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专利名称：一种测量电子束束斑尺寸的测量装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及电子技术领域，具体涉及一种测量装置。
背景技术：
在大量电子束相关的应用中，电子束聚焦束斑的尺寸对系统的性能有着重要影响。因此准确测量电子束束斑尺寸是十分必要的。目前低能电子束束斑尺寸的测量主要通过荧光屏、细缝、探丝、刀口等直接测量方式。在微米级束斑测量中，荧光屏法因为存在“晕光效应”等不足，不易应用；而双刀口法是最为广泛应用的一种直接测量方式，并被广泛应用在亚微米级束斑的测量中。双刀口法实施方式如图1所示，其中辅助偏转系统1、刀口 2、待测电子束3、法拉第筒4、电流测量系统5。辅助偏转系统1控制待测电子束3勻速扫过刀口 2，电流测量系统5 测量法拉第筒4收集的电流。上述设计方法，存在刀口散射产生的测量误差、提高了实施难度等问题。

实用新型内容本实用新型的目的在于，提供一种测量电子束束斑尺寸的测量装置，解决以上技术问题。本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现一种测量电子束束斑尺寸的测量装置，包括一辅助偏转系统、一法拉第筒、一与所述法拉第筒连接的电流测量系统，其特征在于，所述辅助偏转系统与所述法拉第筒之间设有一辅助法拉第筒，所述辅助法拉第筒的底部设有一倾斜的槽口，所述槽口联通所述辅助法拉第筒的顶部；所述辅助法拉第筒的两端连接所述电流测量系统。本实用新型采用辅助法拉第筒代替了原有的双刀口法测量中的刀口，与双刀口法比较，本实用新型可以有效减少刀口散射产生的测量误差，且实施简单方便。所述槽口的横截面为梯形，且所述槽口上窄下宽，形成一喇叭型槽口。电子束穿过槽口后，由于槽口为喇叭型，因此穿过槽口的电子束进一步减少了散射作用。所述槽口的中线与所述法拉第筒的入口中线重合。以便更好的把电子束均勻的拦截入法拉第筒中。有益效果由于采用上述技术方案，本实用新型可以有效减少刀口散射产生的测量误差，且实施简单方便。

图1为现有的双刀口法测量装置的结构示意图；图2为本实用新型的结构示意图；图3为辅助法拉第筒的结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本实用新型。参照图2、图3，一种测量电子束束斑尺寸的测量装置，包括一辅助偏转系统1、一法拉第筒4、一与法拉第筒4连接的电流测量系统5，辅助偏转系统1与法拉第筒4之间设有一辅助法拉第筒6，辅助法拉第筒6的底部设有一倾斜的槽口 61，槽口 61联通辅助法拉第筒6的顶部。辅助法拉第筒6的两端连接电流测量系统5。本实用新型采用辅助法拉第筒 6代替了原有的双刀口法测量中的刀口，与双刀口法比较，本实用新型可以有效减少刀口散射产生的测量误差，且实施简单方便。参照图3，槽口 61的横截面为梯形，且槽口 61上窄下宽，形成一喇叭型槽口。电子束穿过槽口 61后，由于槽口 61为喇叭型，因此穿过槽口 61的电子束进一步减少了散射作用。槽口 61的中线与法拉第筒4的入口中线重合。以便更好的把电子束均勻的拦截入法拉第筒4中。本实用新型工作时，辅助偏转系统1的中线、辅助法拉第筒6的中线、法拉第筒4 的中线重合。通过上述设计，进行电子束束斑尺寸的测量，测量可以采用如下步骤1)使用辅助偏转系统控制电子束均勻扫过辅助法拉第筒的槽口、法拉第筒的入口，电流测量系统分别记录辅助法拉第筒和法拉第筒上的电流。2)电流测量系统测得辅助法拉第筒的电流波形，并对电流波形进行一次微分，确定脉宽时间At。3)电流测量系统测得法拉第筒的电流波形，确定相对尺寸比例T。4)辅助法拉第筒的槽口顶部的直径为宽度W。5)计算束斑尺寸B:B = iVx爭。以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.一种测量电子束束斑尺寸的测量装置，包括一辅助偏转系统、一法拉第筒、一与所述法拉第筒连接的电流测量系统，其特征在于，所述辅助偏转系统与所述法拉第筒之间设有一辅助法拉第筒，所述辅助法拉第筒的底部设有一倾斜的槽口，所述槽口联通所述辅助法拉第筒的顶部；所述辅助法拉第筒的两端连接所述电流测量系统。
2.根据权利要求1所述的一种测量电子束束斑尺寸的测量装置，其特征在于所述槽口的横截面为梯形，且所述槽口上窄下宽，形成一喇叭型槽口。
3.根据权利要求1或2所述的一种测量电子束束斑尺寸的测量装置，其特征在于所述槽口的中线与所述法拉第筒的入口中线重合。
专利摘要本实用新型涉及电子技术领域，具体涉及一种测量装置。一种测量电子束束斑尺寸的测量装置，包括辅助偏转系统、法拉第筒、与法拉第筒连接的电流测量系统，辅助偏转系统与法拉第筒之间设有辅助法拉第筒，辅助法拉第筒的底部设有倾斜的槽口，槽口联通辅助法拉第筒的顶部。辅助法拉第筒的两端连接电流测量系统。由于采用上述技术方案，本实用新型可以有效减少刀口散射产生的测量误差，且实施简单方便。
文档编号G01B7/00GK202255261SQ20112032664
公开日2012年5月30日 申请日期2011年9月1日 优先权日2011年9月1日
发明者夏忠平, 张学渊, 赵健, 钟伟杰 申请人:上海显恒光电科技股份有限公司