专利名称：弹簧载荷测定方法、装置及系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种弹簧载荷测定方法、装置及系统。例如，可以被利用于高精度地制造支撑电脑或各种再生·记录装置的磁记录装置的硬盘驱动器(HDD)等磁头的板簧(悬浮架)。
背景技术：
以前，弹簧载荷的测定被广泛地应用。以下，作为弹簧的一个实例，以支撑硬盘驱动器磁头的悬浮架为例进行说明。
随着硬盘驱动器记录密度的飞跃发展，对支撑磁头的悬浮架制造精度要求相当严格。磁头的在信息记录再现时的浮起量，受到静止状态的载荷值的影响。因此，悬浮头载荷对磁头的浮起姿势或浮起特性具有很大影响。为此，在每个悬浮架的制造工序中，必须进行上述悬浮头负荷的测定及修正。
图7是停止磁盘21旋转时的悬浮架200状态。悬浮架200，通过板簧部202将承载梁203设在被支撑体24所支撑的支承板201上。在承载梁203上，安装着挠曲部件(flexure)209，并在其前端部设有包含磁头的滑触头210。在挠曲部件209的前端部，靠接着被设于承载梁203上的拱形凸部208a。
在挠曲部件209的上面，粘贴着构成磁头的滑触头210。滑触头210，滑动于磁盘21表面。在滑触头210的内部，包含读写磁头(未图示)。磁头当中，相对于磁盘21的滑动面是滑触头210。在挠曲部件209上，靠接着被设于承载梁203前端的拱形凸部208a。拱形凸部208a是滑触头210的转动支点。
挠曲部件209，被板簧部202弹性地支撑。因此，当磁盘21的旋转停止时，挠曲部件209受到承载梁203的板簧202的弯曲力，将滑触头210压在磁盘21上。这样，把在滑触头210与停止转动时的磁盘21接触时的接触载荷称为上述磁头载荷。
滑触头210，当磁盘21高速旋转时，受到产生于磁盘21表面上的空气流的影响。即，滑触头210受到来自空气流的浮力而浮起，这样滑触头210进行对磁盘21的信息记录再现。该浮起量，收到浮力与悬浮架的弯曲力平衡的影响。该浮起量一般为数nm～数十nm。
磁头载荷，自以往以来以下述的方法测定。
在以下的实例中，磁头载荷的测定对象，是装载了滑触头210的上述悬浮架200。在以装载了滑触头210的悬浮架200为测定对象时，只考虑滑触头210的厚度(图8的Z210)即可，并能以同样的方法测定。
在图8中，符号200a表示自由时(无负荷状态)的悬浮架200。符号200b，表示滑触头210与停止旋转时的磁盘21接触时的悬浮架200(与图7状态相同)。即，悬浮架200b通过滑触头210给予磁盘21的载荷为磁头载荷。
符号Zf表示从被固定的支撑体24的基准面25a到自由时的悬浮架200a的挠曲部件209a的高度。符号Z21表示从基准面25a到磁盘21的下面(与磁盘21的接触面)的高度。符号Zh表示将滑触头210压在停止旋转时的磁盘21上的悬浮架200b的挠曲部件209b的距基准面25a的高度。即，磁盘21下面的高度Z21，其为(Zh+Z210)。
根据上述说明，在测定悬浮架200的磁头载荷时，如图8及图9所示，在测力计300的载荷测定头310与挠曲部件209接触的状态下，使测力计300下降，并将挠曲部件209一直压到高度Zh的位置，只要用测力计300测定该状态下来自挠曲部件209的载荷(反作用力)即可。以下，参照图10更具体地说明磁头载荷的测定方法。
(1)首先，预先准备已知磁头载荷的悬浮架200M(校正工件)。
(2)然后，用工件夹钳400夹持并从上方施压，将该校正工件200M固定在基准面401上。
(3)然后，用气缸等上下移动机构410将测力计420向上方移动，使测力计420的载荷测定头425与校正工件200M接触。
(4)随后，一边利用测力计420监控输出的载荷，一边使上升端定程器430上下移动，调整测力计420的高度，并将上升端定程器430的位置固定在由测力计420输出的载荷与校正工件200M的已知载荷一致的位置(测力计420的高度调整结束)。
(5)然后，在下降测力计420的同时，使工件夹钳400下降，并拆下校正工件200M。
(6)然后，用工件夹钳400将测定对象的悬浮架200固定在基准面401上。
(7)然后，使测力计420上升，且和上述(4)一样地与调整后的上升端定程器430相靠。
(8)在上述(7)的状态下由测力计420输出的载荷，并被作为测定对象悬浮架200的磁头载荷而获得。
专利文献1特开平6-44760号公报希望更高精度地测定弹簧的载荷。
特别是在支撑磁头的悬浮架上，对磁头载荷测定所要求的精度极高。该悬浮架要求的载荷，以往，例如为3±1.5(gf)或2.5±0.4(gf)左右，近来精度高达例如0.4±0.04(gf)。
用以往的弹簧载荷测定方法，不能充分地对应上述的要求。
本发明的目的在于提供一种可以更高精度地测定弹簧的载荷的弹簧载荷测定方法、装置及系统。
发明内容
本发明所涉及的是同时测定载荷及高度并求出弹簧特性系数，得出删除了载荷测定装置弯曲的载荷值的测定方法。
本发明的弹簧载荷测定方法，使载荷测定装置与测定对象的弹簧接触，测定当所述弹簧在规定高度时的载荷，包括(a)测定直接或间接与所述载荷测定装置的所述弹簧接触的部分的高度的步骤、(b)用所述高度的测定结果，测定所述弹簧在所述规定高度时的所述载荷的步骤。在上述中，所谓弹簧的高度，是指弹簧被固定在基准面上时、自弹簧的基准面的高度。根据本发明，可以更高精度地测定弹簧载荷。作为缩小上述载荷测定装置的上述部分的弯曲(退让量)并能抑制测定误差的方法，必须使用弯曲极力小的载荷测定装置，这样的载荷测定装置，在微小载荷的测定中，其输出电压�。垢扇判圆睢６源耍诒痉⒚髦校苁褂镁哂型淝蟮奶匦缘脑睾刹舛ㄗ爸茫┐罅嗽睾刹舛ㄗ爸玫纳杓苹蜓≡竦淖杂啥龋⒛芙锌垢扇诺母呔炔舛�。
本发明的弹簧载荷测定方法，使载荷测定装置与测定对象的弹簧接触，测定当所述弹簧在规定高度时的载荷，包括(e)求出所述弹簧的弹簧特性系数的步骤、(f)根据所述弹簧特性系数，求出所述弹簧在所述规定高度时的所述载荷的步骤。根据本发明，由于可在测量出各个弹簧的弹簧特性系数的基础上，求出规定高度的载荷，所以能进行更高精度的测定。
图1是用于说明本发明弹簧载荷测定方法的一实施例优点的图。
图2是表示本发明的弹簧载荷测定方法的一实施例的侧视图。
图3是表示本发明的弹簧载荷测定方法的一实施例某一工序的侧视图。
图4是表示本发明的弹簧载荷测定方法的一实施例其他工序的侧视图。
图5是表示本发明的弹簧载荷测定方法的一实施例其他工序的侧视图。
图6是表示本发明的弹簧载荷测定方法的一实施例所使用的载荷—高度曲线的曲线图。
图7是表示以往一般的悬浮架使用例的侧视图。
图8是表示的以往一般的悬浮架自由时高度的图。
图9是表示的以往的悬浮架的磁头载荷的一种测定方法。
图10是表示的以往的悬浮架磁头载荷的其他测定方法。
图中10—工件夹钳部，21—磁盘，24—支撑体，25a—基准面，30—激光位移测定计，50—归零用规尺，51—面，200—悬浮架，200a—自由时的悬浮架，200b—滑触头与磁盘接触时的悬浮架，201—底板，202—板簧部，203—承载梁，208a—拱形凸部，209—挠曲部件，210—滑触头，300—测力计，300a—测力计本体，310—载荷测定头，320—框体，330—激光被照射部，400—工件夹钳，401—基准面，410—上下移动机构，420—测力计，425—载荷测定头，430—上升端定程器，F—用挠曲部件对测力计的加压点，Z21—从基准面到磁盘下面的高度，Z210—滑触头的高度，Zf—从基准面到自由时的悬浮架的挠曲部件的高度，Zh—将滑触头压在磁盘上的悬浮架的挠曲部件距基准面的高度，α—弯曲量，δT—目标高度。
具体实施例方式
以下，参照附图详细说明本发明。另外，本发明不局限于该实施例。
首先，从本实施例的前提进行说明。
在图9所示的以往弹簧载荷测定方法中，用图1来说明其不能进行高精度的测定。
以往，如图9所示，在测定悬浮架200的磁头载荷时，是以将测力计300的载荷测定头310与挠曲部件209接触的状态下，使测力计300下降，并将挠曲部件209一直压到高度Zh的位置，用测力计300测定该状态下来自挠曲部件209的载荷。
但是在实际的测定中，如图1所示，测力计300的前端(载荷测定头310的部分)接受来自挠曲部件209的载荷并弯曲，只是该弯曲部分，使挠曲部件209从基准面25a再离开α的量。在上述中，在对挠曲部件209施压下降到高度Zh的位置时，以往是根据测力计300框体320的高度，而确定挠曲部件209的下压量(测力计300的高度)。
这样，由于是根据测力计300框体320的高度来决定下压量，所以没有考虑测力计300前端部的弯曲。因此，实际上，测力计300测定的是在距基准面25a的高度Zh+α上的载荷，其输出的是比真正在测定高度Zh的实际载荷小的载荷。
另外，在悬浮架200上，由于具有自由时的高度Zh的公差或长度方向的长度公差等，所以，测力计300前端部的弯曲量α也因各悬浮架200而异，对挠曲部件209高度的影响也不同。
如上所述，用以往的方法，不能正确地进行测定。
以下用具体的数值验证。
使用额定容量为10gf、额定位移量为±0.4mm的测力计，测定2.5gf的悬浮架。另外，悬浮架的弹簧特性系数为2.3gf/mm。以该设定来测定2.7gf的悬浮架，则0.4∶10＝X∶(2.7-2.5)X＝0.008(测力计的前端，退让0.008mm地弯曲)
以此，换算成载荷值，则P＝0.008×2.3＝0.018gf测力计的输出载荷，比实际载荷小了0.02gf。
在悬浮架上，载荷公差为±0.04gf。这时，不能实用地测定。
如上所述，由于受到弹簧载荷而使测力计300的前端部弯曲，妨碍了弹簧载荷的高精度的测定。这时，考虑使用测力计的前端部难于弯曲(弯曲量小)的测力计，可正确地测定弹簧的载荷。
但是，使用弯曲特性小的测力计与弯曲特性大的测力计，并分别测定同样的悬浮架200，则弯曲特性小的测力计的输出程度，比弯曲特性大的测力计的输出程度小。由于利用弯曲特性小的测力计的输出程度�。虼耍延谙允境隽阍睾�(无载荷)时与有载荷时之差。当无载荷时与有载荷时的输出程度之差小时，易于受到杂波的影响(SN比差)，不能高精度地进行测定。
如上所述，弯曲量和SN比呈权衡选择的关系。因此，即使是弯曲量大的测力计，也需要能以高精度进行测定的弹簧载荷测定方法。
(第1实施例)图2是本实施例的弹簧载荷测定方法。
如图2所示，设有装卡测定对象的悬浮架200的工件夹钳部10、能沿支柱22上下移动的测力计300、测量测力计300前端部(载荷测定头310的部分)高度的测量机构30。另外，在本实施例中，使用测力计300作为载荷测定装置的一例，但本发明的载荷测定装置，不局限于测力计300。
该测力计300，优选使用测定本身不受高度或载荷影响的激光等的非接触型位移测定计30。该测定机构30的位置被固定，当改变测力计300前端部的高度时，则改变了例如从激光位移测定计30照射出激光并接受其反射的位置(返回位置、返回角度)，以此检测出测力计300前端部的高度。
在本实施例中，用测量测力计300前端部的高度的方法，可求出包含弯曲部分α的挠曲部件209的高度Zh+α。这时，测量位置，是用挠曲部件209对测力计300的加压点F。
由于载荷测定头310及测力计本体300a的厚度是一定的，所以能根据在测力计本体300a的上面(用挠曲部件209对测力计300的加压点F的正上方)照射激光并其反射的受光位置，可以求出挠曲部件209的高度Zh+α。
然后，根据利用激光位移测定计30检测出的测力计300前端部的高度，调整测力计的高度(这时，使其下降)，将挠曲部件209(用挠曲部件209对测力计300的加压点F)的高度定为Zh。若求出这时的测力计300的输出(载荷)，则可以求出该悬浮架200的磁头载荷。
另外，利用激光位移测定计30检测出的高度位置，也可以用悬浮架200本身取代测力计300前端部的高度。这时，可以利用激光位移测定计30求出挠曲部件209的载荷测定头310接触部位附近的高度。根据用激光位移测定计30检测出的挠曲部件209高度，调整测力计300的高度(这时，使其下降)，将挠曲部件209(用挠曲部件209对测力计300的加压点F)的高度定为Zh。若求出这时的测力计300的输出(载荷)，则可以求出该悬浮架200的磁头载荷。
在以往的测定方法中，由于必须缩小测力计300前端部的弯曲(退让量)来抑制测定误差，所以必须使用弯曲特性极小的测力计。因此，在测定微小载荷时，其输出电压变小且抗干扰性差。
对此，在本实施例中，利用测定以挠曲部件209对测力计300的加压点F的高度(测力计300前端部弯曲时的高度Zh+α)的方法，可以使用弯曲特性大的悬浮架，并扩大了测力计的设计或选择的自由度。其结果是，能进行抗干扰的高精度测定。
(第2实施例)参照图3～图6说明第2实施例。
(第2实施例的概述)以夹持对应于应测定的磁头载荷的高度上的产品设计上的目标高度(δT)的两点的高度(δH、δL)测定载荷(PH、PL)。这时，测力计300的前端部，因载荷的反作用力而退让，测定其前端部的高度。从测定的两点作成作为测定对象的悬浮架200的载荷—高度曲线图(图6)。在该曲线图上输入目标高度(δT)并算出该高度(δT)上的载荷(PA)，作为测定值。以此，因直接测出变形部分的变位而变形不产生影响，并能不产生因测力计300的前端部弯曲(变形)的误差。以下，进行具体地说明。
在第2实施例中，与第1实施例一样，使用激光位移测定计30，并测定测力计300前端部的高度。
在第2实施例中，在不同高度的两点测定载荷、及用挠曲部件209对测力计300加压点的高度组(一组)，根据其测定结果，作成载荷—高度(弯曲)曲线图。根据该载荷—高度曲线图，利用计算求出规定高度(磁头载荷测定用的高度Zh)上的载荷值(磁头载荷)。该计算出的规定高度上的载荷值，是删除了测力计300前端部弯曲(退让)的正确的值。
以下，具体说明其顺序。
(原点对正工序)如图3所示，将归零用规尺50装在支撑体24上。归零用规尺50，在被装在支撑体24上时，具有与基准面25a相同高度的面51。
然后，调整测力计300的高度，并使测力计300的载荷测定头310与归零用规尺50的面51接触。
然后，在测力计300的载荷测定头310与归零用规尺50的面51开始接触的状态下，从激光位移测定计30向测力计300的激光被照射部330照射激光，记录根据其反射而获得的激光被照射部330的位置并作为高度0点(基准点)。
这时，激光被照射部330，被设在正对测力计300的载荷测定头310的正上方位置，并成为激光照射的目标，用于测量用挠曲部件209对测力计300(载荷测定头310)加压点F的高度。另外，载荷测定头310的厚度、测力计本体300a的厚度和激光被照射部330是一定的。从用激光位移测定计30获得的激光被照射部330的高度，减去载荷测定头310厚度、测力计本体300a厚度和激光被照射部330的共计厚度，可以求出用挠曲部件209对测力计300加压点F的高度。
(载荷测定工序)下面，如图4及图5所示，在高度不同的两点，分别测定激光被照射部330的高度及悬浮架200的载荷。图4所示的激光被照射部330的高度，比图5实例的高。设图4实例的激光被照射部330的高度为δH、悬浮架200的载荷为PL，设图5实例的激光被照射部330的高度作为δL、悬浮架200的载荷作为PH，则如图6所示，可在载荷—高度曲线图上标出。
如图6所示，求出用直线连接表示图4实例测定结果的绘制点P2，及表示图5实例测定结果的绘制点P1的曲线La。该曲线La，现在，对应于测定的该悬浮架200的弹簧特性系数。这时，利用以直线连接两点的绘制点，能获得对应于弹簧特性系数的曲线。
下面，当要得到在该悬浮架200的规定高度的载荷时，只要在图6所示的曲线La上求出与对应于其规定高度的δ上的对应的载荷P即可。相反地，当要得到在该悬浮架200的规定载荷的高度时，只要在图6所示的曲线La上，求出与对应于其载荷P上对应的规定高度的δ即可。
在获得该悬浮架200的磁头载荷时，高度δ可以在设定了δT＝(Zh+载荷测定头310的厚度+测力计本体300a的厚度+激光被照射部330的厚度)的基础上，从曲线La计算出载荷PA。
下面，在用其他悬浮架200取代测定对象时，对于该取代的悬浮架200，重新，与上述一样，在高度不同的两点分别测定激光被照射部330的高度及悬浮架200的载荷，并将该两点的测定结果在和图δ一样的载荷—高度曲线图上绘出，连接两点并求出对应于弹簧特性系数的曲线。根据该曲线，可以求出该测定对象悬浮架200的规定高度下的载荷或规定的载荷下的高度。
另外，利用激光位移测定计30检测高度的部位，也可以用悬浮架200本身取代激光被照射部330的高度。这时，可以用激光位移测定计30求出挠曲部件209的载荷测定头310接触部位附近的高度。在高度不同的两点，分别测定悬浮架200本身的高度及悬浮架200的载荷。以悬浮架200本身的高度作为δH，δL，绘成载荷—高度曲线图。根据该载荷—高度曲线图，可以求出悬浮架200在规定高度时的载荷。
根据第2实施例，可以求出删除了测力计300前端部的弯曲的正确载荷值。
另外，在测定了各个弹簧(悬浮架200)的弹簧特性系数的基础上，为了求出在规定高度的载荷，可以进行更高精度的测定。
例如，叙述关于HDD用悬浮架(悬浮架)200的载荷测定。HDD，随着容量的高密度化进程，对读写信号影响大的载荷精度要求越来越严格。该悬浮架200的板簧部202(参照图7)，用压延或半蚀法成形，其板厚(参照图7的t)，由于在压延时是百分之几，在半蚀法成形时是百分之几十的误差，所以难于计入(接收)载荷公差。对此，在本实施例中，只要在一个一个地测定作为测定对象的悬浮架200的弹簧特性系数的基础上，求出各个悬浮架200在规定高度上的载荷，或规定载荷下的高度，则可有效地解决该板厚偏差的问题。
在本实施例中，说明的是悬浮架200的实例，但不局限于此，一般在广范围内，对弹簧都能取得上述的效果。
以往，如图10所示，是将测力计420的前端与工件200的被测定部靠接，将工件200或测力计420向载荷发生方向移动到规定的高度并测定载荷。这时，测力计420因弹簧200的反作用力而向相反方向弯曲。举例说明，当载荷为30gf时测力计420弯曲为0.012mm。如图10所说明的那样，通常估计该弯曲部分并预先决定规定高度。因此，在弹簧特性系数不同时，或载荷值不同的时候不能正确地测定。
并且，根据第2实施例，可以高速地测定微小的载荷。以下，说明其效果。在测定弹簧的微小载荷时，测定系的上下方向的振动到收敛需要数秒钟。这是由于测定系的固有频率低，振幅不易衰减所致。对此，在本实施例中，只要能测定某时刻的高度及载荷的组合即可，所以即使残留上下的振动也无妨。另外，由于测定了高度大不相同的两点，所以能获得显示正确的弹簧特性系数的曲线，并有利于进行更高精度的测定。
另外，在用电子天平方式时，由于弹簧达到平衡状态需要数秒钟，所以不适用于高速测定。
用上述各个第1及第2实施例，对装载了滑触头210的上述悬浮架200，测定了磁头载荷。对此，也可以分别在上述第1及第2实施例中，对装载了滑触头210的上述悬浮架200测定磁头载荷。这时的测定方法，是在上述第1及第2实施例所说明的内容中，是把与测力计300的载荷测定头310靠接的对象、取代为装载于挠曲部件209上的滑触头210，而不是挠曲部件209，并且在利用激光位移测定计30的测定结果时，只要加进滑触头210厚度部分即可。
在安装了滑触头210的状态下，求出测力计300前端部高度，可以考虑随着各个滑触头210的安装的厚度(粘接剂的厚度等)，实际上可以更正确地测定滑触头210与磁盘21接触时的磁头载荷。
另外，在分别求出不同两点时的高度及载荷且从高度—载荷曲线图求出弹簧特性系数的第2实施例中，将测定高度的对象作为测力计300前端部的高度，但与以往一样，也可以是测力计300的框体320。即使这样，由于测定多点的框体320的高度及载荷并绘制成高度—载荷曲线图，所以与以往相比，可以进行更正确的载荷测定。
以上的本实施例的概要如下所述。
随着HDD的大容量化，悬浮架200的载荷变的小且精度高。以往，可以用测力计300测定该载荷，但现在不能忽略因测力计300退让的测定误差。在本实施例中，在测定载荷的同时，也测定测力计300的变位，并利用计算处理绘制成高度—载荷曲线图，从曲线图推算出规定高度上的载荷。
根据本发明，能以更高精度测定弹簧的载荷。
权利要求
1.一种弹簧载荷的测定方法，使载荷测定装置与测定对象的弹簧接触，测定当所述弹簧在规定高度时的载荷，其特征在于，包括(a)测定直接或间接与所述载荷测定装置的所述弹簧接触的部分的高度的步骤、(b)用所述高度的测定结果，测定所述弹簧在所述规定高度时的所述载荷的步骤。
2.一种弹簧载荷的测定方法，使载荷测定装置与测定对象的弹簧接触，测定当所述弹簧在规定高度时的载荷，其特征在于，包括(c)测定与所述载荷测定装置接触的所述弹簧高度的步骤、(d)用所述高度的测定结果，测定所述弹簧在所述规定高度时的所述载荷的步骤。
3.根据权利要求1所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于测定所述载荷测定装置的所述高度的部分，受来自所述弹簧的载荷或反作用力且弯曲。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于测定所述高度的部分，与用于测定所述弹簧载荷的载荷测定头的位置相对应。
5.根据权利要求1～3中任意一项所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于在所述高度的测定中，使用非接触型位移测定计。
6.一种弹簧载荷的测定方法，使载荷测定装置与测定对象的弹簧接触，测定当所述弹簧在规定高度时的载荷，其特征在于，包括(e)求出所述弹簧的弹簧特性系数的步骤、(f)根据所述弹簧特性系数，求出所述弹簧在所述规定高度时的所述载荷的步骤。
7.根据权利要求6所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于所述(e)，包括(g)将与所述弹簧接触的所述载荷测定装置设定在第1高度的步骤、(h)将与被设在所述第1高度的所述载荷测定装置接触的所述弹簧的载荷作为第1载荷值测定的步骤、(i)将与所述弹簧接触的所述载荷测定装置设定在与所述第1高度不同的第2高度的步骤、(j)将与设定在所述第2高度上的所述载荷测定装置接触的所述弹簧载荷作为第2载荷值求出的步骤、(k)根据所述第1及第2高度以及所述第1及第2载荷值，求出所述弹簧特性系数的步骤。
8.根据权利要求6所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于所述(e)，包括(l)将与所述弹簧接触的所述载荷测定装置设定在第1高度的步骤、(m)将与被设定在所述第1高度的所述载荷测定装置的所述弹簧直接或间接接触的部分的高度作为第3高度测定的步骤、(n)将与被设定在所述第1高度的所述载荷测定装置接触的所述弹簧的载荷作为第1载荷值测定的步骤、(o)将与所述弹簧接触的所述载荷测定装置设定在与所述第1高度不同的第2高度的步骤、(p)将与被设定在所述第2高度的所述载荷测定装置的所述弹簧直接或间接接触的部分的高度作为第4高度测定的步骤、(q)将与被设在所述第2高度的所述载荷测定装置接触的所述弹簧的载荷作为第2载荷值求出的步骤、(r)根据所述第3及第4高度以及所述第1及第2载荷值，求出所述弹簧特性系数的步骤。
9.根据权利要求7或8所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于所述第1高度，被设定为比所述弹簧位于所述规定高度时的所述载荷测定装置的高度高，所述第2高度，被设定为比所述弹簧位于所述规定高度时的所述载荷测定装置的高度低。
10.根据权利要求6所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于所述(e)，包括(s)将与所述弹簧载荷装置接触的所述弹簧设定在第1高度的步骤、(t)将被设定在所述第1高度的所述弹簧的载荷作为第1载荷值测定的步骤、(u)将与所述弹簧载荷装置接触的所述弹簧设定在与第1高度不同的第2高度的步骤、(v)将被设定在所述第2高度的所述弹簧的载荷作为第2载荷值求出的步骤、(w)根据所述第1及第2高度以及所述第1及第2载荷值，求出所述弹簧特性系数的步骤。
11.根据权利要求10所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于所述第1高度，被设定为比所述规定的高度高，所述第2高度，被设定为比所述规定的高度低。
12.根据权利要求7、8、10及11中任意一项所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于所述弹簧，是支撑硬盘驱动器磁头的悬浮架。
13.根据权利要求12所述的弹簧载荷的测定方法，其特征在于所述载荷测定装置，通过被安装在所述悬浮架上的所述磁头，与所述悬浮架接触。
14.一种弹簧载荷的测定装置，使载荷测定装置与测定对象的弹簧接触，求出当所述弹簧在规定高度时的载荷，其特征在于利用与所述载荷测定装置的所述弹簧直接或间接接触的部分的高度，求出所述弹簧在所述规定高度时的所述载荷。
15.一种弹簧载荷的测定系统，其特征在于，具有与测定对象的弹簧接触并测定所述弹簧载荷的载荷测定装置、测定与所述载荷测定装置的所述弹簧直接或间接接触部分的高度的高度测定部，用所述高度的测定结果，求出所述弹簧在规定高度时的所述载荷。
全文摘要
一种弹簧载荷测定方法、装置及系统，使载荷测定装置(300)与测定对象的弹簧(200)接触，测定当所述弹簧在规定高度(δT)时的载荷；包括(a)测定直接或间接与所述载荷测定装置的所述弹簧接触的部分(310、F)的高度的步骤、(b)用所述高度的测定结果，测定所述弹簧在所述规定高度时的所述载荷(PA)的步骤。这种弹簧载荷的测定方法，可以更高精度地测定弹簧载荷。
文档编号G01L5/00GK1574057SQ200410047619
公开日2005年2月2日 申请日期2004年5月27日 优先权日2003年5月27日
发明者梅林彰 申请人:日本发条株式会社
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
