收器的尺寸可共同减小。换言之，可仅通过使板相对于彼此移动而同时执行所有接收器的 操作。这使得能够在同一时间非常简单地致动所有接收器。但是，每个接收器可分别随着 弹性单元的变形状态的改变而单独地改变其尺寸。当张紧弹性元件时，弹性单元的变形状态和接收器的尺寸可增大，而当张力释放时，弹性单元的变形状态和接收器的尺寸可减小。 因此，本发明的实施方式使得能够简单地操作和单独地调整接收器。第一板和第二板可通过至少一个板连接弹性单元、即弹性连接两个板的一个或多 个弹簧或类似器件而彼此弹性地联接。当接收器的尺寸共同增加时，所述至少一个板连接 弹性单元会处于其张紧状态，而当第一板和第二板改变它们的位置使得接收器尺寸减小 时，板连接弹性单元的张紧状态至少部分地释放或解除。当所述至少一个板连接弹性单元 的张紧状态以自动的方式释放时，可共同减小接收器的尺寸。板连接弹性单元使得能够将 电子元器件共同夹持在接收器中。第二板可包括适于抵接第一板的第一板抵接部；而第一板可包括适于抵接第二板 的第二板抵接部。第二板抵接部和第一板抵接部在彼此抵接时可限定出接收器的夹持尺 寸，其中接收器的夹持尺寸可适于将电子元器件夹持在相应的接收器中。接收器的夹持尺 寸可由第一板与第二板相对于彼此的位置来提供，在接收器的夹持尺寸下每个接收器可适 于夹持相应的电子元器件。术语“夹持”可具体表示载体可被设计成使部件合拢从而保持 或压紧电子元器件。可以合拢到一起的部件为第一抵接部和第二抵接部。板连接弹性元件和所述多个弹性单元可适于提供用于从接收器的扩大尺寸朝接 收器的缩小的夹持尺寸进行自动转变的合力，在该接收器的扩大尺寸的状态下，电子元器 件可以是能够被接收在接收器中的，在该接收器的缩小的夹持尺寸的状态下，可夹持住电 子元器件。当电子元器件进入到夹持位置中时，合力可通过从由所述至少一个板连接弹性 单元施加的力中减去由多个弹性单元施加的力来限定。所述至少一个板连接弹性单元施加 的力可大于由多个弹性单元施加的力。合力是正的，并且可提供从接收器的扩大尺寸朝接 收器的夹持尺寸的自动转变，在接收器的夹持尺寸下，第一板的第二板抵接部和第二板的 第一板抵接部可彼此抵接。载体可进一步包括形成于第一板处和/或第二板处的操纵结构(具体为可致动孔 或可致动销)。该操纵结构可适于操纵第一板和第二板以克服板连接弹性元件的力而使以 可滑动方式设置的第一板和第二板朝接收器的扩大尺寸相对地移动。载体的操纵结构可适 于克服由所述至少一个板连接弹性单元的力与多个弹性单元的力所提供的合力而使第一 板和第二板相对移动。操纵结构可适于克服该合力而将接收器扩大至扩大尺寸，在该扩大 尺寸下，可将电子元器件的本体接收在接收器中。载体可包括第三板，其中第一板以浮动方式设置在第二板与第三板之间，其中第 二板和第三板彼此固定安装，并且其中，第一板是弹性单元板并适于允许多个第一抵接部 相对于多个第二抵接部相互移动。第一板包括可布置在第二板和第三板之间的弹性元件。 这样，第一板的弹性元件由第二板和第三板引导，并且可保护第一板的弹性元件不在相邻 第二板的方向上以及第三板的方向上变形。第二板和第三板可以是平坦的或者可具有适于 引导第一板移动的凹部。载体可进一步包括第三板，其中，第二板以浮动方式设置在第一板与第三板之间， 其中，该第一板和该第三板是彼此固定地安装，并且其中，该第一板是弹性单元板而第二板 适于允许多个第二抵接部相对于第一抵接部相互移动。包括第二抵接部的第二板可被弓I导 在第一板与第三板之间。包括第一抵接部的第一板和弹性单元可定位在外部。可直接地接 触弹性单元。对于定位在外部的弹性单元来说摩擦力可以是小的。第一板和第三板可以是平坦的或者可具有适于引导第三板和第二抵接部移动的凹部。第一抵接部可适于向电子元器件施加第一力，而第二抵接部可适于向电子元器件 施加第二力，其中，该第一力和该第二力至少部分地彼此相反(具体来说是彼此反向地施 加，即反向平行)。电子元器件可在对准夹具的接收器中对准。第一抵接部和第二抵接部抵 靠在电子元器件的侧部上。根据施加的力，如果施加于每个电子元器件的力至少不是指向 一个方向上，电子元器件可保持静止并被对准。当由第一抵接部和第二抵接部向电子元器 件施加的两个力至少部分地相反时，通过包括摩擦力，可使多个电子元器件中的每个电子 元器件保持静止。第一抵接部和第二抵接部可适于在接收器的主平面内施加第一力(即力矢量可 位于主平面内)，并且平行于接收器的该主平面施加第二力。接收器的主平面可通过与对 准夹具的主平面相平行来限定并可平行于第一板、第二板和第三板的主平面。如果由第一 抵接部和第二抵接部施加的力在在一个平面内施加的，则可以以适当的方式对准电子元器 件。第一抵接部和第二抵接部可抵接在电子元器件的侧部上。通过在接收器的主平面内施 加第一力和第二力，电子元器件上的合力并没有显示出倾向于将电子元器件从接收器中翻 出的转向力矩。电子元器件可由平行于接收器的主平面的力牢固地对准在接收器中。具体地，第一抵接部和第二抵接部适合使平行于接收器的主平面施加第一力且平 行于接收器的主平面施加第二力。每个接收器可进一步包括指定的底部支承部，其形成与指定接收器的主平面相平 行的支承表面(具体来说是通过作为基座而承载的某物)。由底部支承部施加的支承力可 作用在电子元器件的主平面上，具体来说可反向平行于重力。电子元器件可设置在接收器 中，使接收器的主平面和电子元器件的主平面平行。作用在电子元器件上的底部支承部可 平行于接收器的主平面从而使电子元器件通过底部支承部的支承而对准在接收器的主平 面内。在电子元器件的主平面内支承电子元器件的优点是可将电子元器件上的负载分散到 电子元器件的主表面的不同部分并且可平行于底部支承部施加第一抵接部的第一力和第 二抵接部的第二力。因此，第一力的方向和第二力的方向可避免电子元器件在底部支承部 上裂开。具体地，接收器可进一步包括底部支承部，其形成平行于接收器的主平面的支承 表面，并且适于在电子元器件被接收到接收器中时支承电子元器件的底侧。底部支承部可适于施加垂直于(具体来说是竖向的)第一力和第二力的支承力。 由每个底部支承部施加的支承力可适于将电子元器件对准成与它们的主平面成直角。支承 力垂直于由第一抵接部和第二抵接部所施加的力的技术优点是，不会在多个电子元器件中 的每个电子元器件上施加转向力矩。因此，可将电子元器件保持在相对于它们的主平面的 对准位置处。以可活动方式安装的第一抵接部可适于进行平行于接收器的主平面的移动。由以 可活动方式安装的抵接部所施加的力平行于接收器主平面施加。用以对准电子元器件的力 可由弹性单元提供，并且弹性单元可通过其自身在接收器主平面中的自动移动而在接收器 的主平面中移动以可活动方式安装的第一抵接部和电子元器件。由此，可将弹性单元的力 在一定平面中施加在电子元器件上，在该平面中电子元器件明显稳固或稳定。载体可进一步包括适于调整厚度的至少一个距离调整板。出于距离调适的目的，载体可包括比三个板更多的板。具体地，载体可包括适于调整载体厚度的至少一个厚度调整板。弹性元件中的至少一个可包括弹簧元件。弹性单元中的至少一个弹性单元包括第一弹簧元件和第二弹簧元件，其中，各第 一抵接部连接于第一弹簧元件和第二弹簧元件。弹性单元可包括弹簧元件(具体地，橡胶构件、任意种类的弹性材料构件、由钢簧 板形成的弹簧、由弹簧丝形成的弹簧或诸如板簧、盘簧、片簧等的任意种类的弹簧)。弹簧元 件可由板一体形成，也可以是用于单独组装于板的单独元件。弹簧元件可表现出相较于弹 性单元类似的特性，其中，该弹性单元可由若干部分形成。弹簧元件可表现出抵抗变形的弹 性回复力，即胡克特性。每个弹性单元可包括第一弹簧元件和第二弹簧元件，其中，第一抵接部与第一弹 簧元件和第二弹簧元件相连。在一种实施方式中，第一弹簧元件和第二弹簧元件相对于彼 此成角度地设置。基于弹簧元件的形状、材料和尺寸，将第一弹簧元件和第二弹簧元件结合 于弹性单元是有利的。可由多于两个的弹簧元件形成弹性单元。通过将两个或更多个弹簧 元件结合于弹性单元，可以适应性调整由弹性单元施加的力的方向和绝对值。在一种实施 方式中，第一弹簧元件和第二弹簧元件相对于彼此成角度设置。第一抵接部和弹性单元可至少部分地由板一体形成。第二抵接部和底部支承部可至少部分地由一块板一体形成。采用诸如蚀刻技术或 激光技术之类的设计技术由板制造至少一个功能元件是很方便的。这些技术可最佳地适于 应用在例如金属板之类的薄板上。通过蚀刻或激光切割，所制造的结构可实现较高精度。在下文中，将描述所述方法的另一示例性实施方式。然而，这些实施方式同样适用 于对准夹具和载体。该方法可进一步包括将载体放置在后处理机器中，并随后在电子元器件保持处于 载体的接收器中的对准位置的同时使电子元器件接受后处理机器的操作。后处理方法可具 体指对电子元器件的评估或测试的方法。由此，后处理机器可具体指用于评估或测试电子 元器件的机器。在后处理期间，会将电子元器件置于不同物理条件下，以获取有关电子元器 件的品质的信息。后处理可具体指代通过将电子元器件置于所关注的各种电气和/或机械 条件下而对电子元器件进行的品质测试或品质评估。后处理也可单指将电子元器件置于各 种电气和/或机械条件下。该方法可进一步包括通过夹持机构仅电子元器件侧部上弹性夹持电子元器件。可 将电子元器件放置在载体的扩大的接收器中，并随即通过夹持机构将电子元器件弹性夹持 在夹持尺寸的接收器中并在其中得到对准。可在接收器的主平面中进行从接收器的扩大尺 寸至接收器的夹持尺寸的转变。接收器的主平面可与载体的主平面、电子元器件的主平面、 以及对准夹具的主平面相匹配。可将载体放置在后处理机器中。当电子元器件被夹持在接 收器中并在其中被对准时，电子元器件可接受后处理机器的操作。该方法可进一步包括为载体设置识别特征或识别符，用于确切地(具体来说精 确、唯一或明确地)识别该载体。后处理机器可形成装配线。可将载体从一个后处理机器输 送至另一个后处理机器。在后处理期间，在工厂中对每个载体进行的唯一识别使得能够在 工厂中追踪(具体来说是跟踪)每个载体的路线，并且使得能够追踪每个电子元器件。由此，可通过识别特征在装配线中追踪每个载体和每个电子元器件。该方法可进一步包括为载体设置用于基准检测的基准标记。视觉系统与基准标记 或标志一起可在后处理机器中提供对于载体的位置和方位的检测。在需要对载体进行精确 对准从而例如标记或接触电子元器件的操作过程中，这会是有利的。该方法可包括将电子元器件与第二抵接部对准，其中，可通过安装有第一抵接部 的弹性(具体来说是可伸缩的、回弹性的或有弹力的)单元(具体来说是用以执行一个具 体功能的一件设备或一组设备)以自动的方式施加第一力。第一抵接部中的每一个可至少 安装到弹性单元中指定的一个弹性单元。每个弹性单元可向第二抵接部施加第一力。第二 抵接部中的每一个抵接部被指定给第一抵接部中的一个第一抵接部。电子元器件可与第二 抵接部对准。该方法可进一步包括将两个分力施加在第一抵接部和第二抵接部中的至少一个 上，以使这些抵接部可将两个成角度的分力施加在电子元器件上。后处理可包括在通过载体保持和对准电子元器件并通过操纵该载体来移动电子 元器件的同时进行激光打标。当电子元器件被夹持在接收器中并在其中被对准时，电子元 器件可接受激光打标工序。电子元器件可具有无论接触侧是否抵接底部支承部、记号侧是 否抵接底部支承部均易于触及的记号侧。在接触侧与底部支承部抵接的情况下，记号侧暴 露于接收侧，并且可在不存在任何限制的情况下接受激光打标。在记号侧与底部支承部抵 接的情况下，接收器的底部支承部可在它们的中央具有进入孔，该进入孔仅延伸成使电子 元器件的边缘区域仍旧与底部支承部抵接。后处理可包括当通过载体保持和对准电子元器件并通过操纵该载体来移动电子 元器件时进行的老化测试。在老化测试中，电子元器件、特别是半导体装置可受热预定的时 间间隔(例如经受高达200°C的温度持续远不足一小时到长达数小时)。在老化测试期间， 电子元器件还可经受由电流馈电进行的功率测试，和/或电子元器件可接受用于测试电子 元器件的电子品质的电子测试。通过由诸如金属、热固性塑料或树脂之类的耐温材料制成 载体，该载体可适于耐受高温。后处理可包括当通过载体保持和对准电子元器件并通过操纵该载体来移动电子 元器件时进行的烘烤工艺。该烘烤步骤可以是一种使电子元器件在不存在任何电气测试或 电力负载的情况下受热预定的时间间隔(例如经受高达200°C的温度持续远不足一小时到 长达数小时)的处理。利用耐温材料形成载体可使得该载体能够耐受烘烤处理，其中，电子 元器件经受高温持续约一个小时。烘烤处理可用于减小电子元器件上的电力负载，以便进 一步继续进行最终测试。后处理可包括当通过载体保持和对准电子元器件并通过操纵该载体来移动电子 元器件时在测试分选机上进行的最终测试。具有多种实施方式的最终测试可以是在组装电 子元器件前执行的测试。对诸如半导体装置之类的电子元器件进行的最终测试可以是电子 功能测试，并且可包括多种物理测试条件，例如多种温度、压力、加速度和倾角的任意组合。 由于载体由耐受机械应力和温度应力的一种或多种材料制成，因此，载体可适于在这些变 化条件下对准电子元器件，并且可适于允许接触电子元器件的触点。在一种实施方式中，后处理不包括当通过载体保持和对准电子元器件并通过操纵 该载体来移动电子元器件时在分选机上进行的最终测试。在激光打标、老化或烘烤后，可直接在电子元器件上进行选择性打标。具体地，后处理不包括在通过载体保持和对准电子元器件并通过操纵该载体来移 动电子元器件时在分选机上进行的最终测试。后处理可包括在通过载体保持和对准电子元器件并通过操纵该载体来移动电子 元器件时进行的选择性打标。参照对于激光打标进行的说明，其对于例如激光打标之类的 选择性打标同样适用电子元器件可具有无论接触侧是否抵接底部支承部抵接、记号侧是 否抵接底部支承部均易于触及的记号侧，在接触侧与底部支承部抵接的情况下，记号侧暴 露于接收侧，并且可在不存在任何限制的情况下接受激光打标。在记号侧与底部支承部抵 接的情况下，接收器的底部支承部可在它们的中央具有孔口，该孔口延伸成使电子元器件 的边缘区域与底部支承部抵接。在选择性打标后，放置在载体中的电子元器件可选择性地 标记出“ + (positive) ”、选择性地标记出“-(negative) ”或可全部标记“ + ”或者“_”。也可 以是其它类别(不同于“ + ”或“_”)。选择性打标还可包括指出电子元器件的质量特征的 标记，例如表示用以操作半导体装置的最大频率的标记。可在无需将电子元器件从载体上移除的情况下执行由激光打标、老化测试、烘烤、 最终测试和选择性打标构成的群组中的至少两个工序。换言之，可在电子元器件在载体中 保持对准的同时执行这些或其它工序中的多个工序。该载体可适于耐受多种物理条件，并 可在整个或部分后处理中自始至终精确对准电子元器件。由此，可在整个后处理或部分后 处理期间，将电子元器件保持在载体中并在载体中将其对准。在后处理之后，可在通过载体保持和对准电子元器件的同时，通过将载体从后处 理机器上移除而将电子元器件从后处理机器中移除。本发明的上述方面和其它方面通过在下文中将要进行描述的实施方式的示例而 变得显而易见，并且参照实施方式的这些示例对本发明的上述方面和其它方面进行了说 明。下面将参照实施方式的示例更为详细地描述本发明，但是本发明并不局限于这些 实施方式的示例。


图1示出了根据本发明的示例性实施方式的载体的分解图。图2示出了载体的对准夹具处于两个不同位置的俯视图(即从上方观察)。图3示出了根据图1的载体的弹性板的总图。图4和图5示出了根据本发明的示例性实施方式的载体的细节图。图6和图7示出了根据本发明的示例性实施方式的载体的细节图。
具体实施例方式图中所示是示意性的。在不同的图中，相似或相同的元件设有相同的附图标记。图1示出了根据本发明的示例性实施方式的载体100的分解图。载体100适于接收和对准多个电子元器件1并包括接收器(也可见图4中的参考 数字20)，每个接收器适于接收多个电子元器件1中指定的一个电子元器件。弹性板110包 括多个第一抵接部31，其中，第一抵接部31形成对应的指定接收器的其中一个边界。接收板130包括多个第二抵接部51，其中，第二抵接部51形成对应的指定接收器的其中另一个 边界。弹性板110和接收板130以能够相对于彼此滑动的方式设置。在所述的实施方式中，弹性板110和接收板130的滑动设置通过固定所述板110、 130的外框架并通过提供板连接弹性单元154而实现，弹性板110通过板连接弹性单元154 与弹性板框架111弹性地联接。其它的实施方式可使用以可滑动方式联接板110、130的其 它方法，例如通过直接设置一个或多个弹簧从而以滑动方式联接这些板110、130。由此，载体100包括由弹性板框架111环绕的弹性板110。弹性板110通过板连接 弹性单元154而与弹性板框架111弹性地联接。此外，载体100包括位于弹性板110 —侧的 接收板130和位于弹性板110另一侧的底部支承板120。接收板130包括接收开口 135，通 过接收开口 135来接收电子元器件1。底部支承板120包括进入孔125，通过该进入孔125， 可对电子元器件1的主表面侧进行操作。弹性单元致动孔258与接收板130的致动进入孔 358以及底部支承板120的致动进入孔458对准。接收板130的致动进入孔358的直径和 底部支承板120的致动进入孔458的直径大于弹性单元致动孔258的直径。图2细节A示出了图1的载体100的对准夹具10处于夹持位置的俯视图。第一 弹性元件45和第二弹性元件47共同将电子元器件1压靠于抵接部51，该抵接部51是矩 形接收开口 135的带角的部分。第一弹性元件45、第二弹性元件47和弹性单元致动孔258 属于弹性板110。致动进入孔358和接收开口属于接收板130。致动进入孔358和弹性单 元致动孔258处于对准位置而第一弹性元件45和第二弹性元件47处于夹持位置。图2细节B示出了对准夹具10处于接收位置的俯视图。弹性单元板110——其具 有属于该弹性单元板110的第一弹性元件45、第二弹性元件47和弹性单元致动孔258—— 已经相对于接收板——其具有属于该接收板的第二抵接部和致动进入孔358——沿箭头 222的方向移动。因此，较小的弹性单元致动孔258已经相对于较大的致动进入孔358沿相 同的方向移动相同的距离，从而使第一弹性元件45和第二弹性元件47相对于第二抵接部 51沿相同的方向移动相同的距离。这样，第一弹性元件45和第二弹性元件47就处于接收 位置，因为在第一弹性元件45和第二弹性元件47与第二抵接部51之间的间隔比待接收的 电子元器件1大。图3示出了由弹性板框架111环绕的弹性板110的总图，该弹性板框架111通过 四个板连接弹性单元154联接到弹性板110。三十个接收开口 48以6X5的矩阵形式布置。 属于弹性单元框架111的固定孔208与弹性单元致动孔258使得弹性板110能够相对于弹 性板框架111灵活运动。图4和图5示出了根据本发明的示例性实施方式的载体100的细节的俯视图，其 中，载体100包括可滑动弹性单元板110，该可滑动弹性单元板110通过板连接弹性单元 154弹性地联接至弹性单元板框架111。弹性单元板框架111固定安装于接收板130。由 此，通过弯曲板连接弹性单元154，弹性单元板110可相对于接收板130滑动，其中该接收板 130具有形成第二抵接部51的接收开口 135。通过弹性单元41安装于弹性单元板110的 第一抵接部31可相对于第二抵接部51滑动，其中该第二抵接部51形成为接收板130的固 定部分。可通过使弹性单元板110相对于接收板130滑动而扩大由第一抵接部31和第二 抵接部51形成的接收器20的接收器开口 48。由于接收板130和弹性单元板框架111可 在固定孔208处被固定，因此可通过将致动力210施加于弹性单元致动孔258而使弹性单元板Iio相对于接收板130和弹性单元板框架111滑动。可施加反向力200以克服致动力 210的力而固定住载体100。可在若干固定点156处将接收板130与弹性单元板框架111 彼此固定联接。还是参照图4，接收板130的第一板抵接部134与弹性单元板110的第二板抵接 部914彼此抵接。间隔件257可适于调节接收器开口 48的尺寸。当第一板抵接部134与 第二板抵接部914彼此抵接时，可获得由第一抵接部31与第二抵接部51所形成的接收器 的夹持尺寸。接收器开口 48的尺寸可小于待接收的电子元器件1的尺寸，从而可通过第一 抵接部31和第二抵接部51夹紧电子元器件1。弹性单元板110与弹性单元板框架111之 间的间距259可具有间隔件257的尺寸。参照图5，示出了接收器开口 48的接收尺寸。弹性单元板110与弹性板框架111 之间的间距259扩大。因此，同样可将接收器开口 48的尺寸扩大至一定尺寸，该尺寸使得 可将电子元器件1接收在接收器20中，即接收在第一抵接部31与第二抵接部51之间的空 间中。参照图6和图7，分别与图4和图5的根本差别是弹性元件41的夹持方向是相反 的，并且因此致动力210的方向是相反的。因此，间隔件257可位于弹性单元板框架111的 对角侧。应该注意的是，术语“包括”并不排除其它元件或步骤，并且“一”或“一个”并不排 除多个。同样，可将结合不同的实施方式描述的元件进行组合。还应该注意的是，权利要求 中的附图标记不应被理解为限制权利要求的范围。本发明的实施并不被限定于图中所示和 上文中所述的优选实施方式。相反，即使是在根本不同的实施方式的情况下，也可能存在利 用根据本发明所示出的解决方案和原理的多种变型。
权利要求
1.一种适于接收和对准多个电子元器件(1)的载体(100)，所述载体(100)包括 接收器(20)，每个所述接收器(20)适于接收所述多个电子元器件(1)中指定的一个电子元器件；第一板(110)，所述第一板(110)包括多个第一抵接部(31)，其中所述第一抵接部(31) 形成对应的指定接收器(20)的其中一个边界；第二板(130)，所述第二板(130)包括多个第二抵接部(51)，其中，所述第二抵接部 (51)形成对应的指定接收器(20)的其中另一个边界；并且其中，所述第一板(110)和所述第二板(130)以能够相对于彼此滑动的方式布置。
2.根据权利要求1所述的载体(100)，其中，所述第一板(110)是包括多个弹性单元(41)的弹性单元板，其中，每个所述接收器 (20)都被指定了所述多个弹性单元(41)中的至少一个弹性单元。
3.根据权利要求2所述的载体(100)，其中，每个所述弹性单元(41)的位置和变形状态决定了对应的指定接收器(20)的其中一个 边界。
4.根据权利要求1至3所述的载体(100)，其中，所述第一板(110)和所述第二板(130)通过至少一个板连接弹性单元(154)彼此弹性 地联接。
5.根据权利要求1至4所述的载体(100)，其中，所述第二板(130)包括适于与所述第一板(110)抵接的第一板抵接部；以及 所述第一板(110)包括适于与所述第二板(130)抵接的第二板抵接部； 其中，当所述第一板(110)抵接部和所述第二板抵接部彼此抵接时，所述第一板抵接 部和所述第二板抵接部限定出所述接收器(20)的夹持尺寸；其中，所述接收器(20)的所述夹持尺寸适于将所述电子元器件(1)夹持在对应的所述接收 器(20)中。
6.根据权利要求4或5所述的载体(100)，其中，所述板连接弹性元件和所述多个弹性单元(41)适于提供用于从所述接收器(20)的扩 大尺寸朝所述接收器(20)的缩小的夹持尺寸进行自动转变的合力，在所述接收器(20)的 扩大尺寸下，所述电子元器件(1)能够被接收在所述接收器(20)中，在所述接收器(20)的 缩小的夹持尺寸下，所述电子元器件(1)被夹持住。
7.一种操作载体(100)以接收和对准多个电子元器件(1)的方法， 所述方法包括在所述载体(100)的接收器(20)中的每一个接收器中接收所述多个电子元器件(1) 中指定的一个电子元器件；提供所述载体(100)的包括多个第一抵接部(31)的第一板(110)，其中，所述第一抵接 部(31)形成对应的指定接收器(20)的其中一个边界；提供所述载体(100)的包括多个第二抵接部(51)的第二板(130)，其中，所述第二抵接 部(51)形成对应的指定接收器(20)的其中另一个边界；并且使所述第一板(110)和所述第二板(130)相对于彼此滑动以将所述电子元器件(1)夹 持在所述接收器(20)中。
8.如权利要求7所述的方法，其中，所述方法包括 -将所述载体(100)放置在后处理机器中；-当所述电子元器件(1)在所述载体(100)的所述接收器(20)中保持在对准位置的同 时使所述电子元器件(1)接受所述后处理机器的后处理操作。
9.根据权利要求7或8所述的方法，其中，所述方法进一步包括-通过所述夹持机构仅在所述电子元器件(1)的侧部上弹性地夹紧所述电子元器件(1)。
10.根据权利要求7至9所述的方法，其中，所述方法进一步包括 -为所述载体(100)设置用于明确识别所述载体(100)的识别特征。
全文摘要
一种适于接收和对准多个电子元器件的载体，该载体包括接收器，每个接收器适于接收多个电子元器件中指定的一个电子元器件；第一板，该第一板包括多个第一抵接部，其中，第一抵接部形成对应的指定接收器的其中一个边界；第二板，该第二板包括多个第二抵接部，其中，第二抵接部形成对应的指定接收器的其中另一个边界；并且其中，第一板和第二板以能够相对于彼此滑动的方式设置。
文档编号G01R1/04GK101995492SQ20101025717
公开日2011年3月30日 申请日期2010年8月17日 优先权日2009年8月18日
发明者托马斯·霍夫曼, 约翰·珀青格 申请人:综合测试电子系统有限公司