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专利名称：用于测量大直径单晶的检测台的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于检测半导体级硅单晶体的工具。特别是一种用于测量大 直径单晶的检测台。随着半导体硅单晶事业的不断发展，用切克劳斯基(Czochralski)法制造的硅单 晶尺寸越来越大，这样才能适应市场的需求，满足客户的要求。单晶在给客户之前，要对单晶进行一系列的参数检测，而尺寸大则单晶重量也较 大。检测人员在进行检测时要对单晶要进行直径测量，端面直径测量，等径直径测量，端面 及单晶体崩边，裂纹，针孔的检测，因此单晶要来回搬动，翻滚，进行全方位的观测。因此单 晶要来回滚动检测，而上百公斤重的单晶靠工人滚动很费力，且单晶容易造成磕碰，对产品 的成品率有影响。本实用新型的目的是提供一种用于测量大直径单晶的检测台，使用本设备可提高 工作效率，更加准确的检测单晶。为达到上述的发明目的，本实用新型采用以下技术方案这种用于测量大直径单晶的检测台，它包括台架，台架的台面中部有一弧形凹 槽，台架的一侧设有驱动轮，驱动轮通过链条连接链轮，链轮上装有支撑单晶的拖辊，链条 上设有张紧轮，台架的底部装有万向轮，台架的上方装有照明装置。拖辊用的是聚氨酯，聚氨酯(简称PU)是由多异氰酸酯和聚醚多元醇或聚酯多元 醇或/及小分子多元醇、多元胺或水等扩链剂或交联剂等原料制成的聚合物。聚氨酯弹性 体可在较宽的硬度范围具有较高的弹性及强度、优异的耐磨性、耐油性、耐疲劳性及抗震动 性，具有“耐磨橡胶”之称。本实用新型的优点是单晶放置在检测台上，靠拖辊支撑，并可通过拖辊滚动单 晶，使单晶不用检测人员在地面上滚动，减少了单晶的磕碰，减轻了操作人员的体力工作。 通过上方的光照，可以很清楚的观察到单晶的滑移和位错。使用本设备可提高工作效率，更 加准确的检测单晶。

图1 本实用新型的结构示意图图2 本实用新型的结构示意图的侧视图图3:图2中A-A剖面图
具体实施方式
图1、图2、图3中，1为Φ400工件；2为Φ300工件；3为台架，台架的台面中部有一弧形凹槽，台架的一侧设有驱动轮6，驱动轮通过链条5连接链轮4，链轮上装有支撑单晶 的拖辊12，链条上设有张紧轮9，台架的底部装有万向轮10，台架的上方装有照明装置，驱 动轮的端部装有摇把7 ；8为护罩；11为柔性台面；12为拖辊。台面的材料为聚氨酯材料做成的。[0014]所述的万向轮可为4个。操作时，将硅棒用天车吊到测试台上，通过测试台的拖辊支撑 单晶，摇动摇把，通 过链轮、链条、驱动轮使拖辊转动，并带动单晶缓慢转动。
权利要求一种用于测量大直径单晶的检测台，其特征在于它包括台架，台架的台面中部有一弧形凹槽，台架的一侧设有驱动轮，驱动轮通过链条连接链轮，链轮上装有支撑单晶的拖辊，链条上设有张紧轮，台架的底部装有万向轮，台架的上方装有照明装置。
2.根据权利要求1所述的一种用于测量大直径单晶的检测台，其特征在于驱动轮的 端部装有摇把。
3.根据权利要求1所述的一种用于测量大直径单晶的检测台，其特征在于台面的材 料为聚氨酯材料做成的。
4.根据权利要求1所述的一种用于测量大直径单晶的检测台，其特征在于所述的万 向轮为4个。
专利摘要一种用于测量大直径单晶的检测台，它包括台架，台架的台面中部有一弧形凹槽，台架的一侧设有驱动轮，驱动轮通过链条连接链轮，链轮上装有支撑单晶的拖辊，链条上设有张紧轮，台架的底部装有万向轮，台架的上方装有照明装置。本实用新型的优点是将原来只能在地面上滚动单晶测，手持光源进行检测，改为靠拖辊支撑单晶，并缓慢滚动单晶，光照均匀，从而减少了单晶的磕碰，大大减少人力的搬运，保证了单晶的安全，同时照明设备使得单晶的观测更加清楚，使单晶检测更加简便，数据更加准确。
文档编号G01B5/00GK201569388SQ20092027782
公开日2010年9月1日 申请日期2009年11月26日 优先权日2009年11月26日
发明者曹孜, 李惠, 石宇 申请人:北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司