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专利名称：半导体材料电信号测试装置的制作方法
技术领域：
本实用新型提供一种电信号测试装置，特别是指一种半导体材料电信号测试装置。
本实用新型一种半导体材料电信号测试装置，其特征在于，包括一样品室上盖，该样品室上盖为圆形，在样品室上盖的上方中心开有圆形的光照孔，在有光照孔的一侧面形成有一带有外螺纹的凸台；一底座，该底座的下面有一带内螺纹的凹槽，中心有一圆孔，该底座与样品室上盖螺接；一光学玻璃，为圆形，该光学玻璃放置在样品室上盖与底座之间；一腔体，其中间具有一圆形的中空部分，在其一侧壁上有一螺孔，在该螺孔内螺接一推进螺杆，该腔体用螺丝与底座固接；一微动台，断面为T形，在中心部位有一透光孔，该微动台的小端通过游动键块嵌入在腔体的中空部分，该微动台大端的外径上有螺纹；一透镜固定架，为梯形柱体，其中间具有一梯形圆孔，在该梯形圆孔内用螺接的方式固定有一透镜，该透镜固定架上端为光缆接口，该透镜固定架螺接在微动台上。
其中在腔体的中空部分的内壁上与推进螺杆相对的位置有一圆孔，在圆孔内装有一弹簧顶针。
其中在透镜固定架的上端侧壁上装有一调节螺丝。
其中在样品室上盖与光学玻璃之间有一真空密封圈。
一透镜固定架2，为梯形柱体，其中间具有一梯形圆孔，在该梯形圆孔内用螺接的方式固定有一透镜1，该透镜固定架2上端为光缆接口3，在透镜固定架2的上端侧壁上装有一调节螺丝4，该透镜固定架2螺接在微动台5上。
本实用新型解决了半导体材料光瞬态测试对光点的精确要求，并可同时适用于光瞬态电流仪和光瞬态电容测试设备，它是通过透镜1，透镜固定架2及水平x、y方向微动台5达到调节x、y方向位移，透镜1是由不同规格的复合透镜组成，通过螺纹固定在透镜固定架2上(透镜可根据实验要求随时更换)。固定架2的上端设有透过光束的光缆接口3及垂直z方向调节螺丝4。透镜固定架通过螺纹固定在水平方向微动台5上。水平微动系统是由一个放置在腔体7中的微动台5，及调节微动台5xy方向的两组弹簧顶针10和推进螺杆9组成。
测试时将样品放置在样品台上，将样品室上盖12盖好，将本装置的底座11通过螺旋固定在样品室上盖12上的光照孔13上。将光缆固定在本装置的光缆接口3上，并用调节螺丝4固定。开启光源，即可通过透镜固定架2上z方向螺旋调节螺丝4和水平微动座上的x，y方向调节螺杆9进行光点的三维调节和聚焦以达到实验所需的精确要求。
本装置为半导体材料的光瞬态电信号测试，提供了可靠的方法，解决了原设备无法解决的问题。并满足了样品变温测试的要求。
权利要求1.一种半导体材料电信号测试装置，其特征在于，包括一样品室上盖，该样品室上盖为圆形，在样品室上盖的上方中心开有圆形的光照孔，在有光照孔的一侧面形成有一带有外螺纹的凸台；一底座，该底座的下面有一带内螺纹的凹槽，中心有一圆孔，该底座与样品室上盖螺接；一光学玻璃，为圆形，该光学玻璃放置在样品室上盖与底座之间；一腔体，其中间具有一圆形的中空部分，在其一侧壁上有一螺孔，在该螺孔内螺接一推进螺杆，该腔体用螺丝与底座固接；一微动台，断面为T形，在中心部位有一透光孔，该微动台的小端通过游动键块嵌入在腔体的中空部分，该微动台大端的外径上有螺纹；一透镜固定架，为梯形柱体，其中间具有一梯形圆孔，在该梯形圆孔内用螺接的方式固定有一透镜，该透镜固定架上端为光缆接口，该透镜固定架螺接在微动台上。
2.根据权利要求1所述的半导体材料电信号测试装置，其特征在于，其中在腔体的中空部分的内壁上与推进螺杆相对的位置有一圆孔，在圆孔内装有一弹簧顶针。
3.根据权利要求1所述的半导体材料电信号测试装置，其特征在于，其中在透镜固定架的上端侧壁上装有一调节螺丝。
4.根据权利要求1所述的半导体材料电信号测试装置，其特征在于，其中在样品室上盖与光学玻璃之间有一真空密封圈。
专利摘要一种半导体材料电信号测试装置，包括一样品室上盖，在样品室上盖的上方中心开有圆形的光照孔，在有光照孔的一侧面形成有一带有外螺纹的凸台；一底座，下面有一带内螺纹的凹槽，中心有一圆孔，与样品室上盖螺接；一光学玻璃，放置在样品室上盖与底座之间；一腔体，中间具有一圆形的中空部分，在其一侧壁上有一螺孔，在该螺孔内螺接一推进螺杆，该腔体用螺丝与底座固接；一微动台，在中心部位有一透光孔，其小端通过游动键块嵌入在腔体的中空部分，大端的外径上有螺纹；一透镜固定架，其中间具有一梯形圆孔，在该梯形圆孔内用螺接的方式固定有一透镜，该透镜固定架上端为光缆接口，该透镜固定架螺接在微动台上。
文档编号G01R31/00GK2561096SQ0223452
公开日2003年7月16日 申请日期2002年4月30日 优先权日2002年4月30日
发明者张砚华, 卢励吾, 葛惟昆 申请人:中国科学院半导体研究所