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专利名称：一种自动抽空压氦注油装置的制作方法
技术领域：
本实用新型主要涉及电子元器件的密封检测领域，具体涉及一种自动抽空压氦注油装置。
背景技术：
电子元器件密封性直接影响到使用寿命与稳定等，于是密封检测是电子元器件生产制作过程中不可缺失的重要环节。目前电子元器件密封检测所使用的设备主要由氦质谱检漏仪与氟油检漏仪，与之配套是压氦罐装置与压轻氟油装置。氦质谱检漏仪检测电子元器件只能检测中小漏，对于大漏无法检测。氟油检漏仪只能检测大漏，对于中小漏无法检测。所以氦质谱检漏仪与氟油检漏仪是一对互补性产品。氦质谱检漏仪与氟油检漏仪是电子元器件生产厂家不可缺失的密封检测设备。目前市场上还没有同时生产氦质谱检漏仪与氟油检漏仪的厂家，配套装置功能也是单一的。实用新型内容本实用新型目的就是为了弥补已有应用技术的缺陷，提供提供一种多功能的自动抽空压氦注油装置。本实用新型是通过以下技术方案实现的自动抽空压氦注油装置，其特征在于包括有储油罐、油位传感器、真空泵、氦气瓶、氦气罐、氮气瓶、压力传感器、多个电磁阀，所述储油罐的底部连接油位传感器，所述储油罐的进油口连接电磁阀四，所述储油罐的出油口连接电磁阀三，所述电磁阀三连接电磁阀二，所述电磁阀二连接氦气罐的进油口，所述氦气罐还连接有压力传感器、电磁阀一、电磁阀六，所述电磁阀一连接氮气瓶，所述电磁阀六连接氦气瓶；所述电磁阀二与电磁阀三之间的管道开有一个支路，所述支路连接电磁阀五，所述电磁阀五连接真空泵。所述的一种自动抽空压氦注油装置，其特征在于所述的各部件之间通过管道连接。所述的一种自动抽空压氦注油装置，其特征在于所述储油罐中注入的油为轻氟油。本实用新型的工作原理为I、注油原理工件放入氦气罐后将罐盖密封良好。然后打开电磁阀二与电磁阀五，开启真空泵对氦气罐抽真空，当压力传感器检测达到设定真空值时关闭电磁阀五与真空泵。然后再打开电磁阀三与电磁阀四，电磁阀四一端与大气连通，一端与储油罐连接。根据压力差原理，储油罐中的轻氟油被压入氦气罐，当油位传感器检测值达到设定值时关闭电磁阀二与电磁阀三，再打开电磁阀一对氦其罐充入设定压力的氮气进行保压。此时工件浸泡在轻氟油中，注油一压氦罐上层空间有高压氮气，有利于轻氟油快速进入工件漏孔中。当保压时间达到设定值时打开电磁阀二与电磁阀三将轻氟油回收到储油罐中，再取出工件进行下一步检测。2、压氦原理工件放入氦气罐后将罐盖密封良好。然后打开电磁阀二与电磁阀五，开启真空泵对注油一压氦罐抽真空，当压力传感器检测达到设定真空值时关闭电磁阀二、电磁阀五与真空泵。再打开电磁阀六，对氦气罐充入一定压力氦气，然后进行氦气保压。此时工件如果有漏孔存在，氦气就会从漏孔进入工件内部。当保压时间达到设定值时打开氦气罐，取出工件进行下一步检测。本实用新型的优点是本实用新型结构简单，实现多种功能，为工件全量程检测提供了完善的测量准备。


图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
自动抽空压氦注油装置，包括有储油罐I、油位传感器2、真空泵3、氦气瓶4、氦气罐5、氮气瓶6、压力传感器13、多个电磁阀，所述储油罐I的底部连接油位传感器2，所述储 油罐I的进油口连接电磁阀四10，所述储油罐I的出油口连接电磁阀三9，所述电磁阀三9连接电磁阀二 8，所述电磁阀二 8连接氦气罐5底部的进油口，所述氦气罐I还连接有压力传感器13、电磁阀一 7、电磁阀六12，所述电磁阀一 7连接氮气瓶6，所述电磁阀六12连接氦气瓶4 ;所述电磁阀二 8与电磁阀三9之间的管道开有一个支路，所述支路连接电磁阀五11，所述电磁阀11五连接真空泵3。所述的各部件之间通过管道连接。所述储油罐I中注入的油为轻氟油。
权利要求1.一种自动抽空压氦注油装置，其特征在于包括有储油罐、油位传感器、真空泵、氦气瓶、氦气罐、氮气瓶、压力传感器、多个电磁阀，所述储油罐的底部连接油位传感器，所述储油罐的进油口连接电磁阀四，所述储油罐的出油口连接电磁阀三，所述电磁阀三连接电磁阀二，所述电磁阀二连接氦气罐底部的进油口，所述氦气罐还连接有压力传感器、电磁阀一、电磁阀六，所述电磁阀一连接氮气瓶，所述电磁阀六连接氦气瓶；所述电磁阀二与电磁阀三之间的管道开有一个支路，所述支路连接电磁阀五，所述电磁阀五连接真空泵。
2.根据权利要求I所述的一种自动抽空压氦注油装置，其特征在于所述的各部件之间通过管道连接。
3.根据权利要求I所述的一种自动抽空压氦注油装置，其特征在于所述储油罐中注入的油为轻氟油。
专利摘要本实用新型公开了一种自动抽空压氦注油装置，其特征在于包括有储油罐、油位传感器、真空泵、氦气瓶、氦气罐、氮气瓶、压力传感器、多个电磁阀，所述储油罐的底部连接油位传感器，所述储油罐的进油口连接电磁阀四，所述储油罐的出油口连接电磁阀三，所述电磁阀三连接电磁阀二，所述电磁阀二连接氦气罐的进油口，所述氦气罐还连接有压力传感器、电磁阀一、电磁阀六，所述电磁阀一连接氮气瓶，所述电磁阀六连接氦气瓶；所述电磁阀二与电磁阀三之间的管道开有一个支路，所述支路连接电磁阀五，所述电磁阀五连接真空泵。本实用新型结构简单，实现了多种功能，为工件全量程检测提供了完善的测量准备。
文档编号G01M3/02GK202372313SQ20112043599
公开日2012年8月8日 申请日期2011年11月7日 优先权日2011年11月7日
发明者张志 申请人:安徽皖仪科技股份有限公司