专利名称：一种磁力探测器的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体测试领域，具体涉及一种磁力探测器。
背景技术：
半导体测试领域，要用测试探针接通晶圆晶粒的pad，通过探测机器发出测试信号开始测试，这一功能是通过一名称为探测器的辅助装置实现的。探测器有一静触点和一探测旋转杆，旋转杆平常通过弹簧弹力，自身重力或其它力与触点接触，当一晶圆置于探针台上上升运动时，其晶粒触及到装于探测旋转杆上的探 针，从而使探测旋转杆旋转，进而使旋转杆与静触点分离。在静触点和旋转杆上分别接上一对电极的正极和负极，从而可以检测到静触点与旋转杆的接通和断开，当静触点与旋转杆接通时，说明探针与晶粒没有接通；当静触点与旋转杆断开时，说明探针与晶粒已经接通，探测机器便发出测试信号，探针电极接通测试电路进行晶粒的测试。而现有的探测器的精确度和性能均不是很良好。
发明内容为了提高探测器的精确度，本实用新型提供了一种磁力探测器。一种磁力探测器，包括探测器主体和旋转杆，所述旋转杆包括旋转杆头和旋转杆尾，还包括旋转杆轴，所述旋转杆轴安装在所述探测器主体上，所述旋转杆头和旋转杆尾分别在旋转杆轴的两侧，所述旋转杆尾上设有第一磁部件，所述探测器主体上设有第二磁部件和静触点，可相靠近或远离的所述第一磁部件与第二磁部件之间存在磁引力，可与所述静触点相接触或分离的所述旋转杆可绕旋转杆轴转动。优选地，所述旋转杆包括支撑块，所述探测器主体上开有用以安装所述支撑块的支撑块槽，所述旋转杆头和旋转杆尾安装在所述支撑块的两侧，所述探测器主体的下表面设有旋转杆槽，所述静触点和第二磁部件安装在所述旋转杆槽的上表面，所述旋转杆轴安装在所述支撑块和支撑块槽的侧壁上。优选地，还包括调节螺杆，所述探测器主体上表面设有安装所述调节螺杆的螺杆孔，所述调节螺杆的靠近探测器主体下表面的一端具有容纳孔，所述第二磁部件安装在所述容纳孔内。优选地，还包括两个球头柱塞，所述支撑块槽的两个侧壁上分别开有球头柱塞孔，所述旋转杆轴的两个端面是凹弧面，所述旋转杆轴穿过所述支撑块，球头柱塞安装在球头柱塞孔内且球头顶在旋转杆轴的凹弧面内。优选地,所述旋转杆头包括探针,所述探针包括探针主体、与探针主体连接的探针头、以及与探针主体呈一定角度的探针尾，所述旋转杆头的上表面设有与探针主体配合的水平槽，侧面开有与探针尾相配合的竖直槽，所述探针主体和探针尾分别安装在水平槽和竖直槽内。优选地,所述旋转杆头包括探针和压块,所述探针包括探针主体和与探针主体连接的探针头，所述压块具有与旋转杆头相配合的压块槽，所述压块槽的内表面具有与探针主体配合的探针槽，所述旋转杆头的上表面设有与探针主体配合的水平槽，所述旋转杆头穿过压块槽，所述探针主体安装在探针槽和水平槽之间。优选地，还包括紧固件，所述压块的上表面设有紧固件槽，所述旋转杆头的上表面设有安装孔，所述紧固件穿过紧固件槽固定在安装孔内。优选地，所述第一磁性部件是磁铁，所述第二磁性部件是铁。优选地，所述球头柱塞与球头柱塞孔通过螺纹配合，所述旋转杆轴与支撑块之间安装有轴承。优选地，所述探针头与所述探针主体呈一定角度。现有的探测器旋转支撑采用金属薄片，其容易变形且会产生附加的探测力，性能不好，且探测器的调力采用弹簧，弹簧力为机械力且弹簧与旋转杆为机械接触，调力性能不好；相比现有的探测器，本磁性探测器调力采用磁铁，磁铁与探测旋转杆无接触，通过磁铁与旋转杆的距离来调节力的大�。阅苡乓烨揖范雀撸恍С挪捎弥岢校榛钗薷郊恿Σ挥跋焯讲饬Φ木艿魇裕涣硗獗咎讲馄魍辈捎眉姓虢峁梗ü拐肟樵诩姓敫松系幕评醋叭√秸耄浅７奖�。
图I是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的部分剖侧视组装示意图；图2是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的部分剖侧视示意图；图3是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的部分剖视组装示意图；图4是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的示意图图；图5是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的旋转杆转轴的示意图；图6是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的组装示意图；图7是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的局部放大示意图；图8是本实用新型的一种实施例的磁力探测器的压块示意图。
具体实施方式
以下将结合附图，对本实用新型的实施例作进一步详细说明。如图I所示，一种实施例的磁力探测器，包括探测器主体100、旋转杆和旋转杆轴，旋转杆包括旋转杆头400和旋转杆尾210，旋转杆轴安装在探测器主体100上，旋转杆头400和旋转杆尾210分别在旋转杆轴的两侧，旋转杆尾210上设有第一磁部件220，探测器主体100上设有第二磁部件310和静触点110，旋转杆可绕旋转杆轴转动，第一磁部件220与第二磁部件310之间存在的磁引力可以使旋转杆尾210转动至与静触点110接触，而当旋转杆头400受到一定的向上的力时，旋转杆尾210克服磁引力而与静触点分离，同时第一磁部件220也远离第二磁部件310运动。第一磁性部件220是磁铁，第二磁性部件310是铁。如图I至3所示，在一个更为具体的实施例中，旋转杆包括支撑块200，磁力探测器还包括球头柱塞150、球头柱塞160、旋转杆轴270和轴承260，探测器主体100上开有用以安装支撑块200的支撑块槽130，支撑块槽130的两个侧壁上开有通孔250，旋转杆轴271的两个端面271是个凹的弧形面，轴承260安装在支撑块200的支撑块孔240内，旋转杆轴270穿过轴承260的通孔261，球头柱塞150和160安装在通孔250内并通过螺纹相配合，且球头151与旋转杆轴270的端面271相配合，球头151顶在端面271上，从而将旋转杆轴271固定，旋转杆头400和旋转杆尾210安装在支撑块200的两侧。[0029]探测器主体100还包括调节螺杆300，探测器主体100的上表面设有螺杆孔，探测器主体100的下表面设有旋转杆槽120，调节螺杆300安装在螺杆孔内其下端面(靠近探测器主体下表面的一端)可以伸入到旋转杆槽120内，调节螺杆300的下端面设有容纳孔，第二磁部件310安装在容纳孔内，静触点110安装在旋转杆槽120的上表面121，而第一磁部件220则安装在旋转杆尾210的安装孔230内，旋转杆尾210转动时可以伸入旋转杆槽120内，旋转调节螺杆300可以调节其伸入旋转杆槽120的长度，即调节了第一磁部件220与第二磁部件310之间的距离以及相互之间的磁弓丨力。如图5至8所示旋转杆头400包括探针410、压块420和紧固件430，探针410包括探针主体411、与探针主体连接的探针头413和探针尾412，探针头413和探针尾412均与探针主体411呈一定角度并向下弯曲，压块420具有与旋转杆头400相配合的压块槽422，压块槽422的内表面具有与探针主体配合的探针槽423，旋转杆头400的上表面设有与探针主体411配合的水平槽440，侧面开有与探针尾412相配合的竖直槽450，旋转杆头400穿过压块槽422，压块420压在探针410上，探针主体411安装在探针槽423和水平槽440形成的空间内，探针尾412安装在竖直槽450内。旋转杆头400还包括紧固件430，压块420的上表面设有紧固件槽421，旋转杆头400的上表面设有安装孔。压块420可以沿着旋转杆头400的表面前后运动，当需要换探针410时，向后推压块420使其不压在探针410安装部位，将探针410安装好后，向前推压块420压紧探针410，并将紧固件430穿过紧固件槽421固定在安装孔内。
权利要求1.一种磁力探测器，包括探测器主体和旋转杆，所述旋转杆包括旋转杆头和旋转杆尾，其特征是还包括旋转杆轴，所述旋转杆轴安装在所述探测器主体上，所述旋转杆头和旋转杆尾分别在旋转杆轴的两侧，所述旋转杆尾上设有第一磁部件，所述探测器主体上设有第二磁部件和静触点，可相靠近或远离的所述第一磁部件与第二磁部件之间存在磁引力，可与所述静触点相接触或分离的所述旋转杆可绕旋转杆轴转动。
2.如权利要求I所述的磁力探测器，其特征是所述旋转杆包括支撑块，所述探测器主体上开有用以安装所述支撑块的支撑块槽，所述旋转杆头和旋转杆尾安装在所述支撑块的两侧，所述探测器主体的下表面设有旋转杆槽，所述静触点和第二磁部件安装在所述旋转杆槽的上表面，所述旋转杆轴安装在所述支撑块和支撑块槽的侧壁上。
3.如权利要求I所述的磁力探测器，其特征是还包括调节螺杆，所述探测器主体上表面设有安装所述调节螺杆的螺杆孔，所述调节螺杆的靠近探测器主体下表面的一端具有容纳孔，所述第二磁部件安装在所述容纳孔内。
4.如权利要求2所述的磁力探测器，其特征是还包括两个球头柱塞，所述支撑块槽的两个侧壁上分别开有球头柱塞孔，所述旋转杆轴的两个端面是凹弧面，所述旋转杆轴穿过所述支撑块，球头柱塞安装在球头柱塞孔内且球头顶在旋转杆轴的凹弧面内。
5.如权利要求I所述的磁力探测器，其特征是所述旋转杆头包括探针，所述探针包括探针主体、与探针主体连接的探针头、以及与探针主体呈一定角度的探针尾，所述旋转杆头的上表面设有与探针主体配合的水平槽，侧面开有与探针尾相配合的竖直槽，所述探针主体和探针尾分别安装在水平槽和竖直槽内。
6.如权利要求I所述的磁力探测器，其特征是所述旋转杆头包括探针和压块，所述探针包括探针主体和与探针主体连接的探针头，所述压块具有与旋转杆头相配合的压块槽，所述压块槽的内表面具有与探针主体配合的探针槽，所述旋转杆头的上表面设有与探针主体配合的水平槽，所述旋转杆头穿过压块槽，所述探针主体安装在探针槽和水平槽之间。
7.如权利要求6所述的磁力探测器，其特征是还包括紧固件，所述压块的上表面设有紧固件槽，所述旋转杆头的上表面设有安装孔，所述紧固件穿过紧固件槽固定在安装孔内。
8.如权利要求I所述的磁力探测器，其特征是所述第一磁性部件是磁铁，所述第二磁性部件是铁。
9.如权利要求4所述的磁力探测器，其特征是所述球头柱塞与球头柱塞孔通过螺纹配合，所述旋转杆轴与支撑块之间安装有轴承。
10.如权利要求5-7任一所述的磁力探测器，其特征是所述探针头与所述探针主体呈一定角度。
专利摘要本实用新型公开了一种磁力探测器，包括探测器主体和旋转杆，旋转杆包括旋转杆头和旋转杆尾，还包括旋转杆轴，旋转杆轴安装在探测器主体上，旋转杆头和旋转杆尾分别在旋转杆轴的两侧，旋转杆尾上设有第一磁部件，探测器主体上设有第二磁部件和静触点，可相靠近或远离的第一磁部件与第二磁部件之间存在磁引力，可与静触点相接触或分离的旋转杆可绕旋转杆轴转动。本磁性探测器调力采用磁铁，磁铁与探测旋转杆无接触，通过磁铁与旋转杆的距离来调节力的大�。阅苡乓烨揖范雀撸恍С挪捎弥岢校榛钗薷郊恿Σ挥跋焯讲饬Φ木艿魇裕涣硗獗咎讲馄魍辈捎眉姓虢峁梗ü拐肟樵诩姓敫松系幕评醋叭√秸耄浅７奖�。
文档编号G01R31/26GK202794442SQ20122026431
公开日2013年3月13日 申请日期2012年6月6日 优先权日2012年6月6日
发明者杨波, 向锦, 杨应俊 申请人:深圳市矽电半导体设备有限公司
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