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专利名称：一种压电石英晶体传感器芯片的制作方法
技术领域：
本实用新型为一种压电石英晶体传感器芯片，用于气相或液相中微量物质的检测，属于科学检测仪器领域。
背景技术：
石英晶体微天平(QCM)是一种新型传感器测量技术，它利用石英振子的频率变化与晶体表面的质量变化成正比的原理，可检测电极表面ng级的质量变化及溶液粘度、密度、修饰膜粘弹性等参数的变化，具有灵敏度高，可以实时测量等特点，在现代化学、材料科学、生物学和医学等领域开展微观过程和作用机理的探索研究中呈现出良好的发展前景。石英晶体传感器的核心部件是石英晶体传感器芯片，芯片的结构形式直接关系到承载传感器芯片支架结构的繁简和实用性。现有的石英晶体传感器芯片，基片两面的电极引线区均处于基片圆周的不用方向，一般为径向相反方向，这种芯片的适用性具有局限性， 不能适用于“夹持式”传感器支架。石英晶体传感器芯片结构的单一性致使石英晶振检测的适应性受到局限。
发明内容本实用新型的目的是提供一种压电石英晶体传感器芯片，以一种新的结构设计弥补现有技术的不足，特别适于“夹持式”传感器支架使用。本实用新型采用的技术方案如下一种压电石英晶体传感器芯片，由石英晶体基片及其两面的金属电极构成，所述两面金属电极的面积可以相同也可以不同，金属电极为石英晶体基片两面的金属镀层，金属镀层的材质可为金、银、钛、不锈钢等各种金属。金属镀层按照其功能可划分为位于石英晶体基片中心的圆形电极工作区和延长至石英晶体基片边沿处的电极引线区。本石英晶体基片两面的电极引线区处于基片圆周径向的同一方向， 即基片两面的电极引线区在轴向上投影重合，特别适于“夹持式”传感器支架使用，可方便地插入气体环境中或待检试样溶液中进行检测。本实用新型提供的压电石英晶体传感器芯片具有的有益效果是由于石英晶体基片两面的电极引线区处于基片圆周径向的同一方向，可简单方便地使用“夹持式”传感器支架，既可插入气体环境中检测，也可在检测池、烧杯、反应瓶等装有待测试样的各种容器中或现场在线实时监测，具有广泛的适用性。

图1是本案石英晶体传感器芯片的主视图，图2是图1中A-A所示剖面图。图中，1一a面金属电极，2—石英晶体基片，3— b面金属电极，4一电极工作区，5— 电极引线区。
具体实施方式
[0009]
以下结合附图对本实用新型作进一步说明。如图所示，一种压电石英晶体传感器芯片，由a面金属电极1、石英晶体基片2和b 面金属电极3构成。石英晶体基片2为AT切割的石英晶体片，金属电极1和3为附着在石英晶体基片2两面(a、b)的金属镀层。两面(a、b)金属电极1和3的面积可以相同，也可以不同，其材质可为金、银、钛、不锈钢等多种金属之一。金属电极1和3按照其功能可划分为位于石英晶体基片中心的圆形电极工作区4和延长至石英晶体基片边沿处的电极引线区5。两面(a、b)金属电极1和3的电极引线区5处于石英晶体基片2圆周径向的同一方向，即基片两面的电极引线区5在轴向上投影重合，特别适用于“夹持式”传感器支架使用。
权利要求1. 一种压电石英晶体传感器芯片，由石英晶体基片及其两面的金属电极构成，其特征在于，石英晶体基片(2)两面的电极引线区(5)处于基片圆周径向的同一方向。
专利摘要一种压电石英晶体传感器芯片，用于气相或液相中微量物质的检测，由石英晶体基片及其两面的金属电极构成。现有的石英晶体传感器芯片，基片两面的电极引线区均处于基片圆周的不用方向，一般为径向相反方向，本实用新型的石英晶体基片两面的电极引线区处于该基片圆周径向的同一方向，特别适用于“夹持式”传感器支架使用。
文档编号G01N5/02GK202256091SQ20112032836
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月3日 优先权日2011年9月3日
发明者卢良峰, 孙宪光, 崔学晨, 崔实, 张利群 申请人:崔学晨