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专利名称：在线浓度计装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种在线浓度计装置。
技术背景 '
浓度计常用于测量化学溶液的浓度值。 一般情况下，浓度计测量浓度值 时要求的精度根据不同应用环境有不同的要求。在晶圆生产厂中，通常要使 用浓度计在线测量化学溶液的质量百分比浓度高，并实时监测化学溶液的质 量百分比浓度的变化。
一般情况下，浓度计的质量百分比浓度测量精度要求
达到0.01%。
同时根据在线测量的特点，由于晶圆厂的特殊环境，在浓度计周围的设 备一般会对浓度计造成静电以及电磁干扰。而生产经验表明这种干扰对浓度 计的精度有着相当大的影响。图1所示为现有技术的在线浓度计装置，在线
浓度计装置20包括塑料容器2以及置于塑料容器中的浓度计5，塑料容器中 有入口 21和出口 22，数据通讯线4与浓度计5连接，用来传输浓度计的实 时测量数据。图2所示为现有技术浓度计装置的在线测量结果，浓度计5本 身的百分比浓度测量精度可以达到0.01%，但是由于环境中静电以及电磁干 扰等原因，导致测量结果上下波动，导致了在线浓度计装置20的测量结果不 准确性。这种不准确性能最终导致生产中使用的化学品不符合生产的要求， 对产品品质造成影响。
实用新型内容
为解在线决浓度计装置测量时静电及电磁干扰问题，提高在线浓度计装 置的测量的准确度，本实用新型提供一种在线浓度计装置。
本实用新型所公开的抗干扰在线浓度计装置，包括容器、位于所述容器 内的浓度计以及覆盖于所述容器外表面的金属层。
其中，所述金属层可以为铝箔纸材料，所述浓度计插置在所述容器中， 并通过数据通信线向外传输数据，所述容器为塑料容器。
通过覆盖于容器外表面的金属层，可以屏蔽周围环境中的静电及电i兹对 浓度计的干扰，从而防止测量值的波动，提高浓度测量的准确度。
本实用新型提供的在线浓度计装置结构简单、成本低。


图1为现有技术在线浓度计装置截面示意图2为现有技术在线浓度计装置的测量结果图3为本实用新型提供的在线浓度计装置具体实施例截面示意图4为本实用新型实施例的在线浓度计装置的测量结果图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，
以下结合附图对本发明 作进一步的详细描述。
图3本实用新型所提供的抗干扰浓度计装置的其中一个具体实施例截面 示意图。如图1所示，抗干扰浓度计装置10包括容纳化学溶液的塑容器2, 可选材料为塑料，用于盛装化学溶液，位于容器2中的浓度计5以及覆盖于 容器2外表面的金属层3。其中4为与浓度计相连接的数据通讯线，用于浓度计测量出来的数据值的传输。21为容器的入口， 22为容器的出口；化学溶液 从入口进入，出口流出，在容器2中完成在线浓度检测。金属层3紧贴于容 器2的表面，全部覆盖容器2，它可以为一层铝箔纸材料，可以屏蔽周围环境 中的静电以及电-兹对浓度计5的干扰，从而放置测量值的波动，提高浓度测 量的准确度。此外，所述浓度计装置的结构简单，可以低成本实现。
图4所示为本实用新型实施例的在线浓度计装置的测量结果图。与现有 技术的在线浓度计装置的测量结果图2所比较可以看出，防止了浓度计的质 量百分比浓度的波动，其测量精度基本达到0. 01%。
在不偏离本发明的精神和范围的情况下还可以构成许多有很大差别的
实施例。应当理解，除了如所附的权利要求所限定的，本发明不限于在说明 书中所述的具体实施例。
权利要求1. 一种在线浓度计装置，包括容器以及位于所述容器内的浓度计，其特征在于还包括覆盖于所述容器外表层的金属层。
2. 根据权利要求1所述的在线浓度计装置，其特征在于所述金属层为铝箔纸。
3. 根据权利要求1所述的在线浓度计装置，其特征在于所述浓度计插置在所 述容器中，并通过数据通信线向外传输数据。
4. 根据权利要求1所述的在线浓度计装置，其特征在于所述容器为塑料容器。
专利摘要本实用新型涉及一种在线浓度计装置，该装置包括容器、位于所述容器内的浓度计以及覆盖于所述容器外表面的金属层。通过覆盖于容器外表面的金属层，可以屏蔽周围环境中的静电及电磁对浓度计的干扰，从而防止在线浓度计装置测量值的波动，提高浓度测量的准确度。本实用新型提供的在线浓度计装置结构简单、成本低。
文档编号G01N31/00GK201233388SQ20082015122
公开日2009年5月6日 申请日期2008年7月25日 优先权日2008年7月25日
发明者旭 张, 杨学娜 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司