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专利名称：真空薄膜电阻测试仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种测试仪，特别涉及一种真空薄膜电阻测试仪。
背景技术：
目前，薄膜电阻的测试方法是四探针法，而在真空变温状态中，测试薄膜电阻的仪器是一个空白。
发明内容本实用新型所要解决的技术问题是提供一种真空薄膜电阻测试仪，能在真空变 温状态中测试薄膜电阻。本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是由玻璃罩、四探针组件、加热器、电学组合箱、气压表、底座和真空泵组成，其特征是底座上有玻璃罩和气压表，在玻璃罩内有四探针组件和加热器，电学组合箱和底座相连，真空泵和和底座相连。由于采用上述技术方案，本实用新型所具有的优点和积极效果是测量精度高，操作简单。
以下结合附图
和实施例对本实用新型进一步说明。说明书附图是本实用新型的结构示意图。图中I.玻璃罩2.四探针组件3.加热器4.电学组合箱5.气压表6.底座7.真
空泵
具体实施方式
在说明书附图中，底座(6)上有玻璃罩⑴和气压表(5)，在玻璃罩⑴内有四探针组件⑵和加热器⑶，电学组合箱⑷和底座(6)相连，真空泵(7)和和底座(6)相连。
权利要求1.一种真空薄膜电阻测试仪，由玻璃罩、四探针组件、加热器、电学组合箱、气压表、底座和真空泵组成，其特征是底座(6)上有玻璃罩(I)和气压表(5)，在玻璃罩(I)内有四探针组件⑵和加热器(3)，电学组合箱⑷和底座(6)相连，真空泵(7)和和底座(6)相连。
专利摘要本实用新型涉及一种测试仪，特别涉及一种真空薄膜电阻测试仪。由玻璃罩、四探针组件、加热器、电学组合箱、气压表、底座和真空泵组成，其特征是底座上有玻璃罩和气压表，在玻璃罩内有四探针组件和加热器，电学组合箱和底座相连，真空泵和和底座相连。由于采用上述技术方案，本实用新型所具有的优点和积极效果是测量精度高，操作简单。
文档编号G01R27/02GK202471834SQ20112057957
公开日2012年10月3日 申请日期2011年12月26日 优先权日2011年12月26日
发明者李俊生 申请人:盐城师范学院