专利名称：检测方法
技术领域：
本发明的示例性实施例涉及检测方法。更具体而言，本发明的示例性实施例涉及板的检测方法。
背景技术：
通常，电子器件采用至少一个印刷电路板(PCB)，并且PCB板上安装有诸如电路图案、连接焊点部、与连接焊点部电连接的驱动芯片等各种电路元件。形状测量装置主要用于检测印刷电路板上的各种电路元件是否可靠地形成或构造。在惯常的形状测量装置中，设定预定检测区来检测所述检测区中的电路元件是否可靠地形成。在设定检测区的惯常方法中，将理论上放置电路元件的区域设定为检测区。当检测区设定在正确位置上时，良好地执行所期望电路元件的测量。然而，在诸如 PCB等测量目标中，基板可能出现诸如翘曲、扭弯等变形。从而，在设定检测区的惯常方法中，检测区没有准确的设定在期望的位置，并且与图像捕捉部的照相机所获取的图像对应的位置略微不同于实际存在电路元件的位置。从而，检测区必须设定成补偿测量目标的变形。
发明内容
本发明的示例性实施例提供了一种能够设定检测区的检测装置，其中测量目标的变形被补偿，并且更准确地定义了用于补偿变形的变换关系式。下面将描述本发明的附加特征，并且通过下面的描述来理解或者可以通过实施本发明来掌握附加特征。本发明示例性实施例公开了一种检测方法。该检测方法包括在板上设定测量区； 获取测量区的基准数据和测量数据；为测量区建立包含比较特征对象的变换条件；通过将基准数据与对应于所述比较特征对象的测量数据相互比较并根据失真度来获取变换条件； 利用第一检验方法、第二检验方法和第三检验方法中的至少一种方法来检验变换关系式的有效性，所述第一检验方法检验比较特征对象是否满足变换关系式，所述第二检验方法检验从除比较特征对象以外的特征对象中选出的检验特征对象是否满足变换关系式，以及第三检验方法检验与形成在板上的检测目标对应的焊点是否满足变换关系式；在判定出变换关系式有效的情况下确定变换关系式；以及根据所确定的变换关系式设定用于检测测量目标的检测区。例如，可以按第一检验方法、第二检验方法和第三检验方法的顺序来检验变换关系式的有效性。在示例性实施例中，作为变换关系式的有效性的检验结果，在变换关系式无效的情况下，检测方法还可以包括改变变换条件；以及重复获取变换关系式的步骤及后续的步骤。
例如，变换条件还可以包括坐标变换模型和照明装置的照明设置中的至少一者。在示例性实施例中，作为变换关系式的有效性的检验结果，在变换关系式无效的情况下，检测方法还可以包括利用与测量区邻近的相邻测量区的变换条件，重复获取变换关系式的步骤及后续的步骤。例如，所设定的测量区可以为多个，并且可以为每一个测量区建立变换条件。本发明另一个示例性实施例公开了一种检测方法。该检测方法，包括在板上设定测量区；获取测量区的离线测量数据；为测量区建立包含比较特征对象的变换条件；通过将基准数据与对应于所述比较特征对象的离线测量数据相互比较并根据预定坐标变换模型来获取离线变换关系式；利用第一检验方法、第二检验方法和第三检验方法中的至少一种方法来检验离线变换关系式的有效性，所述第一检验方法检验比较特征对象是否满足离线变换关系式，所述第二检验方法检验从除比较特征对象以外的特征对象中选出的检验特征对象是否满足离线变换关系式，以及第三检验方法检验与形成在板上的检测目标对应的焊点是否满足离线变换关系式；在判定出离线变换关系式有效的情况下确定变换条件；以及根据所确定的变换关系式设定用于检测测量目标的检测区。本发明又一个示例性实施例公开了一种检测方法。该检测方法包括在板上设定测量区；获取测量区的基准数据；获取测量区的在线测量数据；通过将基准数据与对应于所述比较特征对象的在线测量数据相互比较并根据预定坐标变换模型来获取在线变换关系式；利用第一检验方法、第二检验方法中的至少一种方法来检验在线变换关系式的有效性，所述第一检验方法检验所述比较特征对象是否满足在线变换关系式，所述第二检验方法检验从除比较特征对象以外的特征对象中选出的检验特征对象是否满足离线变换关系式；以及在判定出在线变换关系式有效的情况下，利用在线变换条件设定用于检测测量目标的检测区。例如，比较特征对象和检验特征对象可以由块单元限定为特征块。本发明又一个示例性实施例公开了一种检测方法。该方法包括在板上设定测量区；获取测量区的基准数据和测量数据；为测量区建立包含至少两个特征对象的变换条件；通过将基准数据与对应于至少一个特征对象的测量数据相互比较并根据失真度来获取变换关系式；以及检验变换关系式的有效性。例如，特征对象可以包括用于获取变换关系式的比较特征对象和除比较特征对象以外的检验特征对象。在一个示例性实施例中，可以通过检验用于获取变换关系式的比较特征对象、除比较特征对象以外的检验特征对象和形成在板上的焊点中的至少一者是否满足变换关系式来检验变换关系式的有效性。在一个示例性实施例中，在在线检测的情况下，可以通过检验用于获取变换关系式的比较特征对象和除比较特征对象以外的检验特征对象中的至少一者是否满足变换关系式来检验变换关系式的有效性。在一个示例性实施例中，在离线检测的情况下，可以通过检验用于获取变换关系式的比较特征对象、除比较特征对象以外的检验特征对象和形成在板上的焊点中的至少一者是否满足变换关系式来检验变换关系式的有效性。作为变换关系式的有效性的检验结果，在变换关系式无效的情况下，检测方法还可以包括改变变换条件；以及重复获取变换关系式的步骤及后续的步骤。变换条件还可以包括坐标变换模型和照明装置的照明设置中的至少一者。根据本发明，设定在板上的测量区中的特征对象用作比较特征对象和检验特征对象，并且建立并检验基准数据与测量数据之间的变换关系式，从而更准确地设定检测区。另外，可以通过对在线和离线使用不同的检验标准来在每一步中执行适当的检验。另外，可以基于上述设定的测量区来执行诸如检测部件等工作，从而更准确地判断板的好坏。应该理解，以上概述和以下详细描述为了示例和说明，并且为了进一步解释所要求保护的本发明。
附图描述了本发明实施例，并且与说明书一起用于解释本发明原理，其中附图纳入并构成本说明书的一部分，以便于进一步理解本发明。图1是示出根据本发明示例性实施例的检测方法的流程图。图2是示出图1所示检测方法中的基准数据的实例的平面图。图3是示出检验图1中的离线(off-line)变换关系式的有效性的示例性实施例的流程图。图4是示出根据本发明示例性实施例来设定检测区的流程图。图5是示出检验图4中的在线变换关系式的有效性的示例性实施例的流程图。
具体实施例方式下面，参考示出本发明实施例的附图来更全面地描述本发明。然而，本发明可以用多种不同的方式来实现，而不应该解释为限于文中所述的示例性实施例。提供这些示例性实施例是为了使本发明详尽且完整，进而将本发明的范围全面地传达给本领域的技术人员。附图中，为了清晰可见，可以放大层和区域的尺寸和相对尺寸。当将元件或层与另一个元件或层的关系用“在……之上”、“与……连接”或者 “与……互连”表示时，应该理解为可以直接在另一元件或层之上或者直接与另一个元件或层“连接”或“互连”，或者可以具有中间元件或层。相比之下，当将元件或层与另一个元件或层的关系用“直接在……之上”、“直接与……连接”或者“直接与……互连”表示时，不存在中间元件或层。全文中相同的附图标记涉及相同的元件。文中所使用的短语“和/或”包括一个或多个相关列举项的任何和全部组合。尽管文中可以使用短语“第一”、“第二”、“第三”等来描述各种元件、部件、区域、层和/或部分，但应该理解这些元件、部件、区域、层和/或部分不应该受这些短语限制。这些短语仅仅用来将一个元件、部件、区域、层或部分与另一个元件、部件、区域、层或部分区分开。从而，在不背离本发明所述内容的情况下，可以将下文所述的第一元件、部件、区域、层或部分称为第二元件、部件、区域、层或部分。为了便于说明，文中可以使用诸如“在……之下”、“在……下方”、“低于”、“在……
之上”、“在……上方”等空间相关短语来对照附图描述一个元件或特征相对于另一个元件或特征的关系。空间相关短语应该理解为，除附图中所述取向之外，还包括装置在使用和操作中的不同取向。例如，如果附图中的装置翻转，则被描述为在另一元件或特征“之下”或 “下方”的元件重新定向为在另一元件或特征“之上”。从而，示例性短语“在……之下”可以包括“在……之上”和“在……之下”的取向。装置可以为其它取向(旋转90度或者在其它取向上)并且文中使用的空间相关描述符作相应的解释。文中使用的术语仅仅是为了描述具体示例性实施例，而非限制本发明。除非上下文清楚表明有例外，否则文中使用的单数形式“一个”和“该”也包括复数形式。本说明书中使用的短语“包括”应该理解为，存在所述特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件，但不排除具有或增加一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件。文中参考剖视图来描述本发明示例性实施例，该剖视图示意性说明了本发明的理想示例性实施例(和中间结构)。可以预期，所述形状会因例如制造工艺和/或容差而发生与图示形状之间的变化。从而，本发明示例性实施例不应该解释为文中所述范围的具体形状，而应该包括由例如制造引起的形状变形。例如，描述为长方形的注入区一般具有圆形或弧形特征以及/或者集中在缘部处的注入浓度的梯度，而非从注入区到非注入区的二元变化。同样，通过注入形成的隐埋区可能导致在隐埋区与执行注入的表面之间的一些注入。 从而，图中所示区域实质上是示意性的，并且该区域的形状并非为了说明装置中区域的实际形状，也并非为了限制本发明的范围。除非另有限定，文中使用的全部短语(包括技术和科学短语)的意思与本发明所属技术领域的普通技术人员通常所理解的意思相同。还应该理解，通用词典中所限定的短语的意义应当解释为与相关技术背景下的意义相同，并且除非文中特别限定否则不能用理想的或者过度表面的意思进行解释。下面，参考附图详细描述本发明示例性实施例。图1是示出根据本发明示例性实施例的检测方法的流程图。图2是示出在图1所示检测方法中的基准数据的实例的平面图。参考图1和图2，为了设定根据本发明示例性实施例来补偿变形的检测区，首先在步骤SllO中在板100上设定测量区F0V。测量区FOV表示设定在板100上以检测板好坏的预定区域，并且可以例如基于安装在诸如三维形状测量装置等检测装置中的照相机的“视野”来限定。接着，在步骤S120中获取测量区FOV的基准数据RI和离线测量数据。基准数据RI可以与例如图2所示的板100的理论平面图像对应。在示例性实施例中，基准数据RI可以从记录板100的形状的CAD信息或gerber 信息中获取。CAD信息或gerber信息可以包括板的设计信息，并且通常包括焊点10、电路图案30、孔图案40等的构造信息。在另一个示例性实施例中，基准数据RI可以从在学习模式下获取的学习信息中获取。学习模式可以通过以下处理来实现例如，诸如在数据库中搜索板信息、在数据库中没有板信息的情况下学习裸板信息、以及在通过学习裸板而生成板信息之后将板信息存储在数据库中。即，在学习模式中，学习PCB的裸板并且获取PCB的设计基准信息，并且可以通过在学习模式下获取学习信息来得到基准数据RI。离线测量数据可以与在图2所示的板100上形成部件等之前测量板100所获取的数据对应，并且可以是例如与基准数据RI对应的板100的图像，该图像利用诸如三维形状测量装置等检测装置来实际捕捉。离线测量数据具有与图2所示的基准数据RI类似的图像。然而，由于板100的翘曲、扭弯等，与基准数据RI相比离线测量数据稍微有点失真。在示例性实施例中，可以通过以下操作来获取离线测量数据利用检测装置的照明部将光照射在测量区FOV上，并且利用安装在检测装置中的照相机捕捉由照射光反射的图像。作为选择，可以通过以下操作来获取离线测量数据利用检测装置的光栅图案投射部将光栅图案光投射在测量区FOV上，捕捉由所投射的光栅图案光反射的图像以获取三维形状的数据，以及计算三维形状数据的平均值。其后，在步骤S130中建立测量区FOV的变换条件。变换条件可以预先确定以获取离线变换关系式(将在下文中描述)，并且在预定的变换条件下，获取根据基准数据和离线测量数据之间的变化的变换关系式。所设定的测量区FOV可以为多个，并且在示例性实施例中，可以为每一个测量区建立变换条件。变换条件包括比较特征对象，并且该比较特征对象可以从根据形状、位置、分布等的多个特征对象中适当选择，以形成变换条件。比较特征对象可以用作获取基准数据RI和离线测量数据之间的变换关系式的比较基准(将在下文中描述)。即，利用因板100的变形而使比较特征对象在基准数据RI与离线测量数据之间变化的程度来限定变换关系式。比较特征对象可以包括具有预定形状且位于基准数据RI和离线测量数据的特定坐标处的对象。例如，比较特征对象可以包括形成在板100上的孔图案、弯曲电路图案的角部等，并且下文所述的变换关系式可以基于孔图案的中心点坐标和弯曲电路图案的角部点坐标，通过比较基准数据RI与离线测量数据来获取。作为选择，如图2所示，比较特征对象可以由块单元限定为特征块FT。在将比较特征对象限定为特征块的情况下，由于基准数据RI和离线测量数据可以基于包含在特征块 FT中的各种形状来相互比较，因此基准数据RI和离线测量数据可以准确地进行相互比较。由于比较特征对象用作获取基准数据RI和离线测量数据之间的变换关系式的比较基准，因此希望在基准数据RI和离线测量数据中准确地建立比较特征对象。对于上述准确建立比较特征对象的过程，可能会出现在测量区FOV中没有或者几乎没有可被选择为比较特征对象的对象。从而，为了保证有足够的比较特征对象，可以从与测量区FOV邻近的相邻测量区中提取比较特征对象。变换条件还可以包括坐标变换模型。与对应于理论基准信息的基准数据RI相比，离线测量数据因板出现翘曲、扭曲等而失真。可以根据表示变形程度的失真度来建立基准数据RI与离线测量数据之间的变换关系式。变换关系式可以表示成各种形式的数学模型，并且数学模型与坐标变换模型对应。下面，将详细描述坐标变换模型和变换关系式。变换条件还可以包括例如，诸如三维形状测量装置等检测装置的照明设置。换句话说，由于离线测量数据可以是随检测装置的照明设置变化的变量，因此变换条件可以包括照明设置。例如，照明设置可以包括用于获取离线测量数据的照明角度、颜色、亮度等。接着，将基准数据与对应于比较特征对象的离线测量数据相互比较，并且在步骤S140中根据基准数据与离线测量数据之间的失真度来获取离线变换关系式。可以利用通过位置变化、坡度变化、尺寸变化和变形程度中的至少一个来确定离线变换关系式，这些变化通过将基准数据RI与对应于比较块的测量数据PI相互比较而获得。例如，可以利用坐标变化模型将变换关系式表示为等式1。等式1 :PCADf(tm) =Preal在等式1中，Pfflll是CAD信息或gerber信息中的目标的坐标，即基准数据RI中的坐标f (tm)与用作变换矩阵或转换矩阵的坐标变换模型对应，并且Pral是由照相机获取的离线测量数据中的目标的坐标。当找到基准数据RI中的理论坐标P。AD和离线测量数据中的实际坐标PMal时，就可以知道变换矩阵。例如，变换矩阵可以包括根据仿射变换或透视变换(perspective conversion)的坐标变换矩阵，所述仿射变换或透视变换将点到点的关系表示为η维空间中的一形式。为了定义坐标变换矩阵，可以适当地确定特征对象的数量，例如，在仿射变换的情况下大于或等于三，并且在透视变换的情况下大于或等于四。坐标变换模型用作变换条件，并且预先建立在任何一种模型中。坐标变换模型可以根据检验处理(将在下文中描述)来修改成其它坐标变换模型。其后，在步骤S150中检验离线变换关系式的有效性。检验离线变换关系式的有效性的检验方法包括第一检验方法、第二检验方法和第三检验方法中的至少一种检验方法。第一检验方法与检验比较特征对象是否满足离线变换关系式的方法对应。比较特征对象与用于获取离线变换关系式的特征对象对应，但在应用所获得的离线变换关系式时可能出现较大误差。从而，在误差超过预定容差范围时，变换关系式可能被判定为无效。第二检验方法对应于下述方法检验从除比较特征对象以外的特征对象中选出的检验特征对象是否满足离线变换关系式。由于检验特征对象与未用于获取离线变换关系式的特征对象对应，因此当将检验特征对象应用于所获取的离线变换关系式时，在误差不是很大的情况下，可以判定离线变换关系式具有更好的可靠性。从而，在应用检验特征对象时误差没有超过预定容差范围的情况下，可以判定变换关系式有效。例如，检验特征对象可以在提取比较特征对象的同时来提取，作为选择，当改变变换条件时，可以重新提取检验特征对象(将在下文中描述)。第三检验方法与以下方法对应检验与形成在板上的检测目标对应的焊点是否满足离线变换关系式。即使通过第一和第二检验方法判定出变换关系式有效，在检测目标为例如将形成有焊料的焊点的情况下，当焊点不满足离线变换关系式时检测结果很难具有可靠性。从而， 当对应于实际检测目标的焊点用作特征对象时，在焊点超过预定容差范围的情况下可以判定变换关系式无效。例如，误差可以通过特征目标的实际坐标与将变换关系式应用于基准数据之后的期望坐标之差来计算。
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可以通过上述检验方法来保证所获取的离线变换关系式的可靠性。选择性地或全部使用第一、第二和第三变换方法。在使用第一、第二和第三变换方法中的至少两种方法的情况下，优选按照第一检验方法、第二检验方法和第三检验方法的顺序来执行检验方法。图3是示出检验图1中的离线变换关系式的有效性的示例性实施例的流程图。参考图1和图3，首先，在步骤S152中根据第一检验方法检验比较特征对象，并且在步骤S153中判断离线变换关系式是否有效。当离线变换关系式无效时，在步骤S170中改变变换条件，其后返回获取离线变换关系式的步骤(S140)。接着，当离线变换关系式有效时，在步骤SlM中根据第二检验方法对检验特征对象进行检验，并且在步骤S155中判断离线变换关系式是否有效。当离线变换关系式无效时，在步骤S170中改变变换条件，其后返回获取离线变换关系式的步骤(S140)。其后，当离线变换关系式有效时，在步骤S156中根据第三检验方法检验对应于检测目标的焊点，并且在步骤S155中判断离线变换关系式是否有效。当离线检验方法无效时，在步骤S170中改变变换条件，其后返回获取离线变换关系式的步骤(S140)。接着，在判定离线变换关系式有效的情况下，在步骤S160中确定变换条件。作为检验变换关系式的有效性的结果，在变换关系式无效的情况下，如上所述，在步骤S170中改变变换条件之后，返回获取离线变换关系式的步骤(S140)，其后重复后续步马聚ο其后，在步骤S180中根据所确定的变换条件通过补偿失真来设定用于在测量区 FOV中检测测量目标的检测区。图4是示出根据本发明示例性实施例来设定检测区的流程图。参考图2和图4，首先，在步骤S182中获取测量区FOV的在线测量数据。在线测量数据可以与通过测量真实PCB所获得的数据对应，在真实PCB中具有安装在板100上的部件，端子22、形成在部件处的极性指示件24、电路图案、孔等，并且在线测量数据可以是例如与基准数据RI对应的并且利用诸如三维形状测量装置等检测装置实际捕捉到的PCB图像，在该PCB中板100上形成有部件、图案等。在线测量数据具有与图2所示的基准数据RI类似的图像。然而，与基准数据RI相比，在线测量数据因板100的翘曲、 扭曲等而稍微失真。获取在线测量数据的方法与获取离线测量数据的方法大致相同，从而不再赘述。接着，将与比较特征对象对应的基准数据和在线测量数据相互比较，并且在步骤 S183中根据基准数据与在线测量数据之间的失真度来获取在线变换关系式。除了在线执行以外，获取在线变换关系式的方法与获取离线关系式的方法大致相同，从而不再赘述。其后，在步骤S184中检验在线变换关系式的有效性。检验在线变换关系式的有效性的方法包括第四检验方法和第五检验方法中的至少一种检验方法。除了在线执行和当在线变换关系式无效时使用相邻测量区的变换条件之外，第四检验方法和第五检验方法分别与第一检验方法和第二检验方法大致相同，从而不再赘述。下面，将参考附图详细描述检验在线变换关系式的有效性的示例性实施例。
图5是示出检验图4中的在线变换关系式的有效性的示例性实施例的流程图。参考图4和图5，首先，在步骤Sl^a中根据第四检验方法检验比较特征对象，并且在步骤S184b中判断在线变换关系式是否有效。当在线变换关系式无效时，在步骤S186中改变变换条件，其后返回获取在线变换关系式的步骤(S18!3)。可以利用相邻测量区的变换条件来改变变换条件。当相邻测量区为多个时，可以通过选择一个相邻测量区或者利用两个或多个测量区的平均值来改变变换条件。接着，当在线变换关系式有效时，在步骤SlSk中根据第五检验方法对检验特征对象进行检验，并且在步骤S184d中判断在线变换关系式是否有效。当在线变换关系式无效时，在步骤S186中改变变换条件，其后返回获取在线变换关系式的步骤(S18!3)。可以利用相邻测量区的变换条件来改变变换条件。当相邻测量区为多个时，可以通过选择一个相邻测量区或者利用两个或多个测量区的平均值来改变变换条件。接着，在判定出在线变换关系式有效的情况下，在步骤S185中利用变换关系式来设定检测区。作为检验在线变换关系式的有效性的结果，当在线变换关系式无效时，如上所述， 在步骤S186中利用与测量区FOV邻近的相邻测量区的变换条件来改变变换条件之后，返回获取在线变换关系式的步骤(S183)，其后重复后续步骤。根据以上所述，设定在板上的测量区中的特征对象用作比较特征对象和检验特征对象，并且建立并检验基准数据与测量数据之间的变换关系式，从而更准确地设定检测区。另外，可以通过对在线和离线使用不同的检验标准来在各个步骤中执行适当的检验。另外，可以基于上述设定的测量区来执行诸如检测部件等工作，从而更准确地判断板的好坏。对本领域的技术人员而言，显然本发明可以在不脱离本发明主旨或范围的情况下进行各种修改和变形。从而，本发明将覆盖落入所附权利要求书及其等同内容范围内的本发明的修改形式和变化形式。
权利要求
1.一种检测方法，包括 在板上设定测量区；获取所述测量区的基准数据和测量数据； 为测量区建立包含比较特征对象的变换条件；通过将基准数据与对应于所述比较特征对象的测量数据相互比较并根据失真度来获取变换关系式；利用第一检验方法、第二检验方法和第三检验方法中的至少一种方法来检验所述变换关系式的有效性，所述第一检验方法检验所述比较特征对象是否满足所述变换关系式，所述第二检验方法检验从除所述比较特征对象以外的特征对象中选出的检验特征对象是否满足所述变换关系式，以及第三检验方法检验与形成在所述板上的检测目标对应的焊点是否满足变换关系式；在判定出变换关系式有效的情况下确定所述变换条件；以及根据所确定的变换条件设定用于检测测量目标的检测区。
2.根据权利要求1所述的检测方法，其中以第一检验方法、第二检验方法和第三检验方法的顺序来检验所述变换关系式的有效性。
3.根据权利要求1所述的检测方法，作为所述变换关系式的有效性的检验结果，在变换关系式无效的情况下，还包括改变所述变换条件；以及重复获取所述变换关系式的步骤及后续的步骤。
4.根据权利要求1所述的检测方法，其中所述变换条件还包括坐标变换模型和照明装置的照明设置中的至少一者。
5.根据权利要求1所述的检测方法，其中作为所述变换关系式的有效性的检验结果， 在所述变换关系式无效的情况下，还包括利用与所述测量区邻近的相邻测量区的变换条件，重复获取所述变换关系式的步骤及后续的步骤。
6.根据权利要求1所述的检测方法，其中所设定的测量区为多个，并且为每一个测量区建立所述变换条件。
7.一种检测方法，包括 在板上设定测量区；获取所述测量区的基准数据和离线测量数据； 为测量区建立包含比较特征对象的变换条件；通过将基准数据与对应于所述比较特征对象的离线测量数据比较并根据预定坐标变换模型来获取离线变换关系式；利用第一检验方法、第二检验方法和第三检验方法中的至少一种方法来检验所述离线变换关系式的有效性，所述第一检验方法检验所述比较特征对象是否满足所述离线变换关系式，所述第二检验方法检验从除所述比较特征对象以外的特征对象中选出的检验特征对象是否满足所述离线变换关系式，以及第三检验方法检验与形成在所述板上的检测目标对应的焊点是否满足离线变换关系式；在判定出离线变换关系式有效的情况下确定所述变换条件；以及根据所确定的变换条件设定用于检测测量目标的检测区。
8.一种检测方法，包括 在板上设定测量区； 获取所述测量区的基准数据； 获取所述测量区的在线测量数据；通过将基准数据与对应于所述比较特征对象的在线测量数据相互比较并根据预定坐标变换模型来获取在线变换关系式；利用第一检验方法、第二检验方法中的至少一种方法来检验所述在线变换关系式的有效性，所述第一检验方法检验所述比较特征对象是否满足所述在线变换关系式，所述第二检验方法检验从除所述比较特征对象以外的特征对象中选出的检验特征对象是否满足所述离线变换关系式；以及在判定出在线变换关系式有效的情况下，利用在线变换条件设定用于检测测量目标的检测区。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的检测方法，其中所述比较特征对象和所述检验特征对象由块单元限定为特征块。
10.一种检测方法，包括 在板上设定测量区；获取所述测量区的基准数据和测量数据； 为测量区建立包含至少两个特征对象的变换条件；通过将基准数据与对应于至少一个特征对象的测量数据相互比较并根据失真度来获取变换关系式；以及检验所述变换关系式的有效性。
11.根据权利要求10所述的检测方法，其中所述特征对象包括用于获取所述变换关系式的比较特征对象和除所述比较特征对象以外的检验特征对象。
12.根据权利要求10所述的检测方法，其中通过检验用于获取所述变换关系式的比较特征对象、除所述比较特征对象以外的检验特征对象和形成在所述板上的焊点中的至少一者是否满足所述变换关系式来检验所述变换关系式的有效性。
13.根据权利要求10所述的检测方法，其中在在线检测的情况下，通过检验用于获取所述变换关系式的比较特征对象和除所述比较特征对象以外的检验特征对象中的至少一者是否满足所述变换关系式来检验所述变换关系式的有效性。
14.根据权利要求10所述的检测方法，其中在离线检测的情况下，通过检验用于获取所述变换关系式的比较特征对象、除所述比较特征对象以外的检验特征对象和形成在所述板上的焊点中的至少一者是否满足所述变换关系式来检验所述变换关系式的有效性。
15.根据权利要求10所述的检测方法，作为所述变换关系式的有效性的检验结果，在变换关系式无效的情况下，还包括改变所述变换条件；以及重复获取所述变换关系式的步骤及后续的步骤。
16.根据权利要求10所述的检测方法，其中所述变换条件还包括坐标变换模型和照明装置的照明设置中的至少一者。
全文摘要
本发明公开了一种检测方法。为了检测板，在板上设定测量区，并且获取测量区的基准数据和测量数据。接着，为测量区建立变换条件，并且根据基准数据与测量数据之间的失真度来获取变换关系式。其后，利用检验比较特征对象是否满足变换关系式、检验从特征对象中选出的检验特征对象是否满足比较关系式和检验形成在板上的焊点是否满足变换关系式中的至少一者来检验变换关系式的有效性。接着，确定变换关系式，并且根据所确定的变换条件来设定用于检测测量目标的检测区。接着，可以准确地设定检测区以补偿变形。
文档编号G01B11/25GK102564346SQ20111038173
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月23日 优先权日2010年11月23日
发明者赵秀龙, 金珉永, 黄凤夏 申请人:庆北大学校产学协力团, 株式会社高永科技
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