专利名称：检漏仪用内部校准漏孔的制作方法
技术领域：
检漏仪用内部校准漏孔[0001]技术领域[0002]本实用新型与氦质谱检漏仪的内置校准漏孔有关。[0003]背景技术[0004]目前国内外氦质谱检漏仪所用的内置校准漏孔大多数采用薄膜渗透型，利用石英薄膜球泡的渗氦速率制成的，但温度对渗氦率的影响很大，温度系数为3%/°C左右，使用时需要进行修正，否则温度变化会对测试结果带来一定的影响。[0005]实用新型内容[0006]本实用新型的目的是提供一种结构简单，使用方便，漏率稳定可靠的检漏仪用内部校准漏孔。[0007]本实用新型是这样实现的本实用新型检漏仪用内部校准漏孔，储气瓶I的一端与内套管3连接，内套管除了出口端5外，其余部分轴向位于储气瓶内储气瓶另一端通过气管与气源阀4连接，内套管内轴向有毛细管2，毛细管2的一端通过内套管端面上的小孔与储气瓶I相通，毛细管2的另一端与过滤盖6的内端面连接，过滤盖6的外螺纹与内套管3的出口端5的内螺纹配合。[0009]毛细管2与内套管端面上的小孔动配合，与过滤盖6内端面固连或与过滤盖6内端面的盲孔动配合。[0010]本实用新型结构简单，使用方便，漏率稳定可靠，受温度影响小。采用毛细管型，温度对漏率的影响很�。露认凳狾. 3%/K，使用时不需要进行修正，能够提供稳定可靠的氦气泄漏率。[0011]
[0012]图1为本实用新型结构图。[0013]具体实施方式
[0014]内套管3先与储气瓶I的一侧焊接，然后再焊接储气瓶I的另一侧；内套管3上有略大于毛细管2外径的小孔，毛细管插内套管3中，缝隙填入AB胶。过滤盖6通过螺纹与出口端5连接，过滤盖为6为烧结型，可以过滤外面的灰尘和水气。出口端5位于储气瓶I 外侧。[0015]本实用新型的工作原理[0016]根据一定压力下，毛细管两端存在压差，向外进行气体的泄漏。[0017]将气源阀4与高纯氦气瓶相连，打开气源阀4，向储气瓶I内充入O. 3Mpa压力的氦气后，关闭气源阀4，切断与氦气瓶的连接。储气瓶I内的氦气会通过毛细管2经装有过滤盖6的出口端5流出，毛细管的泄漏率通过下面的方法校准确定[0018]将本校准漏孔与氦检漏仪相连，记录此时在检漏仪上的输出值UL，，然后再将参照漏孔接入检漏仪，记录输出值UE，则本校准漏孔的漏率为[0019]Ql=Ul/Ue XQe[0020]式中也一校准漏孔漏率，PamVs[0021]Ul —校准漏孔在检漏仪上产生的输出值[0022]Ur一参照漏孔在检漏仪上产生的输出值[0023]Qr一参照漏孔漏率(由上级计量机构测定)[0024]主要技术参数[0025]1.漏率I(T8Pa. m3/s[0026]2.漏孔类型毛细管[0027]3.介质99. 999% He[0028]4.不确定度土 15%[0029]5.有效期一年。·
权利要求1.检漏仪用内部校准漏孔，其特征在于储气瓶(I)的一端与内套管(3)连接，内套管除了出口端(5)外，其余部分轴向位于储气瓶内，储气瓶另一端通过气管与气源阀(4)连接， 内套管内轴向有毛细管(2)，毛细管(2)的一端通过内套管端面上的小孔与储气瓶(I)相通，毛细管(2)的另一端与过滤盖(6)的内端面连接，过滤盖(6)的外螺纹与内套管(3)的出口端(5)的内螺纹配合。
2.根据权利要求1所述的检漏仪用内部校准漏孔，其特征在于毛细管(2)与内套管端面上的小孔动配合，与过滤盖(6)内端面固连或与过滤盖(6)内端面的盲孔动配合。
专利摘要本实用新型为检漏仪用内部校准漏孔，解决已有校准漏孔渗氦率受温度影响，测试精度差，使用不便的问题。储气瓶(1)的一端与内套管(3)连接，内套管除了出口端(5)外，其余部分轴向位于储气瓶内，储气瓶另一端通过气管与气源阀(4)连接，内套管内轴向有毛细管(2)，毛细管(2)的一端通过内套管端面上的小孔与储气瓶(1)相通，毛细管(2)的另一端与过滤盖(6)的内端面连接，过滤盖(6)的外螺纹与内套管(3)的出口端(5)的内螺纹配合。
文档编号G01M3/20GK202836897SQ20122054542
公开日2013年3月27日 申请日期2012年10月24日 优先权日2012年10月24日
发明者张果, 江鑫, 朱思莲, 袁阳 申请人:爱发科东方真空(成都)有限公司
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