专利名称：四极型质量分析装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种使用了四极滤质器(mass filter)作为根据质量电荷比(m/z)分离源自试样的离子的质量分析器的四极型质量分析装置。
背景技术：
一般地，在四极型质量分析装置中，将由试样生成的各种离子导入四极滤质器来仅使具有特定的质量电荷比的离子选择性地通过，利用检测器对所通过的离子进行检测来获取与尚子的量相应的强度信号。如公知那样，普通的四极滤质器由被配置成围绕离子光轴且互相平行的四根杆电极构成，对该四根杆电极分别施加将直流电压和高频电压(交流电压)相加得到的电压。能够通过沿着四极滤质器的离子光轴的方向的空间的离子的质量电荷比取决于施加于杆电极的高频电压(振幅)和直流电压。因此，通过根据分析对象的离子的质量电荷比适当地设定高频电压和直流电压，能够使作为目标的离子选择性地通过并对其进行检测。另外，使施加于杆电极的高频电压和直流电压分别在规定范围内变化，由此能够在规定范围内对通过四极滤质器的离子的质量电荷比进行扫描，根据此时由检测器得到的信号来制作质谱。这就是所谓的扫描测量。更为详细地说明施加于四极滤质器的杆电极的电压，一般使四根杆电极中的隔着离子光轴相对的两根杆电极之间电连接，对其中一个由两根杆电极构成的组施加U+V · COSCOt的电压,对另一个由两根杆电极构成的组施加-U-V · COSCOt的电压。该±U是直流电压，土v*coson是高频电压。也有时对各杆电极还附加共用的直流偏置电压，但该直流偏置电压与能够通过的离子的质量电荷比基本无关，因此在此对其忽略。此外，如上所述，严格地说，U是直流电压的电压值，V是高频电压的振幅值，但在以下说明中简化地记为直流电压U、高频电压V。
当进行上述的扫描测量时，通常进行如下控制在使直流电压的电压值U与高频电压的振幅值V之比(U/V)保持固定的同时，分别改变U和V(例如参照专利文献I)。例如在如专利文献2中记载的以往的四极型质量分析装置中，利用D/A转换器将从控制用CPU依次提供的电压设定数据转换为模拟电压，由此生成扫描测量时施加于杆电极的直流电压U。因此，相对于质量电荷比的变化的直流电压U的变化为如图6的(b)所示那样的大致直线状。通过调整该直流电压U来对质量分辨率进行调整，该质量分辨率是质量分析装置的重要的性能之一。利用基于图7所示的马提厄(Mathieu :有时也被称为马修)方程式的解的稳定条件的稳定区域图来简单地说明该情况。在被杆电极围成的四极电场中离子能够稳定地存在(即能够在飞行途中不发散地通过四极滤质器)的稳定区域S是用如图7的(a)和图7的(b)中所示的大致三角形状的框围成的区域。伴随质量电荷比的增加，稳定区域S如图示那样向与该质量电荷比的增加方向相同的方向(右方)移动并且扩大其面积。基本上，只要在进行质量扫描时以使直流电压U连续进入稳定区域S内的方式来改变该电压U，就能够使具有作为目标的质量电荷比的离子依次通过四极滤质器。但是，质量分辨率根据表示直流电压U相对于质量电荷比的变化的直线L横穿稳定区域S内的哪个位置而不同。因而，为了在整个质量范围内大致均匀地维持质量分辨率，需要改变直流电压U，使得直线L横穿形状相似且位置和面积依次变化的稳定区域S内相对相同的部分。因此，以往，能够通过调整“增益”和“偏移”这两个参数来调整直流电压U的线性的变化，进而能够调整质量分辨率。具体地说，“增益”是能够改变电压U的变化量与质量电荷比的变化量之比的参数，如图7的(b)所示，当改变“增益”时，表示质量电荷比与电压U之间的关系的直线L的斜率发生变化。另一方面，“偏移”是能够改变质量电荷比的变化(扫描)起点处的电压U的绝对值的参数，如图7的(a)所示，当改变“偏移”时，表示质量电荷比与电压U之间的关系的直线L在电压U轴方向上进行平移。在以往的四极型质量分析装置中，在利用标准试样进行校准时，通过自动调整上述两个参数来对表示质量电荷比与电压U之间的关系的直线的斜率、位置进行调整，从而能够调整质量分辨率。另外，在普通的四极型质量分析装置中，通过线圈将高频电压V与直流电压U相加并施加于各杆电极。如专利文献I所记载的那样，在多数情况下，为了确保施加于杆电极的高频电压的振幅值的准确性，通过使用了二极管的检波电路取出通过线圈后的高频电压的包络线来作为检波信号，将检波信号与目标电压之间的误差反馈给用于产生高频电压的振幅调制器。然而，如在上述文献中还指出的那样，检波用二极管的线性动作范围并不太宽广，因此检波电路的输出特性有时不是直线而是曲线。在二极管的非线性严重的情况下，相对于质量电荷比的变化的高频电压V的变化有时例如如图6的(a)所示那样成为大的曲线状。在高频电压V与质量电荷比之间的关系如直流电压U与质量电荷比之间的关系那样是线性的情况下，利用了基于上述马提厄方程式的稳定状态图的质量分辨率的说明成立，如果高频电压V与质量电荷比之间的关系是非线性的，则质量电荷比的范围内的质量分辨率的均匀性下降。
图8是改变“增益”和“偏移”时的低质量(m/zl68) 高质量(m/zl893)的质谱的实测例。图8的(a)是进行了调整以使在高质量区域质量分辨率变得良好时的例子，但是此时可知在中质量区域(m/z652 m/zl225)质量分辨率变差(峰值宽度宽)。图8的(b)是进行了调整以使在中质量区域质量分辨率变得良好时的例子，此时，在高质量区域分辨率变差。另外，在中质量区域质量分辨率良好，但离子灵敏度下降得相当低。图8的(c)是使用线性良好的元件来作为用于检波电路的二极管并进行了调整以使在整个质量区域质量分辨率变得良好时的例子。该状态是几乎理想的状态，但是可实现该状态的二极管难以到手且与普通的二极管相比成本格外高。专利文献1:日本特开2002-33075号公报专利文献2 :日本特开2007-323838号公报
发明内容
发明要解决的问题本发明是为了解决上述问题而完成的，其主要目的在于提供一种四极型质量分析装置，其即使在施加于四极滤质器的高频电压的相对于质量电荷比的线性差的情况下，也能够在整个质量电荷比范围内改善质量分辨率的均匀性。另外，本发明的另一目的在于提供一种能够不给使用者添麻烦地在整个质量电荷比范围内自动实现高的质量分辨率的均匀性的四极型质量分析装置。用于解决问题的方案为了解决上述问题而完成的本发明是一种四极型质量分析装置，其具备离子源，其对试样进行离子化；四极滤质器，其由四根电极构成；四极驱动单元，其生成将与通过该四极滤质器的离子的质量电荷比相应的直流电压与高频电压相加得到的电压并施加于该四极滤质器；以及检测器，其对通过上述四极滤质器的离子进行检测，该四极型质量分析装置的特征在于，上述四极驱动单元包括a)存储单元,其事先存储与质量电荷比相应的电压设定数据，并且分别事先存储增益、共用偏移、质量对应偏移来作为用于在进行质量扫描时改变与质量电荷比相应的直流电压的控制参数，其中，该增益用于决定直流电压与高频电压的振幅之比，该共用偏移用于决定不取决于质量电荷比的、根据扫描速度的不同而不同的偏移电压，该质量对应偏移用于针对质量扫描的范围内的多个质量电荷比分别设定不同的偏移电压；以及b)直流电压生成单元，其在执行质量扫描时生成施加于上述四极滤质器的直流电压，该直流电压是至少将以下电压相加而得到的，即对根据质量电荷比的变化从上述存储单元获取到的电压设定数据进行数字/模拟转换并与从上述存储单元获取到的增益相乘而得到的电压、对根据该时刻的扫描速度从上述存储单元获取到的共用偏移进行数字/模拟转换而得到的电压以及对根据质量电荷比的变化从上述存储单元获取到的质量对应偏移进行数字/模拟转换而得到的电压。在本发明所涉及的四极型质量分析装置中，通过事先针对质量扫描对象的质量电荷比范围内的多个质量电荷比适当地设定不同的质量对应偏移，能够使在一次质量扫描期间施加于四极滤质器的离子选择用的直流电压的偏移电压发生变化。由此，相对于质量电荷比的变化的直流电压的变化不是线性而成为非线性。
如上所述，在用于对施加于四极滤质器的高频电压进行反馈控制的检波电路的输出特性具有非线性的情况下，相对于质量电荷比的变化的高频电压的振幅的变化必然为非线性，但能够使直流电压的变化变为非线性，使得与该高频电压的振幅变化的非线性相似。即，能够使高频电压的振幅相对于质量电荷比的变化的特性与直流电压相对于质量电荷比的变化的特性相似。由此，在进行质量扫描时无论质量电荷比为多少，表示高频电压与直流电压之间的关系的扫描直线都通过基于马提厄方程式的稳定区域内的相对大致相同的位置。发明的效果因而，根据本发明所涉及的四极型质量分析装置，即使用于对施加于四极滤质器的高频电压进行反馈控制的检波电路具有非线性特性，也能够在要进行扫描的整个质量电荷比范围内使质量分辨率大致均匀。另外，本发明所涉及的四极型质量分析装置优选构成为还具备调整单元，该调整单元对上述离子源提供组成成分已知的规定的试样，将通过上述四极滤质器的离子的质量电荷比转换为多个等级，同时一边在该质量电荷比固定的状态下使提供给上述直流电压生成单元的质量对应偏移发生变化，一边监视由上述检测器产生的检测信号，以使在转换为多个等级的质量电荷比下质量分辨率一致的方式决定针对各质量电荷比的质量对应偏移。
在该结构中，例如当使用者(分析者)进行按下执行自动调整的指示按钮等简单操作时，上述调整单元自动执行针对标准试样等的分析，在所决定的多个等级的质量电荷比的情况下求出使得质量分辨率大致均匀的质量对应偏移，并存储到存储单元中。当然同时还能够针对多个扫描速度分别求出恰当的共用偏移。因而，根据该结构，能够不给使用者添麻烦地、自动地在整个质量电荷比范围内将质量分辨率调整为大致均匀。
图1是本发明的一个实施例的四极型质量分析装置的主要部分的结构图。图2是图1中的直流电压产生部的概要�？榻峁雇�。图3是表示用于产生直流电压的控制参数的一例的图。图4是表示本实施例的四极型质量分析装置的质量电荷比与直流电压U之间的关系的图。图5是表示每个质量电荷比都进行了偏移校正时和不进行偏移校正时的质谱的实测例的图。图6的(a)是表示以往的四极型质量分析装置的质量电荷比与高频电压V之间的关系的图，图6的(b)是表示以往的四极型质量分析装置的质量电荷比与直流电压U之间的关系的图。图7是表示在以往的四极型质量分析装置中进行了增益和偏移的调整时的质量电荷比与直流电压U之间的关系的图。图8是表示以往的四极型质量分析装置的低质量区域 高质量区域的质谱的实测例的图。
具体实施例方式下面，参照
本发明所涉及的四极型质量分析装置的一个实施例。图1是本实施例的四极型质量分析装置的主要部分的结构图，图2是图1中的直流电压产生部的概要�？榻峁雇�。在本实施例的四极型质量分析装置中，在离子源I中对试样成分进行离子化，所生成的离子被导入到四极滤质器2的长轴方向的空间，仅使具有特定的质量电荷比的离子通过四极滤质器2到达检测器3并对其进行检测。四极滤质器2由四根杆电极21、22、23、24构成，该四根杆电极21、22、23、24被互相平行地配置成与以离子光轴C为中心的规定半径的圆筒相内切。隔着离子光轴C相对的杆电极21与23电连接，隔着离子光轴C相对的杆电极22与24电连接，从四极驱动部5分别施加规定的电压。四极驱动部5包括四极电压控制部51，其构成为包括CPU等；控制数据存储部52，其对四极电压控制部51提供控制数据；直流电压产生部53，其根据来自四极电压控制部51的数据产生极性互不相同的±匸的两个系统的直流电压；高频电压产生部54，其产生相位彼此相差180° (=π)的土V · cos on的高频电压；变压器55，其用于将高频电压与直流电压相加；以及检波部56，其包括用于监视施加于杆电极21 24的高频电压的二极管等。在控制数据存储部52中，除了存储有在本装置中作为测量对象的针对质量电荷比范围内的各质量电荷比的电压设定数据以外，还存储有“增益”、“共用偏移”以及“质量对应偏移”这三种控制参数。由检测器3产生的检测信号被输入到数据处理部4，在转换为数字数据之后实施质谱制作等各种数据处理。该数据处理结果被反馈到执行本装置整体的控制的控制部6。控制部6包括自动调整部61，该自动调整部61用于如后述那样自动决定存储到控制数据存储部52中的数据、参数，控制部6在执行质量分析动作时对四极电压控制部51发出指示。如图2所示，直流电压产生部53包括第一 D/A转换器530，其将电压设定数据转换为模拟电压；第二 D/A转换器531，其将电压设定数据转换为模拟电压，并且将所提供的与“增益”相应的系数乘以该电压；第三D/A转换器532，其将所提供的“共用偏移”的值转换为模拟电压；第四D/A转换器533，其将所提供的“质量对应偏移”的值转换为模拟电压；加法器536，其将从第三D/A转换器532输出的模拟电压与从第四D/A转换器533输出的模拟电压相加；加法器535，其将从加法器536输出的模拟电压与从第二 D/A转换器531输出的模拟电压相加；加法器534，其将从加法器535输出的模拟电压与从第一 D/A转换器530输出的模拟电压相加；反转放大器538，其使从加法器534输出的模拟电压的极性反转；力口法器537，其将从加法器534输出的模拟电压与直流偏置电压Bias相加；以及加法器539，其将从反转放大器538输出的模拟电压与直流偏置电压Bias相加。上述D/A转换器530、531、532、533分别具有适当的输入输出特性。另外，加法器534、535、536、537、539并不限于仅以1:1的比例对两个输入进行相加，还以适当的比进行相加。另外，具有根据需要进一步与固定值相加来使电压进行电平移位的功能。图3是表示在本实施例的四极型质量分析装置中存储在控制数据存储部52的控制参数的例子的图。“增益”是共用的值G，“共用偏移”是每个扫描速度(在该例中为125、2500,7500,15000[u/s]四个等级)都不同的值D1、D2、…，其中，该扫描速度是质量扫描时的条件之一，“质量对应偏移”是针对在质量电荷比范围内设定的多个质量电荷比(在该例中为m/zl0、500、1000、1500、2000`五种)而不同的值Da、Db、…。对这些控制参数值预先准备了默认值，直接就用默认值时不一定能对四极滤质器2施加恰当的电压，不能充分发挥性能。因此，当利用标准试样进行校正动作时，自动调整部61按照如下的过程决定控制参数的最佳值。在进行自动调整时，将包含已知浓度的已知成分的标准试样持续地导入到离子源
I。首先，自动调整部61指示直流电压产生部53将“增益”和“共用偏移”设定为默认值。然后，在将扫描速度设定为最慢的速度(在该例中为125[u/s])之后，一边从默认值起逐渐改变“增益”一边反复进行质量扫描。自动调整部61从数据处理部4接收该质量扫描时得到的针对规定成分的信号强度的信息，找出使信号强度最大的最佳的“增益”，将该值设为G并存储到控制数据存储部52中。接着，在将“增益”设定为G的状态下从默认值起逐渐改变“共用偏移”，找出最低扫描速度时的最佳的“共用偏移”，将该值设为Dl并存储到控制数据存储部52中。接着，在将“增益”设定为G、将“共用偏移”设定为Dl的状态下，针对上述5个等级的质量电荷比的每个质量电荷比调整“质量对应偏移”，使得质量分辨率大致均匀。具体地说，当质量分辨率比最佳的质量分辨率小时，使“质量对应偏移”的值变�。喾吹兀敝柿糠直媛时茸罴训闹柿糠直媛蚀笫保埂爸柿慷杂ζ啤钡闹当浯�。然后，调整各自的“质量对应偏移”使得上述5个等级的质量电荷比时的质量分辨率的差收敛在规定的容许范围内，将最终求出的值设为Da De并存储到控制数据存储部52中。最后，在将“增益”设定为G、针对上述各质量电荷比将“质量对应偏移”分别设定为Da De、并且对相邻的质量电荷比之间进行线性插值的状态下，一边将扫描速度依次变为125 — 2500 — 7500 — 15000，一边针对2500 [u/s]以上的扫描速度找出最佳的“共用偏移”。将这样求出的值设为D2、D3、D4并存储到控制数据存储部52中。通过以上的处理，将要存储到控制数据存储部52中的“增益”、“共用偏移”、“质量对应偏移”的表中的值全部填满。当在本实施例的四极型质量分析装置中执行目标试样的分析时，控制部6除了对四极电压控制部51指示测量对象的质量电荷比范围以外，还对四极电压控制部51指示由分析者指示的或者根据测量对象的质量电荷比范围等扫描条件决定的扫描速度。四极电压控制部51按照该指示从控制数据存储部52读出“增益”、与扫描速度对应的“共用偏移”以及与质量电荷比范围相应的“质量对应偏移”。然后，将在质量扫描中不变的“增益”和“共用偏移”提供给直流电压产生部53，并且将随着质量电荷比的变化而依次变化的电压变化数据提供给高频电压产生部54和直流电压产生部53。另外，伴随质量电荷比的变化，将对针对多个等级的质量电荷比的“质量对应偏移”进行线性插值而求出的偏移值依次提供给直流电压产生部53。在以往的四极型质量分析装置中，直流电压土U中的偏移电压(用图2而言，是相当于加法器536的输出的电压)不取决于质量电荷比，因此质量电荷比与直流电压U之间的关系是如图4中的虚线所示那样的直线状。与此相对地，在本实施例的四极型质量分析装置中，加法器536的输出电压根据质量电荷比而变化，且其变化是质量分辨率不取决于质量电荷比而大致固定那样的变化。因此，在高频电压V相对于质量电荷比的变化为如图6的(a)所示那样的非线性的情况下，直流电压U相对于质量电荷比的变化也如图4中的实线所示那样成为折线状。该直流电压U的折线状的变化相似于高频电压V的曲线状的变化，因此能够减轻由高频电压V的变化非线性导致的质量分辨率的不均匀性。
另外，在本实施例的四极型质量分析装置中，“共用偏移”根据扫描速度而变更，因此扫描速度发生了变更时的质量分辨率的变化也变小。即，根据本实施例的四极型质量分析装置，能够在整个质量电荷比范围内、所有扫描速度的情况下提高质量分辨率的均匀性。另外，为此而进行的控制参数的调整是自动进行的，因此不会花费分析者进行手动调整等操作的工夫，因此几乎不会给分析者造成负担。图5是执行了利用上述质量对应偏移的质量分辨率校正时(本发明)和不执行该质量分辨率校正时(以往)的低质量(m/zl68) 高质量(m/zl893)的质谱的实测例。在不进行质量分辨率校正的情况下，如图5的(a)所示,在中质量区域(m/z652. m/z 1005,m/zl225附近)质量分辨率变差。与此相对地，可知在实施了质量分辨率校正的情况下，特别是中质量区域的质量分辨率得到改善，在整个质量区域内质量分辨率的均匀性变高。根据本发明者基于实验结果进行的计算能够确认到能够在整个质量区域内将质量分辨率的偏差抑制在±10%以内，另外，质量精度也得到提高。此外，上述实施例是本发明的一例，显然即使在本发明的宗旨的范围内进行适当地变形、添加、修正也包含在本申请的权利要求书中。例如，图2所示的直流电压产生部53的内部的�？榻峁故且焕纾比灰部梢圆皇窃诮礁鱿低车男藕沤蠨/A转换之后相加，而是将结构变更成在以数字的方式执行加减运算之后进行D/A转换。另外，图3所示的控制参数的表的设定也是一例，例如确定“质量对应偏移”的质量电荷比的值等是任意的。附图标记说明1:离子源；2 :四极滤质器；21 24 :杆电极；3 :检测器4 :数据处理部；5 :四极驱动部；51 :四极电压控制部；52 :控制数据存储部；53 :直流电压产生部；531、532、533 D/A转换器;534、535、536、537 :加法器；538 :反转放大器；54 :高频电压产生部；55 :变压器；56 :检波部；C :离子 光轴。
权利要求
1.一种四极型质量分析装置，具备离子源，其对试样进行离子化；四极滤质器，其由四根电极构成；四极驱动单元，其生成将与通过该四极滤质器的离子的质量电荷比相应的直流电压与高频电压相加得到的电压并施加于该四极滤质器；以及检测器，其对通过上述四极滤质器的离子进行检测，该四极型质量分析装置的特征在于，上述四极驱动单元包括 a)存储单元，其事先存储与质量电荷比相应的电压设定数据，并且分别事先存储增益、共用偏移、质量对应偏移来作为用于在进行质量扫描时改变与质量电荷比相应的直流电压的控制参数，其中，该增益用于决定直流电压与高频电压的振幅之比，该共用偏移用于决定不取决于质量电荷比的、根据扫描速度的不同而不同的偏移电压，该质量对应偏移用于针对质量扫描的范围内的多个质量电荷比分别设定不同的偏移电压；以及 b)直流电压生成单元，其在执行质量扫描时生成施加于上述四极滤质器的直流电压，该直流电压是至少将以下电压相加而得到的，即对根据质量电荷比的变化从上述存储单元获取到的电压设定数据进行数字/模拟转换并与从上述存储单元获取到的增益相乘而得到的电压、对根据该时刻的扫描速度从上述存储单元获取到的共用偏移进行数字/模拟转换而得到的电压以及对根据质量电荷比的变化从上述存储单元获取到的质量对应偏移进行数字/模拟转换而得到的电压。
2.根据权利要求1所述的四极型质量分析装置，其特征在于， 还具备调整单元，该调整单元对上述离子源提供组成成分已知的规定的试样，将通过上述四极滤质器的离子的质量电荷比转换为多个等级，并且一边在该质量电荷比固定的状态下使提供给上述直流电压生成单元的质量对应偏移发生变化，一边监视由上述检测器产生的检测信号，以使在转换为多个等级的质量电荷比下质量分辨率一致的方式决定针对各质量电荷比的质量对应偏移。
全文摘要
除了设置进行质量扫描时决定稳定状态图上所绘制的扫描直线的斜率和位置的“增益”和“共用偏移”以外，还设置能够针对每个质量电荷比调整偏移的“质量对应偏移”，来作为提供给生成离子选择用直流电压的直流电压产生部(53)的控制参数。当利用标准试样进行自动调整时，在自动调整部(61)的控制下首先决定“增益”和“共用偏移”，之后决定针对各质量分辨率的“质量对应偏移”，使得质量分辨率大致均匀，并将它们存储到控制数据存储部(52)中。当分析目标试样时，四极电压控制部(51)按照从存储部(52)读出的控制参数控制直流电压产生部(53)、高频电压产生部(54)。即使由于检波部(56)的非线性而高频电压V为非线性，也能够使直流电压U变为与该非线性相似的折线状，质量分辨率大致均匀。
文档编号G01N27/62GK103069540SQ20108006852
公开日2013年4月24日 申请日期2010年8月6日 优先权日2010年8月6日
发明者水谷司朗, 菅原博史 申请人:株式会社岛津制作所
专业数控铣床产品供应商
20年生产经验，实力工厂，精工品质，质量有保障
