专利名称：微机械科氏转速传感器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于确定转速的微机械科氏转速传感器(MEMS转速传感器)，包括基底、测量轴线(X轴)、检测轴线(Y轴)以及驱动轴线(Z轴)，每个轴线相对彼此正交地安置。转速传感器还包括在平行于所述基底的X-Y平面内安置的第一和第二驱动�？椋渲忻扛銮？榻柚谥醒胄苣芄恍亓拥剿龌�。沿Y轴安置有两个中央悬架。在每个中央悬架处还设有用于产生驱动模块绕驱动轴线旋转振荡的驱动器件。
背景技术：
由美国专利US5635640可知采用MEMS技术并且包括两个驱动�？榈拇车淖俅衅�。两个驱动�？槎剂又粱撞⑶蚁喽杂诨啄芄灰莆坏匕仓�。两个驱动�？榻柚诘杀舜讼嗔璐耸迪至礁銮？槿扑嵌杂Φ男行牡男硕�。两个驱动�？榻柚诙杂Φ那骷砸贫捎谥醒氲伤隽礁銮？橥厍掖筇迳戏聪嗟匾贫�。如果基底绕测量轴线旋转，则在旋转振荡的驱动模块上作用的科氏力使得所述两个驱动�？橐�(大小)相同且(方向)相反的方式绕检测轴线旋转或倾斜。由于所述倾斜运动以及导致的驱动�？橛牖字渚嗬氲谋浠谇？楹突字浒仓玫牡缂嗽市淼贸龉赜诨仔硕崧鄣牡缧藕�。传统的科氏转速传感器例如用于车辆或传感器能受到冲击的其他装置中。根据现有技术的转速传感器的缺点在于所述传感器对这样的外力影响相对灵敏。因此获得不精确的测量，或者传感器甚至能够被损坏。
发明内容
因此本发明的目的是制造一种基本上抗振的转速传感器，所述转速传感器对由于其机械构造产生的所述外部影响不敏感，并且能够检测振动效应以防止误测。本发明的目的通过具有权利要求1特征的微机械科氏转速传感器实现。根据本发明的微机械科氏转速传感器被设置用于检测绕测量轴线(X轴)的转速。所述转速传感器包括基底以及第一和第二驱动�？�。测量轴线(X轴)、检测轴线(Y轴)以及驱动轴线(Z轴)分别相对于彼此正交地安置。所述第一和第二驱动�？樵谟胨龌灼叫械腦-Y平面内安置。每个驱动�？榻柚谥醒胄苣芄恍亓又了龌�。沿Y轴安置两个中央悬架，以使得所述两个驱动模块大体上配置成彼此平行。在每个中央悬架处还设有用于产生所述驱动�？槿扑銮嵯咝竦吹那骶�。驱动器具大体上是电极，所述电极通过交变极性产生驱动�？槿破渲醒胄艿恼竦辞Ｎ酥圃煊绕涠猿寤鞑幻舾械淖俅衅鳎荼痉⒚鳎辽僖桓龅粤釉诩觳庵嵯�(Y轴)两侧并与其隔开地设置在驱动�？樯稀Ａ礁銮？橛纱思舜肆樱⑶沂迪至礁銮？榈南嗷バ车鞯恼竦�。在转速传感器受到冲击的情况下，所述连接元件还使得两个驱动�？橥喽皇欠聪嗟仄�。因此，尽管驱动模块在正常操作中以完全相反的方式移位，两个驱动�？橛捎诔寤餮赝环较蚱�。通过利用连接元件将两个驱动�？榱樱礁銮？榈耐嗥蚨ü谧俅衅魃献饔玫恼穸�。因此，在基底旋转时的正常操作中，在基底与驱动�？橹浒仓玫募觳庠蚨耆喾吹男藕牛谧俅衅魃铣寤鞯男Ч窃赮轴同一侧、例如Y轴的左侧上安置的检测元件产生相同的信号。只要是这种情况的话，则电信号的分析使得作出传感器上的冲击已经发生并且已经歪曲转速实际测量值的结论。连接元件还进一步确保了系统大致更加稳定，这是因为两个驱动�？樵谘厝芛轴沿同一偏转的情况下彼此相互影响，并且因而显著地降低了转速传感器上与振动状态相关的敏感度。驱动�？檠豖轴(测量轴线)方向包括伸长部。对于驱动�？檎庋氖凳├釉欣卦谇？榈难豖轴方向看过去的最外端连接。因此当驱动�？槿魄嵯哒竦词保竦昧釉喽源蟮钠５闭穸刺鱿质保蛭喽杂谥醒胄芤约扒？榈男嵯呤迪执罅Ρ郏粤礁銮？楸舜耸┘拥牧σ沧钣行�。在连接元件的有利实施例中，所述元件包括悬臂和弹性连接弹簧。相互作用因此能够以针对性的方式受影响。特别地，连接弹簧以及悬臂的设计能够影响两个驱动�？榈谋舜朔聪嗾竦�。连接弹簧因此有利地设置成，连接弹簧在驱动�？榈某虮舜艘贫亩瞬看Ρ谎顾醪⑶以谕绷幽？樵独氡舜艘贫南喾炊吮焕�。在相应的设计中所述弹簧在X-Y平面内被设置成非常有弹性。相对于沿Z方向的偏转，所述弹簧允许两个驱动�？檎攵云胀ú僮饕餐耆喾吹钠窃谠谘赝环较蚱那榭鱿略诹礁銮？樯喜颂囟ǖ耐屏Γ庹缱俅衅魃系某寤餍вλ艹鱿帜茄�。为了确实地影响连接弹簧的特性并且保持转速传感器的安装空间尽可能小，连接弹簧伸进在两个驱动�？橹渖柚玫闹屑淇占�。为了能够以期望的方式产生弹性和刚性，连接弹簧因此优选为蜿蜒形。在本发明不同的实施例中，连接元件在两个驱动�？橹浒仓�。因为两个驱动�？榈牧佣杂谇？楸舜顺蚝拖喾吹牟煌硕芨游榷ǎ曰竦昧俗俅衅魃踔粮玫哪陀眯�。在一特别有利的实施例中，连接元件为借助于弹簧与两个驱动�？橄嗔牡谝荒？�。如果设置相应的诸如电极的检测元件，则无论是否用于测量转速或用于检测振动状态，驱动�？槔肟猉-Y平面的运动能够通过所述第一�？楸患觳�。因此连接元件优选地借助于弹簧连接至驱动模块。因此所述连接元件中的两个被安置以使得它们位于Y轴的相反侧。对于驱动�？榈姆聪嗲硕梢虼吮谎顾趸蛏斐ぃ欢釉诹礁銮？橹浔３植欢�。对于为了检测转速的反相驱动�？榈钠此担釉磺阈币允沟昧釉脑硕材芙柚谒黾觳庠缘ザ栏谋涞缪够蛄？槲恢酶谋涞姆绞奖患觳�。对于两个驱动�？檠赝籞方向的偏转，两个连接元件同驱动�？橐黄鹨莆�。通过借助于电检测元件相应检测所述运动，所述状态能够非常清楚地被确定和分析。为了获得驱动�？楹土釉乇鹞榷ǖ囊迹欣氖巧柚贸傻谝荒？橐钥蚣苄巫吹姆绞桨У诙？椋渲兴龅诙？榻柚诹拥捎氲谝荒？橄嗔�。因此获得连接元件额外的稳定性，并且能够检测到驱动�？榈囊约翱蚣苄蔚谝荒？榈囊约翱裳〉氐诙？榈钠�。为了稳定连接元件，有利的是设置成借助于锚固件所述第二�？橛叛〉啬芄蝗芚轴旋转地连接至基底。对于安装件以及弹簧相应的设计，为了检测绕X轴的转速，驱动�？橐约傲釉牡谝缓偷诙？槎急黄�。因为驱动模块在所述情况中通过出现的科氏力被完全相反地偏转，所以发生连接元件以及连接元件的第一和第二�？槿频诙？榈闹С偶蛉芚轴的倾斜运动。然而，如果发生对传感器的冲击，那么两个驱动�？檠赝环较蚱⑶乙虼擞绕涞贾驴蚣苄蔚谝荒？榱？檠豘方向移位。连接元件的能够仅绕锚固件上X轴移位的第二模块基本上保持静止并且使得框架形第一模块连同驱动�？橐莆换氐絏-Y平面内的初始位置。因此在振动作用后能够非常迅速且可靠地稳定传感器。如果检测元件在基底与驱动�？楹�/或第一�？楹�/或第二�？橹浒仓茫敲此龉辜肟猉-Y平面的运动能够被检测并且提供给分析装置。因而尤其在所述检测元件形式为一侧在基底上安置的且另一侧在部件的朝向基底的侧部上安置的电极的实施例中，通过无论何时两个电极之间的距离出现改变都改变电压而实现检测。在本发明的有利实施例中，驱动�？橥ü乇鹗鞘嶙吹缂磺�。驱动元件处的交变电压使得驱动元件引起驱动�？槿谱俅衅鞯南嘤χС偶騔轴振荡振动。为了实现驱动�？榈耐交揖返恼穸栌蟹蠢≡龇蠢≡觳馇？榈恼竦词叫硕⑶医嘤Φ男藕欧⑺椭燎刂破鳌Ｒ虼四芄徊皇┘又燎慕槐涞缪贡浠⑶仪？榈恼竦匆蚨艿接跋�。在本发明的优选实施例中，驱动�？榻柚诙喔雒痰稍谥醒胄苌习仓谩Ｒ虼饲？楸晃榷ㄓ糜谠赬-Y平面内驱动，但是为了检测转速并为了检测和抵抗振动状况还产生了驱动模块的针对性和一致的偏转。为了防止对各个移位的部件造成损伤，可设置各种不同的止挡件。因此止挡件优选地安置在驱动�？楹�/或连接元件的第一模块和/或连接元件的第二�？橹洌员阆拗颇？榈目梢莆荒芰ΑＶ沟布筇迳仙柚梦芄晃匏鹕说亟邮绽醋韵嗔谀？槌寤鞯耐蛊鸹蛲怀鑫�。同样有利的是止挡件在中央悬架与驱动�？橹浒仓�。因此特别有利的是止挡件在基底和/或驱动�？楹�/或连接弹簧之间设置。所述止挡件必须非常坚固地连接至基底并且引起对驱动�？楹�/或连接弹簧或锚固弹簧的移位限制。
本发明更多的优点在接下来的具体实施例中描述。显示的是:图1示出了第一实施例，该实施例具有在驱动�？樯贤獠康匕仓玫牧釉�2示出了第二实施例，该实施例具有在驱动�？橹洳糠职仓玫牧釉�。图3示出了类似于图1根据本发明的转速传感器，图4示出了本发明的又一实施例，该实施例具有在驱动�？橹浒仓玫牧釉�5a示出了根据图4的驱动�？榉聪嗾竦吹氖凳├�5b示出了根据图4的驱动�？橥嗾竦吹氖凳├⑶彝�5c示出了驱动�？橐约傲釉聪嗟钠�。
具体实施例方式图1的实施例显示了根据本发明具有两个驱动�？�2的微机械科氏转速传感器I的示意性俯视图。驱动模块2平行于处在绘图平面内的基底(此处未示出)安置。每个驱动�？�2借助于锚固件3以及安置在锚固件上的锚固弹簧4连接至基底。锚固弹簧4允许在正交坐标系中绕Z轴旋转。在所述坐标系中，Z轴伸出绘图平面，而X轴沿驱动�？�2的纵向设置且Y轴沿驱动�？�2的横向设置。因此X轴为测量轴线，意味着转速传感器能够确定传感器或基底绕X轴的旋转。同X轴正交并且位于同一平面内的Y轴代表检测轴线。当基底绕检测轴线或X轴旋转时，驱动�？�2相应地绕Y轴移动离开X-Y平面。这种情况由于当驱动�？�2绕其驱动轴线或Z轴振荡时出现的科氏力(Coriolis force)而发生。所述移位通过位于锚固件3上驱动�？�2的中央悬架以及安置在锚固件3上且与驱动�？�2相连的锚固弹簧4成为可能。锚固弹簧4相应地被设置以使得其允许驱动�？�2绕所讨论的锚固件3或Z轴旋转，并且也允许驱动�？�2绕Y轴枢转。与之相反，大体上驱动�？槿芚轴不动以便此处不发生移位。这里需要注意的是绘图平面向外的方向在以上描述中称作Z轴。X轴指绘图平面的横向方向，并且Y轴指沿绘图平面的方向。这也适用于各轴彼此平行被移位的情况。两个驱动�？�2借助于连接元件5和连接弹簧6彼此连接。沿X方向在每个驱动�？�2的每端安置一个具有相关联连接弹簧6的连接元件5。连接元件5和连接弹簧6导致各驱动�？�2旋转运动的同步。这确保了当两个驱动�？榉聪嗾竦醇词沟们？�2的彼此面向的两端朝向彼此或远离彼此移动时，所述�？橐韵嗤德收竦匆圆榷ǖ南低常渲性诩觳獯衅魅芚轴的转速的情况下，两个驱动�？�2的偏转导致离开X-Y平面相同的振幅。连接弹簧6由此被设置以使得其允许X-Y平面内的偏转，也允许驱动�？�2绕Y轴的枢转运动，其中对于离开X-Y平面的偏转，连接元件的两个连接弹簧的运动沿相反的方向发生，而对于驱动�？�2在X-Y平面内的反相运动，连接元件的两个连接弹簧的运动沿相同的方向发生。为了能使驱动模块2绕每个锚固件3或者Z轴旋转，设置驱动元件7。驱动元件7与驱动�？�2关联并且例如由采用交流电压供电的梳状电极组成，从而促使驱动�？�2绕锚固件3旋转。因此旋转运动根据梳状电极的极性(正反)交替进行、即所述旋转运动振荡，从而产生绕锚固件3的振荡运动。检测元件8在基底与驱动�？�2之间安置。检测元件8例如为极板电容器(platecapacitor)，所述电容器的电极在基底上设置，并且所述电容器的相反电极在驱动�？�2的朝向基底的侧部上设置。对于驱动�？�2绕Y轴的旋转运动，检测元件8的相反电极间的距离改变，借此产生改变的电信号。所述电信号体现驱动模块2的偏转并且因此转而体现于基底绕X轴旋转的运动。因此通过分析检测元件8的所述电信号能够确定转速传感器的转速。本发明的另一个实施例如图2所示。对应的示意图显示了与图1实施例构造类似的转速传感器I。驱动�？�2借助于锚固件3和锚固弹簧4能够绕Y轴和Z轴旋转地连接至基底(未示出)。驱动�？�2借助于驱动元件7驱动并且驱动�？�2离开X-Y平面的偏转借助于检测元件8检测。同图1实施例的区别在于连接元件5的类型。在图2的实施例中，连接元件5'在每侧上分成两部分。虽然连接元件5'连同在其上安置的连接弹簧6'以与图1中连接元件5类似的方式连接两个驱动�？�2，还设置了附加的连接元件5"。连接元件5"借助于连接弹簧6"与每个驱动�？�2相连。连接元件5"借助于锚固件10和锚固弹簧11也与基底相连。锚固弹簧11被设置成允许绕Z轴的旋转运动而且也允许连接元件5'和5"绕X轴的旋转运动。如果驱动模块2被同相而不是反相驱动，则连接元件5'和5"这样的布置尤其有利。因此也造成了驱动�？�2的回转运动，同时导致在绕X轴转速的情况下绕Y轴的倾斜/倾转运动。因为在这种情况下绕驱动模块2的每个锚固件3的旋转振荡同相地出现，所以由于科氏力导致的驱动�？�2的偏转是也会是同相的。这意味着两个驱动�？�2在同一时间在Y轴的同侧区域内绕Y轴上下倾斜。即使传感器的耐用性以及作用于转速传感器上冲击的检测不如驱动�？�2的反相运动那样有利，根据本发明转速的操作在这种模式中同样是可能的。本发明的又一实施例如图3所示。所述实施例转而与图1的实施例类似。除各种区别以外此处还尤其选择了细节的展示。每个驱动�？�2借助于四个锚固弹簧4连接至锚固件3。这允许驱动�？�2绕锚固件3或Z轴均匀的旋转运动，用于根据箭头P驱动该驱动�？�。驱动�？�2的驱动运动反过来发生在X-Y平面内。驱动元件7的梳状电极提供了驱动元件2的驱动。驱动电极7包括固定至基底的静止/固定部件和第二部件组成，其中梳状电极连接至能够移位的驱动�？�2。驱动元件7的这两个部件彼此接合并且导致驱动模块2绕锚固件3的旋转运动。为了能够确定并且可选择地校正由驱动元件7引起的驱动�？�2的旋转运动，设置反馈元件12。反馈元件12同样包括梳状电极。所述彼此接合的梳状电极(其中，所述梳状电极的第一部件转而连接至基底并且所述梳状电极的第二部件随驱动�？�2 —同移位)借助于电压的相应变化确定驱动�？�2绕Z轴振荡的频率。如果实际频率和目标频率之间的差异因此确定，那么驱动�？�2的频率能够通过相应地影响驱动元件7从而改变，以便转而与目标频率一致。每个反馈元件12在两个驱动元件7之间安置。因此所述反馈元件具有距旋转轴Z几乎相同的距离，并且因而能够以同驱动元件7类似的精度操作。沿X方向可以看出，两个驱动�？�2在其各端与连接元件5"'相连。连接元件5"，以在驱动�？�2上固定安置的悬臂的形式设置。在连接元件5"，的两个悬臂之间安置连接弹簧6"，。连接弹簧6"，伸进两个驱动�？�2之间的中间空间并且形式为蜿蜒形。连接元件5"，同连接弹簧6"，一起允许驱动�？樵赬-Y平面内的反相移位以及允许驱动�？�2从X-Y平面偏转离开，从而检测转速。该偏转同样反相出现。驱动模块2离开X-Y平面的旋转运动借助于箭头符号S显示。与驱动�？�2的驱动运动类似，该旋转运动同样反相发生。为了防止对驱动�？�2或其他元件造成损伤设置了止挡件。在图3的实施例中，止挡件13连接至基底并且伸进锚固弹簧4的区域中。在驱动�？�2过渡偏转的情况下，锚固弹簧4将撞在止挡件13上从而防止过渡弯曲对驱动�？�2或弹簧4造成损伤。除了实现驱动�？槿芞轴良好的旋转运动以外，借助于四个锚固弹簧4将驱动�？�2连接至锚固件3还实现了良好的振动稳定性。因此对作用于传感器I上的相应冲击，驱动�？�2能够沿X轴和Y轴倾斜/倾转。在冲击情况下沿同一方向驱动�？�2的所述运动能够由检测元件确定，其中所述检测元件在此未示出但是与图1和2中的驱动元件类似地设置。并非是以在传统操作中所期望的检测元件8的各个电极相反地分开或接近的方式，这种确定是以所述各个电极沿同一方向出现分开或接近的方式实现。如果这种沿同一方向的分开或接近被检测到的话，则认定振动状态，从而必须清理或弃用本应确定传感器I转速的测量结果。又一个实施例在图4中示出。图4的实施例最适合于振动状态能够消除的情况并且保护传感器I不被损伤。在图中所示的实施例中，驱动�？�2距彼此以相对大的距离安置。两个锚固件3沿Y轴布置并且允许以与前述实施例类似的方式驱动元件7、反馈元件12以及相应的锚固弹簧4 一起绕锚固件3的旋转运动。当科氏力由于转速而出现并绕X轴作用于传感器I上时，驱动模块2转而绕Y轴并且离开X-Y平面地偏转。驱动�？�2离开X-Y平面的所述旋转运动借助于箭头符号S显示。与驱动�？�2的驱动运动类似，该旋转运动反相发生。所述实施例的驱动�？�2包括在驱动�？橹涞牧釉�5""。连接元件5""借助于连接弹簧6""与驱动�？�2相连。连接元件5""包括第一�？�14和第二�？�
15。第一�？�14以框架形方式包围第二�？�15并且借助于连接弹簧6""与驱动�？�2相连。第一�？�14借助于附加的连接弹簧16也同第二�？�15相连。连接弹簧16允许第一模块14在X-Y平面内相对于第二�？�15能够移位。因此第一�？�14沿Y方向的可移位性成为可能。连接弹簧6""沿X方向和Z方向为刚性，以使得驱动模块2的运动借助于连接弹簧16同时引起第一�？�14和第二�？�15的运动。第二模块15借助于弹簧17在附加的锚固件19上安置。弹簧17被设计以使得绕X轴的旋转运动成为可能。因此确保了对于驱动模块2离开X-Y平面的偏转，连接元件5""绕锚固件18或X轴的倾斜能够发生。能够检测驱动�？�2与连接元件5""之间的、特别是第一�？�14与第二�？�15之间的距离变化的检测元件在驱动�？�2和/或连接元件5""与基底之间安置。相应的旋转运动通过箭头符号S显示。在第一�？�14和第二�？�15之间安置有止挡件19，所述止挡件用于防止过度偏转情况下对弹簧元件或第一或第二�？樵斐伤鹕�。同样的功能适用于在第一模块14外部上安置的止挡件20。所述止挡件防止驱动�？�2和第一�？�14以及在驱动�？橛氲谝荒？橹浒仓玫牧拥�6""受到损伤。如果在传感器I上出现振动状态，则正如由于驱动元件7所出现的，驱动�？�2不会沿相反方向从X-Y平面倾斜出。实际上，两个驱动�？�2沿同一方向从X-Y平面倾斜出。只要是这种情况的话，由于弹簧17的弹性特性，第一�？�14因此如所设置那样移位离开X-Y平面而第二�？�15保持不变。第一模块14因此借助于连接弹簧16相对于第二�？�15大体上平行于X-Y平面并且离开X-Y平面地移位，并且接近或远离基底。这转而能够通过在第一�？�14与基底之间安置的检测元件8由电信号的变化来确定。所示的转速传感器I的构造提供了转速传感器I的尤其稳定且抗振的构造。由于可发觉的振动状态造成的误测也能非�？煽康胤乐�。图4的转速传感器I的不同状态在图5a、5b和5c中示出。因此图5a显示了驱动�？�2的反相运动。可以看出，驱动�？�2沿顺时针和逆时针方向绕锚固件3移位。反馈元件12在锚固件3附近安置。连接元件5""基本上保持静止。根据图5b，显示了同相转速传感器I的操作。因此两个驱动�？檠赝凰呈闭牖蚰媸闭敕较蚴嘧�。力因此在连接元件5""的第一�？�14上施加，以使得所述第一�？�14相对于第二�？�15移位。所有所述元件的移位发生在X-Y平面内。
根据图5c，出现绕X轴的转速，借此出现作用在驱动�？�2上的科氏力。根据图5c的偏转沿相反的方向发生，由此能够推断驱动�？�2也被反相地驱动。驱动�？�2绕Y轴沿相反方向的倾斜使得连接元件5""也倾斜。因为所述连接元件由于锚固件18和弹簧17仅能绕X轴旋转，所以连接元件5""沿着两个锚固件18绕X轴倾斜。因此相对于位于下面的基底距连接元件5""距离发生改变。在连接元件之间安置的检测元件8 (此处未示出)能够借助电信号的改变检测距离的所述改变，并且因此检测转速传感器绕X轴相应的转速。本发明并不限于所示的实施例。特别地，本发明不限于所示的单独构件的形式，不限于由权利要求而产生的所述形式的范围。任何时候可以做出对公布以及适用权利要求范围的修改。
权利要求
1.一种用于检测转速的微机械科氏转速传感器，其包括: 基底； 测量轴线(X轴)、检测轴线(Y轴)以及驱动轴线(Z轴)，每个轴线相对彼此正交地安置； 在平行于所述基底的X-Y平面内安置的第一和第二驱动�？�(2)，每个驱动�？�(2)借助于中央悬架能够旋转地连接至所述基底，沿Y轴安置两个中央悬架； 用于在每个中央悬架处产生所述驱动�？�(2)绕驱动轴线(Z)的旋转振荡的驱动器具， 其特征在于 至少一个弹性连接元件(5)在Y轴两侧并与其隔开地设置在每个所述驱动模块(2)上，所述连接元件用于连接所述两个驱动�？�(2)并以相互谐调的方式使得所述两个驱动�？檎竦�。
2.如前一权利要求所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述连接元件(5)连接在所述驱动�？�(2)的沿X轴方向的最外端处。
3.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述连接元件(5)包括悬臂以及弹性连接弹簧(6〃，)。
4.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述连接弹簧(6" / )伸进所述两个驱动�？橹涞闹屑淇占�。
5.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述连接元件(5)在所述两个驱动�？�(2)之间安置。
6.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述连接元件(5)为借助于弹簧(6〃，)与所述两个驱动�？�(2)相连的第一�？�(14)。
7.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述第一�？�(14)以框架的形状包围第二模块(15)，并且借助于连接弹簧(16)与所述第二�？橄嗔�。
8.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述连接元件(5)、优选所述第二�？�(15)借助于锚固件能够绕X轴旋转地连接至所述基底。
9.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述基底与所述驱动�？�(2)和/或所述第一�？�(14)和/或所述第二�？�(15)之间安置有检测元件(8)。
10.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述驱动�？�(2)上安置有驱动元件(7)。
11.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，反馈元件(12)与所述驱动元件(7)关联。
12.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，所述驱动�？�(2)借助于多个锚固弹簧(4)在所述中央悬架上安置。
13.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述驱动�？�(2)和/或所述第一模块(14)和/或所述第二�？�(15)之间安置有用于限制所述�？�(2、14、15)移位能力的止挡件(19、20)。
14.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述中央悬架与所述驱动�？�(2)之间安置有止挡件(21 )。
15.如前述权利要求其中一项或多项所述的微机械科氏转速传感器，其特征在于，在所述基底和/或所述驱动�？�(2)和/或所述连接弹簧(4)之间安置有止挡件(13)。
全文摘要
本发明涉及一种用于检测转速的微机械科氏转速传感器，包括基底，测量轴线(X轴)、检测轴线(Y轴)以及驱动轴线(Z轴)，每个轴线相对彼此正交地安置，以及在平行于所述基底的X-Y平面内安置的第一和第二驱动�？�(2)。每个驱动�？�(2)借助于中央悬架能够旋转地连接至所述基底。沿Y轴安置两个中央悬架。驱动器件用于产生在每个中央悬架处所述驱动�？�(2)绕驱动轴线(Z)的旋转振荡。在Y轴两侧并间隔Y轴的每个驱动�？�(2)上安置至少一个弹性的连接元件(5)，所述连接元件用于连接和相互谐调地振荡两个所述驱动�？�(2)。
文档编号G01C19/5712GK103175982SQ20121056324
公开日2013年6月26日 申请日期2012年12月21日 优先权日2011年12月23日
发明者亚历桑德鲁·罗基, 阿道夫·詹巴斯蒂亚尼 申请人:马克西姆综合产品公司
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