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Scinchez µÈÈË(Scinchez J M, el-Mansy S, Sun B,et al. Cross-sectionalnanoindentation: a new technique for thin film interfacial adhesion characterization. ActaMaterialia, 1999£¬47(17) : 4405 4413.)Ìá³öµÄÍ¿²ã½çÃæ½áºÏÇ¿¶ÈµÄÄÉÃ×ѹºÛ·½·¨¶Ô¸´ºÏ²ÄÁϵĽçÃæ½áºÏÇ¿¶È¼ì²âÓÐÒ»¶¨µÄ½è¼ø×÷Óã¬ÕâÖÖ·½·¨µÄ»ù±¾¹ý³ÌÊǽ«ÄÉÃ×ѹͷֱ½Ó×÷ÓÃÔÚ½çÃæÉÏ£¬Æä±íÕ÷½çÃæ½áºÏÇ¿¶ÈµÄ²ÎÊýÊǽçÃæ¿ªÁѵÄÁÙ½çÔØºÉ£¬¸Ã·½·¨¶ÔÓڽϺñµÄÍ¿²ã±È½ÏºÏÊÊ£¬µ«ÊǶÔÓڽϱ¡µÄÍ¿²ã²»Ì«Êʺϣ¬ÒòΪ¶ÔÓÚÌ«±¡µÄÍ¿²ã£¬²»Ò×ʹѹͷµÄÖÐÐÄλÖÃÕýºÃ¿ØÖÆÔÚ½çÃæÉÏ£¬ÔÚѹÈë·¨²âÁ¿½çÃæ½áºÏÇ¿¶Èʱ£¬ÖÁÉÙº¬ÓÐÒÔÏÂÁ½µã²»×ãÆäÒ»£¬ÔÚѹͷµÄ¸½½üÓ¦Á¦×´Ì¬·Ç³£¸´ÔÓ£¬²úÉúµÄ±ßԵЧӦʹµÃÄÑÒÔ¾«È·µØ¼ÆËã³öʵ¼ÊÓ¦Á¦µÄ´óС£¬´ÓÏÖÓеijɹû¿´£¬Ñо¿ÕßÃǶ¼²ÉÓÃÔÚѹͷµÄ¸½½ü»®·Ö×ã¹»¾«Ï¸µÄÍø¸ñÃܶÈÀ´ÃÖ²¹ÕâÒ»²»×㣬Æä¶þ£¬µ±²âÁ¿¶ÔÏóΪ´àÐÔÍ¿²ãʱ£¬ÓÐʱ»á³öÏÖ½çÃæ»¹Î´¿ªÁÑ£¬¶øÍ¿²ã±¾Éí¾ÍÏÈ¿ªÁÑÁË£¬Èç¹û³öÏÖÕâÖÖÇéÐΣ¬½«¸ø²ÉÓÃÓÐÏÞÔª¼ÆËã½çÃæ½áºÏÇ¿¶È´øÀ´ÀíÂÛ½¨Ä£µÄ¸´ÔÓÐÔ£¬±ÈÈçÔÚ½¨Ä£Ê±µÃ¿¼ÂÇÍ¿²ã¶¯Ì¬ÈýάÁÑÎÆµÄÀ©Õ¹Ä£ÐÍ£¬¼ÆËã³öÍ¿²ãÁÑÎÆÔÚ¶¯Ì¬µÄÀ©Õ¹¹ý³ÌÖÐÒýÆðµÄ½çÃæÓ¦Á¦³¡µÄ±ä»¯ºÍ½çÃæË²Ê±¿ªÁÑʱ½çÃæÉ϶ÔÓ¦µÄÓ¦Á¦×´Ì¬£¬¶ÔÓÚÊÇÒòΪ½çÃæ½áºÏÇ¿¶È¶øµ¼ÖµĽçÃæ»¹Î´¿ªÁѶøÍ¿²ãÏÈ¿ªÁѵÄÇéÐΣ¬Ñ¹Èë·¨Ò²¿ÉÒÔ´Ó¶¨ÐԵĽǶÈÈ¥ÆÀ¼Û¸ÃÖÖ²ÄÁÏÌåϵµÄ½çÃæ½áºÏÐÔÄÜ£¬±ÈÈç¸ø¶¨Ñ¹ÈëµãµÄλÖá¢Ñ¹Í·ÐÎ×´¡¢ÔغɴóСµÈ²ÎÊý£¬ È¥±È½Ï²úÉúµÄ½çÃæÁÑÎÆµÄ³¤¶È¡£
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