专利名称：基板检查装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及例如液晶显示器(LCD)等平板显示器(FPD)的玻璃基板、滤色镜(colour filter)等大型玻璃基板的缺陷检查中使用的基板检查装置。
背景技术：
液晶显示器的玻璃基板逐年大型化，最近出现了超过1000mm的尺寸。该大型玻璃基板为了提高同一板块尺寸的使用效率，对应于板块尺寸采取9面、6面、4面等多面。
图12是示出现有的这种基板检查装置的结构图。该基板检查装置记载在日本专利特开平8-171057号中。该基板检查装置设置成使得下载物台203在基座201上可通过Y方向的导轨202移动。并设置成使得上载物台205在该下载物台203上可通过X方向的导轨204移动。该上载物台205上载置了大型玻璃基板206。
此外，在基座201上设置了支架207，在该支架207的侧面，通过导轨208可向X方向移动地设置了两个光学头209、210。这些光学头209、210上，分别安装有电视摄像机(TV摄像机)211、212。
在这样的基板检查装置中，根据大型玻璃基板206的尺寸，来改变所采用的面个数或图形间隔，因此，适当调节光学头209、210之间的间隔，使其与图形间隔等一致。
在设置光学头209、210的间隔之后，通过只使下载物台203和上载物台205移动，同时观察在大型玻璃基板206的相邻两个图形的同一部分。
近年来，液晶显示器的生产量迅速增加，并对于基板检查中所需的测定间隔时间的缩短化、检查装置本体的小型化要求也提高。而且，从用户的角度来说，为了抑制设备投资额，也要求检查装置本体的小型化。随着显示器的大型化，出现了短边尺寸超过1000mm的大型玻璃基板，因此，在输送和成本的角度来说，也必须使检查装置本体小型化。
与这样的观点相反，上述基板检查装置需要可使下载物台203、上载物台205在XY方向上移动的基板尺寸的4倍以上空间，装置本体增加相当于该空间的尺寸。
图13是示出现有的该种基板检查装置结构的图。该基板检查装置记载在日本专利特开平11-94756号公报中，谋求装置本体的小型化。该基板检查装置，在载物台基座301上设有用于载置大型玻璃基板302的保持架303。
此外，在载物台基座301两侧，分别设置了导轨304、404，在这些导轨304、304上，可向Y方向移动地设置有门型的显微镜头移动台305。在该显微镜头移动台305的水平梁306上，可向X方向移动地设置有显微镜头307。
在显微镜头移动台305的底板上，设有透过线照明308。在显微镜头307中，在微观观察单元309上设置有物镜310和目镜311。此外，在显微镜头307上，设有宏观照明312和指标用照明313。
在微观观察单元309上，安装有TV摄像机314。利用该TV摄像机314拍摄的大型玻璃基板302的观察图像，显示在TV监视器315上。控制部316进行缺陷位置坐标管理以及显微镜头移动台30和显微镜头307的移动控制。
这样的基板检查装置中，使显微镜头307沿着显微镜头移动台305向X方向直线移动，并使显微镜头移动台305沿着导轨304、304向Y方向直线移动。由此，在将大型玻璃基板302固定的状态下，可使显微镜头307对大型玻璃基板302的整个面进行光栅扫描，进行检查。
但是，在图13所示的基板检查装置中，需要将显微镜头307设在显微镜头移动台305上，对大型玻璃基板302的整个面进行观察。因此，在台座301上，需要在离开保持架303的位置上设置显微镜头移动台305的移动空间A，台座301成大型化，增加该移动空间A的尺寸。
此外，要求基板检查中所需的测定间隔时间缩短，但由于用一个显微镜头307来对1000mm角尺寸的大型玻璃基板302进行测定，因此测定间隔时间的缩短是有限度的。
图14是现有FPD等玻璃基板的表面外观图。图14所示的玻璃基板的四角上，复制有在FPD等的各制造工序中用于调整位置的标记200。图14中，示出了在规定的制造工序中复制的标记200。向涂敷在基板上的保护层准确地复制形成于掩模上的图形时，在玻璃基板的四角上形成的标记200上，准确对准形成于掩模的四角上的标记并曝光。
在各制造工序的下游侧，检查用输送机传送过来的玻璃基板上的各标记的焦点�：蚯啡钡热毕莼虮昙堑钠�。之后，在这些标记不存在缺陷或标记偏离的情况下，判定复制良好、上游侧的位置调整准确。
在该输送机上设置四个TV摄像机，同时拍摄四角的标记进行检查。但是，在该结构中，由于设置了四个TV摄像机，所以成本变高。
发明内容
本发明的目的是提供一种能够缩短基板检查所需的测定间隔时间、实现装置本体的小型化的基板检查装置。
本发明的基板检查装置，具备载物台，载置被检查体；门型臂，跨越载置于该载物台上的所述被检查体，具有与该被检查体面平行的水平梁；两个检查头，中间夹着该门型臂的水平梁、且以相互背对的状态设置。
图1是示出本发明第一实施方式的基板检查装置结构的外观立体图。
图2是示出本发明第一实施方式的基板检查装置结构的侧视图。
图3是示出本发明第一实施方式的检查头的移动状态的图。
图4A、图4B是示出本发明第一实施方式的检查头中的观察区域的图。
图5是示出本发明第二实施方式的基板检查装置结构的侧视图。
图6是示出本发明第三实施方式的基板检查装置结构的侧面剖视图。
图7是示出本发明第三实施方式的基板检查装置的外观的正视图。
图8是示出本发明第三实施方式的辊式输送机的结构的俯视图。
图9是示出本发明第三实施方式的定向机构的各机构结构的侧视图。
图10是示出本发明第三实施方式的定向机构结构的侧视图。
图11是示出本发明第四实施方式的基板检查装置结构的外观立体图。
图12是示出现有基板检查装置结构的图。
图13是示出现有基板检查装置结构的图。
图14是本发明实施方式及现有玻璃基板的表面外观图。
具体实施例方式
下面，参照附图对本发明的实施方式进行说明。
图1和图2是示出本发明第一实施方式的基板检查装置结构的图，图1是外观立体图，图2是侧视图。
该基板检查装置在台座1上固定有载置大型玻璃基板2的载物台(固定载物台)3。在该载物台3上的规定处设置有多个基板压紧部件4。多个基板压紧部件4例如将大型玻璃基板2吸附保持。
在台座1的左侧部和右侧部，分别设有导轨6、6。在这些导轨6、6上，跨越载物台3、且可向Y方向移动地设置有门型的检查头移动台(门型臂)7。
在该检查头移动台7的水平梁71上，中间夹着水平梁71、以相互背对的状态设置有两个检查头81、82。通过用马达使设在水平梁71内的球状导轨旋转，可将这些检查头81、82沿着水平梁71向X方向移动。作为检查头81、82，可使用各种检查头，例如将缺陷或图形放大观察的检查头、计测图形形状的检查头、或者是进行滤色镜的分光测光的检查头。
在检查头81、82上，分别安装有物镜83、83。在检查头81、82上，分别通过连结用镜筒91、92安装了TV摄像机93、94。
检查头81、82设置成可向相对于检查头移动台7的移动方向(Y方向)垂直的方向(X方向)移动。检查头81、82夹着水平梁71，在与检查头移动台7的移动方向相同的方向上，以规定间隔配置。
如图2所示，检查头81、82的各物镜系统的光轴间距离F，在检查头81、82的排列方向(Y方向)上，设定为不大于大型玻璃基板2的尺寸D的2分之1。
在检查头81、82上，组装如下的构成要素包括物镜83、83的成像光学系统，所述物镜83、83对分别保持在载物台3上的大型玻璃基板2的像进行成像；照明光学系统，对大型玻璃基板2照明；观察系统，观察大型玻璃基板2的像；对焦装置，在大型玻璃基板2上对准焦点。
成像光学系统具有物镜83的转换功能(旋转转换器)和对焦功能(自动调焦)，照明光学系统具有反射照明功能，在观察系统上设有上述TV摄像机93、94。物镜83、83的转换功能和对焦功能被电动化，可以由控制部10进行�？亍�
各TV摄像机93、94拍摄分别由检查头81、82观察的大型玻璃基板2的观察图像，并输出各图像信号。这些图像信号被发送到控制部10。
此外，如图1所示，在台座1上设置有Y标度尺11，在检查头移动台7上设置有X标度尺12。控制部10具有进行Y标度尺11及X标度尺12的位置坐标的管理、或检查头移动台7及检查头81、82的移动控制的功能。
此外，控能部10具有如下的功能输入从TV摄像机93、94输出的各图像信号，并在这些图像信号中选择(选择装置)任一方或两方的图像信号，将该图像信号表示的大型玻璃基板2的观察图像显示在TV监视器(监视器装置)13上。
此外，控制部10具有如下的功能在进行检查头移动台7和检查头81、82的移动控制而使检查头81、82对大型玻璃基板2的各观察区域向XY方向移动了的情况下，使这些观察区域的边界部分的一部分相互重叠(重复)。
下面，对如上述构成的基板检查装置的动作进行说明。在载物台3上供给大型玻璃基板2时，大型玻璃基板2通过多个基板压紧部件4被定位，并被吸附保持在载物台3上。
图3是示出检查头的移动状态的图。之后，控制部10使透过线照明14、14亮灯，并使检查头移动台7和检查头93、94移动到图3所示的坐标原点位置O。之后，控制部10将检查头移动台7和检查头81、82控制为向X—Y方向移动，移动检查头81、82的各观察位置。
即，检查头移动台7沿着导轨6、6向Y方向直线移动，并且，各检查头81、82沿着检查头移动台7的水平梁71向X方向直线移动。
此时，如图4A、图4B所示，各检查头81、82在由大型玻璃基板2整个面的大约2分之1的区域构成的各检查头观察区域P1、P2内移动。即，如图4A所示，一方的检查头81的物镜83在检查头观察区域P1内移动，并且，如图4B所示，另一方的检查头82的物镜83在检查头观察区域P2内移动。因此，检查头移动台7和检查头81、82在大型玻璃基板2整个面的大致2分之1的区域内移动。
再有，控制部10在进行检察头移动台7和检查头81、82的移动控制而使检查头81、82的各光轴(物镜83、83的各光轴)分别在各检查头观察区域P1、P2内移动的情况下，在这些检查头观察观察区域P1、P2边界处，使区域P1、P2的一部分相互重叠。
与此同时，TV摄像机93拍摄用检查头81的物镜83观察的检查头观察区域P1内的大型玻璃基板2的观察图像，并输出其图像信号。与此同时，TV摄像机94拍摄用显微镜头82的物镜83观察的头观察区域P2内的大型玻璃基板2的观察图像，并输出其图像信号。这些图像信号被发送到控制部10。
控制部10输入从TV摄像机93、94输出的各图像信号，在这些图像信号中选择任一方或两方，并将表示该图像信号的大型玻璃基板2的观察图像显示在TV监视器13上。此外，控制部10输入从TV摄像机93、94输出的各图像信号的两方，将TV监视器13的画面分割成两个，能够分别在各分割画面上显示头观察区域P1、P2的大型玻璃基板2的观察图像。
此外，控制部10读出由其他宏观检查装置提取出的、大型玻璃基板2上的各缺陷坐标数据，并根据Y标度尺11和X标度尺12的数据求出缺陷部的位置坐标，对检查头移动台7和检查头81进行移动控制，使得检查头81的光轴与缺陷部一致。
由此，缺陷部进入检查头81的物镜83的视野内，该缺陷部被物镜83放大。之后，被放大的缺陷部的图像被TV摄像机93拍摄，显示在TV监视器3上。
此外，在对大型玻璃基板2的整个面进行光栅扫描的情况下，控制部10使检查头移动台7在Y方向上移动，并使检查头81、82在X方向上移动，同样，也可以输入用检查头81、82的TV摄像机93、94取入的放大图像数据。
在结束该微观观察之后，若对控制部10发送规定的指示，则检查头移动台7和检查头81、82恢复到初始位置。之后，从载物台3卸下检查完毕的大型玻璃基板2，新的未检查的大型玻璃基板2被载置到载物台3上。
如上所述，在上述第一实施方式的基板检查装置中，具备载置大型玻璃基板2的载物台3；检查头移动台7，跨越在该载物台3上载置的大型玻璃基板2而设置，且设置成可相对于载物台3向Y方向移动；两个检查头81、82，设置成可向与该检查头移动载物台7的移动方向垂直的方向(X方向)移动，且在各物镜83、83位于外侧的状态下，在与检查头移动台7的移动方向相同的方向上以规定间隔配置。
由此，在载物台3的空间上加上设置各导轨6的空间的空间内，能够收容检查头移动台7和两个检查头81、82，可将装置本体尺寸缩小到极限。具体来说，如图2和图3所示，可将装置本体的纵向尺寸S缩小到比大型玻璃基板2的Y方向尺寸D稍微大的尺寸。此外，在检查中，检查头81、82不会突出于大型玻璃基板2的外侧，可实现装置设置区域的空间的节省。
此外，如图3所示，可将装置本体的宽度尺寸S2，缩小到比在大型玻璃基板2的宽度上加上检查头移动台7的两个支柱的宽度的尺寸稍微大的尺寸。
并且，如图4A、4B所示，两个检查头81、82，只要分别在大型玻璃基板2的整个面的大致2分之1的各观察区域P1、P2内移动即可。因此，与只具备一个检查头的情况相比，可将向检查头移动台7的Y方向移动的移动行程缩短成2分之1，能够缩短测定间隔时间。在缩短该检查头移动台7的移动距离的基础上，通过在水平梁71上背对地对称设置两个检查头81、82，可改善检查头81、82对于检查头移动台7的水平梁71的平衡，减轻对驱动系统的负荷。
因此，不仅能够满足液晶显示器生产量的急剧增加，且能够满足基板检查所需的测定间隔时间的缩短化，进一步能够满足用户为抑制设备投资额而提出的装置本体小型化的要求。
此外，将两个检查头81、82的各物镜系统的光轴间距离F，设定为不大于大型玻璃基板2的纵向尺寸的2分之1，且将检查头81、82设置成相互背对。由此，两个检查头81、82不会向大型玻璃基板2的外部突出较大尺寸，即能够可靠地观察大型玻璃基板2的整个面。
此外，在使两个检查头81、82分别在各检查头观察区域内移动的情况下，在这些检查头观察区域P1、P2的边界处，通过使区域P1、P2的一部分相互重叠，能够可靠地检查头观察区域P1、P2的边界。
图5是示出本发明的第二实施方式的基板检查装置结构的侧视图。图5中，在与图1相同的部分标注了相同的标记。
图5中示出设置了一台TV摄像机时的光学系统结构。两个检查头81、82构成相同的结构。例如，将一个检查头81为例说明其结构设有反射用照明100，并在从该反射用照明100输出的反射用照明光的光路上，经过透镜101后设置了半透半反射镜102。在该半透半反射镜102的反射光路上，设置了物镜103。在从该物镜103透过半透半反射镜102的透射光路上，设置了光路折弯反射镜104。另一个检查头82的结构与检查头81相同，因此省略说明。
在这些检查头81、82中的各光路折弯反射镜104、104之间，设置了光路选择反射镜(选择装置)105。该光路选择反射镜105，通过旋转将来自各检查头81、82中任一个的像，透过成像透镜106后向一台TV摄像机93反射。该TV摄像机93可设置在检查头81、82的一方的上面。
根据这样的结构，在各检查头81、82中，分别从反射用照明100输出的反射用照明光透过透镜101、101之后入射到半透半反射镜102、102，在该半透半反射镜102、102上反射之后，被物镜103、103照射到大型玻璃基板2的表面上。
来自该大型玻璃基板2表面的像，从物镜103、103入射到半透半反射镜102、102，并透过该半透半反射镜102、102后入射到光路折弯反射镜104、104，在此反射之后入射到光路选择反射镜105。
光路选择反射镜105通过旋转，将来自检查头107、108的像中任一方经过成像透镜106之后向一台TV摄像机93反射。TV摄像机93拍摄入射的来自大型玻璃基板2表面的像，输出其图像信号。
控制部10输入从TV摄像机93输出的图像信号，将该图像信号进行图像处理之后，将大型玻璃基板2的观察图像显示在TV监视器13。
如上所述，根据上述第二实施方式，通过光路选择反射镜105，来自检查头81、82的一方的像透过成像透镜106后入射到一台TV摄像机93，因此，不必设置两台TV摄像机，进一步简化了装置结构。
再有，在上述第一、第二实施方式中，说明了设置两个检查头81、82的情况，但也可以将由两个检查头81、82构成的多个检查头，设置成可相对于检查头移动台7移动。例如，通过设置2组由两个检查头构成的检查头，来使一个检查头的观察区域缩小为大型玻璃基板6的整个面的大致4分之1，能够进一步缩短测定间隔时间。
此外，上述基板检查装置不限于液晶显示器的大型玻璃基板6，能够适用于平板显示器(FPD)的玻璃基板、滤色镜等大型玻璃基板的缺陷检查中。
图6是示出本发明第三实施方式的基板检查装置的外观的侧面剖视图，图7是其正视图。该基板检查装置设置在FPD生产线中的、在两个制造工序之间搬送大型玻璃基板的输送带上。
跨越辊式输送机101、且在基座102上的左右两侧，设置了门型检查头移动台(门型臂)110。在检查头移动台110的水平梁111上，借助支承部件105设置了两个检查头103、104，该两个检查头103、104设置成通过未图示的马达和滚珠丝杠，可向与输送机101的移动方向(Y方向)正交的方向(X方向)移动。这些检查头103、104在水平梁111上以规定间隔背对地配置。检查头103、104利用线性马达等致动器设置成相对于支承部件105可向箭头方向(Y方向)移动，以便可调整双方的物镜106、107的间隔LY。
检查头103、104是为了对图14中所示的玻璃基板108四角的标记200进行放大观察而设置的。在检查头103、104上，分别安装物镜106、107，并通过摄影机用镜筒113、114安装了TV摄像机115、116。在这些检查头103、104上组装了成像光学系统，包括如后述对保持在输送机101上的玻璃基板108的像进行成像的物镜106、107；照明光学系统，对玻璃基板108照明；观察系统，对玻璃基板108的像进行观察；对焦装置，在玻璃基板108上聚焦。
成像光学系统具有物镜106、107的转换功能(旋转转换器)和对焦功能(自动调焦)，照明光学系统具有反射照明功能，在观察系统上设有上述TV摄像机115、116。物镜106、107的转换功能和对焦功能被电动化，可以由控制部117进行�？�。各TV摄像机115、116拍摄分别用检查头103、104观察的大型玻璃基板108的观察图像，并输出各图像信号。这些图像信号被发送到控制部117。
再有，控制部117具有管理来自马达的编码器的脉冲的位置坐标或进行检查头移动台110、检查头103、104的移动控制的功能；以及输入从各TV摄像机115、116输出的各图像信号、将其玻璃基板108的图像显示在TV监视器(监视装置)118上的功能。
图8是示出辊式输送机101的结构的俯视图。辊式输送机101两侧的支承部件120、120将圆柱形棒状的多个辊支承轴121可旋转地保持。在各辊支承轴121上，以规定间隔支承了多个辊122。各辊支承轴121的一端贯通支承部件120，在其端部安装了滑轮123。在各滑轮123上向着Y方向挂着皮带124。
在输送机101中，通过用由马达构成的未图示的驱动机构来转动末端的滑轮123，通过各滑轮123使皮带124向Y方向旋转。由此，各滑轮123向Y方向旋转，因此，辊122随着各辊支承轴121的转动而转动，向Y方向搬送搭载在多个辊122上的玻璃基板108。
在输送机101的上游侧入口附近的基座102上，设置有检测玻璃基板108的到来状况的反射型光电传感器125。在输送机101的下游侧出口附近的基座102上，沿着玻璃基板108的行进方向(Y方向)，设置有检测玻璃基板108的到来状况的两个反射型光电传感器126、127。
此外，在输送机101的上游侧和下游侧，设置有使运过来的玻璃基板108分别定向成Y方向的定向机构41、42。定向机构41、42分别由两个机构411、412以及421、422构成，机构411、412之间、以及机构421、422之间分别设置成从支承部件120、120之间的中心形成等间隔。各机构411、412、421、422，如后述由气缸43等构成。
并且，在输送机101的两侧，沿着支承部件120、120，设置有使运过来的玻璃基板108分别定向成X方向的定向机构51、52。各定向机构51、52如后所述地由可动板511、两个销512、512、两组气缸513、513等构成。
再有，上述马达、光电传感器125、26、127以及定向机构41、42、51、52的各气缸等被控制部117控制。
图9是示出定向机构41、42的各机构411、412、421、422的结构的侧视图。图9的机构中，在基座102上安装有保持驱动部401的保持部件402。保持部件402为板状，并直立设置在基座102上，在其侧面上固定有构成驱动部401的气缸403。气缸403安装成可使其可动部404向Y方向移动。
此外，在保持部件402上端部的侧面，可相对于所述侧面转动地轴支承着用于压紧玻璃基板108的边缘的压紧部405。而且，在气缸403的可动部404前端上安装有连结部件406，该连结部件406和压紧部405连结成可相互转动。
在玻璃基板108不在输送机101上时，各机构411、412、421、422的可动部404收容在气缸403内，压紧部405的突出片4051退避到玻璃基板108的通过面a下方。
图10是示出定向机构51、52结构的侧视图。在图10的机构中，两组气缸513在基座102上并列安装。可动板511的剖面成“L”字状，在其纵向板5111上安装有各气缸513的可动部514前端。此外，在可动板511的横向板5112上，在Y方向上以规定间隔可转动地轴支承着两个销512。
在玻璃基板108不在输送机101上时，各定向机构51、52的可动部514、514分别从气缸513、513内推出，具备销512、512的各可动板511、511分别退避到支承部件120、120侧。
下面，对如上构成的装置的动作进行说明。
在上游侧的制造工序中完成处理的玻璃基板108，被未图示的输送机搬送到输送机101的上游侧入口，递到输送机101上。该玻璃基板108通过上述马达的驱动在输送机101上沿着Y方向被搬运，当其前边缘到达光电传感器125的位置时，光电传感器125检测出玻璃基板108到达输送机101上。
随之，在玻璃基板108的前边缘到达光电传感器126的位置时，光电传感器216检测出玻璃基板108的到来。当光电传感器126检测出玻璃基板108的到来时，控制部117使上述马达的驱动减速。由此，玻璃基板108在Y方向上减速行进。之后，当玻璃基板108的前边缘到达光电传感器127的位置时，光电传感器127检测出玻璃基板108的到来。当光电传感器127检测出玻璃基板108的到来时，控制部117使上述马达停止驱动。由此，玻璃基板108在输送机101的中央附近的检查位置停止。
接着，控制部117驱动定向机构51、52。此时，控制部117将定向机构51、52的各可动部514同时拉回到气缸513内。此时，各定向机构51、52中，各可动板511、511在X方向上向着输送机101中央移动。由此，玻璃基板108的两侧边缘被各销512压向在输送机101中央。其结果，玻璃基板108被定位在输送机101上X方向的大致中央。
接着，控制部117驱动定向机构41、42。此时，控制部117将机构411、412、421、422的各可动部404同时从气缸403内推出。此时，各机构411、412、421、422中，随着连结部件406的向前方的移动，各压紧部40绕着轴4050转动，且各压紧部405的突出片4051直立成大致与通过面a垂直。由此，玻璃基板108的前边缘被机构421、422的各突出片4051压向上游侧，并且，后边缘被机构411、412的各突出片4051压向下游侧。此时，与玻璃基板108的各侧边接触的各销512，随着玻璃基板108向Y方向的移动而转动。其结果，玻璃基板108在输送机101上，被定位在X方向和Y方向的大致中央。
接着，当检查者对控制部117进行规定的操作时，控制部117沿着检查头移动台110使检查头103、104在X方向上移动，并使各检查头103、104的物镜106、107定位到相对于输送机101的移动方向位于左侧的玻璃基板108的各标记200、200上。再有，物镜106和物镜107的光轴间隔预先调节成与在Y方向上排列的两个标记200、200的之间的距离一致。控制部117中输入有形成在玻璃基板108的四角上的四个标记100的Y方向间隔尺寸LY和X方向间隔尺寸LX。
TV摄像机115拍摄用检查头103的物镜106观察到的上游侧标记200的像，并输出其图像信号。与此同时，TV摄像机116拍摄用检查头104的物镜107观察到的下游侧标记200的像，并输出其图像信号。这些图像信号被发送到控制部117。
控制部117输入从各TV摄像机115、116输出的各图像信号，并将各标记200的观察图像显示到TV监视器118。检查者通过观察TV监视器118的图像，检查各标记200上是否存在焦点�：蚯啡钡热毕莼虺叽缥蟛�。
接着，当由检查者对控制部117进行规定的操作时，控制部117沿着检查头移动台110，将检查头103、104只移动规定的X方向间隔尺寸LX，并使各检查头103、104的物镜106、107定位到相对于输送机101的移动方向位于右侧的玻璃基板108的各标记200、200上。
TV摄像机115拍摄用检查头103的物镜106观察到的上游侧标记200的像，并输出其图像信号。与此同时，TV摄像机116拍摄用检查头104的物镜107观察到的下游侧标记200的像，并输出其图像信号。这些图像信号被发送到控制部117。
控制部117输入从各TV摄像机115、116输出的各图像信号，并将各标记200的观察图像显示到TV监视器118。检查者通过观察TV监视器118的图像，检查各标记200上是否存在焦点�：蚯啡钡热毕莼虮昙瞧�。
之后，在玻璃基板108上的所有标记上不存在异常的情况下，检查者对控制部进行规定的操作，控制部117驱动定向机构51、52。此时，控制部117将机构51、52的各可动部514同时从气缸513内推出。此时，各定向机构51、52中，各可动板511、511向着支承部件120、120侧在X方向上移动。由此，各销512从玻璃基板108的两侧边退避。
接着，控制部117驱动定向机构41、42。此时控制部117将机构411、412、421、422的各可动部404同时拉回气缸403内。此时，在各机构411、412、421、422中，随着连结部件406向后方移动，压紧部405绕着轴4050转动，压紧部405的突出片4051退避到通过面a的下方。
之后，控制部117再次驱动上述马达。由此，玻璃基板108在输送机101上向下游侧的制造工序移动。
再有，在玻璃基板108的任一标记存在有异常的情况下，由检查者使玻璃基板108从输送机101撤出。
此外，在检查不同尺寸的玻璃基板108上的标记的情况下，通过将检查头103、104相对于支承部件105移动一定距离，并向控制部输入该玻璃基板108的四个标记200在输送机101上的位置信息来对应。
此外，若从设计数据中将各种玻璃基板108上的标记的X方向间隔尺寸和Y方向间隔尺寸预先注册到控制部117的存储器中，则仅通过在控制部117中输入玻璃基板的类别信息，可将各检查头103、104的物镜106、107的Y方向间隔、和检查头103、104的X方向移动距离自动进行设定。
如上所述，根据上述第三实施方式，在玻璃基板在辊式输送机上处于等待的期间，可检查调整位置的标记，并且，能够用两个检查头同时进行位置调整的标记，因此，能够缩短处理时间，其中，该辊式输送机用于在制造工序中搬入玻璃基板。并且，通过对两个检查头在一个方向上(X方向)只控制规定距离，可在四角的标记上容易位置调整各检查头。
此外，通过仅调整两个检查头的间隔和X方向的移动距离，可对应各种尺寸的玻璃基板。
再者，通过将在辊式输送上搬运过来的玻璃基板在检查位置进行定位，可将两个检查头准确定位于各标记上面。
即，根据上述第三实施方式的玻璃基板检查装置，对被辊式输送机从上游侧的制造工序运过来的对象基板上的至少四角的标记，通过廉价的结构在短时间内进行缺陷判定或尺寸测定，可将上述对象基板流向下游侧的制造工序。
此外，通过在辊式树洞记上对对象基板进行定位，使两个检查头准确位于各对象标记上。此外，通过仅调整两个检查头的水平梁方向的移动距离、和两个检查头之间的距离，即可对应各种尺寸的基板。
再有，上述的玻璃基板上四角的标记的检查，不局限于上述第三实施方式所示结构的基板检查装置，也可用上述第一、第二实施方式所示的、利用可移动的检查头移动台的结构的基板检查装置来实施。
此时，利用线性马达等致动器将检查头81、82设置成相对于水平梁71可向箭头方向(Y方向)移动，以便可调整双方的物镜83、83的间隔。由此，使标记的Y方向间隔尺寸和物镜83、83的间隔尺寸一致，可检查在Y方向上并列的两个标记。之后，通过使检查头81、82在X方向上移动规定距离，可检查另外两个标记。
图11是示出本发明第四实施方式的基板检查装置结构的外观立体图。图11中与图1相同的部分标注相同标记。
在检查头移动台7的水平梁71上设置有支承部件97，在该支承部件97的两端以夹着水平梁71的状态安装有TV摄像机93、94，作为各检查头。在TV摄像机93、94上分别安装有摄影头95、96。具备TV摄像机93、94的支承部件97，通过设置在水平梁71下部的未图示的导轨，与未图示的马达一体地沿着水平梁71可在X方向上移动。
由此，在上述第四实施方式的基板检查装置中，通过在与检查头移动台7的移动方向相同的方向上、以规定间隔设置两个TV摄像机93、94，可对玻璃基板表面的任意部分进行拍摄。
再有，本发明不局限于上述各实施方式，在不改变主旨的范围内可适当变形来实施。
工业上的可利用性根据本发明，可提供一种缩短基板检查所需的测定间隔时间、且实现装置本体的小型化的基板检查装置。
权利要求
1.一种基板检查装置，其特征在于，具备固定台，载置被检查体；门型臂，设置成跨越载置于该固定台上的所述被检查体；两个检查头，中间夹着该门型臂的水平梁、且以相互背对的状态设置。
2.根据权利要求1的基板检查装置，其特征在于，所述各检查头从检查光轴到所述水平梁侧具备构成要素。
3.根据权利要求1的基板检查装置，其特征在于，所述门型臂相对于所述固定台可向一方向移动；所述两个检查头设置成可在与所述门型臂的移动方向垂直的方向上移动，并且，在与所述门型臂的移动方向相同的方向上以规定间隔配置。
4.根据权利要求1的基板检查装置，其特征在于，所述两个检查头的检查光轴之间的距离，小于或等于所述被检查体在所述各检查头的排列方向上的尺寸的2分之1。
5.根据权利要求1的基板检查装置，其特征在于，具备两个摄像装置，分别安装在所述两个检查头上；选择单元，选择所述两个摄像装置中的至少一个；显示部，输入从由该选择单元选择的所述摄像装置中输出的图像信号，显示所述被检查体的图像。
6.根据权利要求1的基板检查装置，其特征在于，具备选择单元，选择来自所述两个检查头的各观察像中的一个；摄像单元，拍摄由该选择单元选择的所述观察像；显示部，输入从所述摄像单元输出的图像信号，显示所述被检查体的图像。
7.根据权利要求1的基板检查装置，其特征在于，与分别移动所述两个检查头时的所述被检查体相对应的各观察区域，其一部分相互重叠。
8.根据权利要求1的基板检查装置，其特征在于，所述两个检查头分别由TV摄像机构成。
9.根据权利要求1的基板检查装置，其特征在于，所述固定台由辊式输送机构成，该辊式输送机搬送至少在四角上形成有规定标记的所述被检查体；所述两个检查头设置成可沿着所述门型臂的水平梁、在与所述被检查体的移动方向正交的方向上移动，并且，在与所述被检查体的移动方向相同的方向上以规定间隔配置；还具备两个摄像单元，分别设置在所述两个检查头上，拍摄所述被检查体上的所述标记；控制单元，控制所述两个检查头同时仅移动规定距离，分别用所述两个摄像单元拍摄设定位置上的所述各标记，并将所述各标记的观察像显示在显示部上。
10.根据权利要求9的基板检查装置，其特征在于，具备定位单元，在所述固定台上，将所述被检查体定位在规定的检查位置上。
11.根据权利要求9的基板检查装置，其特征在于，所述两个检查头，相互背对着配置在沿着所述门型臂的水平梁可移动的支承部件上，并设置成可移动，以便可调整所述两个检查头的间隔。
全文摘要
本发明的基板检查装置具备固定台，载置被检查体；门型臂，设置成跨越载置于该固定台上的所述被检查体；两个检查头，中间夹着该门型臂的水平梁、且以相互背对的状态设置。
文档编号G01N21/88GK1582393SQ02821929
公开日2005年2月16日 申请日期2002年11月5日 优先权日2001年11月5日
发明者藤崎畅夫, 伊藤一也 申请人:奥林巴斯株式会社
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