专利名称：阴极射线管荧光面电子显微测量仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种电子显微放大测量仪器，特别涉及一种用于彩色显像管和显示管测试中的屏荧光面结构的电子显微测量仪。
背景技术：
目前，在彩色显象管测试领域当中，对彩色显像管和显示管的荧光屏的荧光面的结构参数测试评价，是一项很重要的测试项目。荧光屏的荧光面的结构参数主要指粉条节距、条宽、黑底配列和粉条形状，这些参数项目的单位是微米数量级。所以在测试过程中，要求测量精确，对操作员技能要求较高。目前使用便携式显微镜，是通过人眼观察目镜中荧光面成像效果，一手持显微镜，另一只手微调对焦旋钮，直到目视聚焦清晰为止，且不能有任何晃动，稍微有晃动就会造成测量数据不准确。这些都是通过人员手动操作，无法保证测量的准确性。操作起来比较困难，更容易造成目视误差，导致测量数据不精确。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种可以提高测试精度，降低目视误差的阴极射线管荧光面电子显微测量仪。
本实用新型的技术方案是这样实现的阴极射线管荧光面电子显微测量仪，包括放大透镜、分化板、CCD摄像机，其改进之处在于被测物将光射入第一组放大透镜，该组放大透镜的出射光射入分化板，再通过分化板的光射入第二组放大透镜，这组放大透镜的出射光射入到电荷耦合器件摄像机的靶面上。
本实用新型在于精密测量，在显示器件上成像放大倍率达到1000倍以上，利用分化板的标尺和显示系统在荧光屏上直接读出显像管荧光面条宽、节距和黑底配列等数值，同时也能观测自由光点形貌、CCV(自由光点中心会聚)和OCV(自由光点边束会聚)。由于测量结果在显示器上看到，将人眼从光学镜头上解放出来，降低目视误差，精度比普通便携式显微镜提高。操作相对简单，提高测试荧光面结构精度和进度，为阴极射线管的测试评价提供了可靠工具。
图1是本实用新型设计光路示意图；图2(a)是本实用新型分化板的正面视图；图2(b)是本实用新型分化板的侧视图。
具体实施方式
附图为本实用新型的具体实施例；
以下结合附图对本实用新型的内容做进一步详细说明参照图1所示，阴极射线管荧光面电子显微测量仪，包括放大透镜、分化板、电荷耦合器件CCD摄像机5，被测物1将光射入第一组放大透镜2，第一组放大透镜2的出射光射入分化板3，通过分化板3的光射入第二组放大透镜4，第二组放大透镜4的出射光射入到电荷耦合器件摄像机5的靶面上。
第一组放大透镜2到被检测荧光面的物距为25毫米，第一组放大镜头2的放大倍率是6倍，放大镜头2成像在分化板上且距离分化板3像距150毫米，第二组放大镜头4成像在CCD摄像机5的靶面上，第二组放大镜头4的放大倍率是12.5倍、物距21毫米，像距是263毫米。
参照图2(a)、(b)所示，分化板3是指带有刻度的平面镜，分化板3的测量范围是0～1200微米，在分化板3的外侧安装有调节环，可以通过分化板调节环来旋转分化板3，对焦环6用来对第二组放大透镜4聚焦，调节环与对焦环6间隙配合，在360度内旋转分化板3，旋转时不影响放大镜头成像质量，且刻度最小单位值表示实测值为0.01毫米，可估读实测值0.005毫米。
(1)分化板格值d＝0.06，任意刻线到零位线的距离误差不得大于±0.003；(2)分化板直径Φ＝19(上偏差-0.020，下偏差-0.072)，厚度d1＝2±0.2。
(3)刻线宽0.006±0.001，字高H0.2±0.02.数字笔划宽0.01±0.003；(4)十字线对零件中心偏差＜0.05，垂直度小于3分；(5)刻线填充4号黑色填料，按WJ416-65，用水玻璃粘接；(6)刻线技术条件按GB1784-79，刻线在13X显微镜下检查。
通过对焦环6连接件，对焦环6总长度为94mm，直径为37mm，将图1、2所示第一组和第二组放大透镜2、4和分化板3与CCD摄像机5镜头系统连接，用M33毫米细牙螺纹和固定垫圈装配，顶丝锁紧固定，微调对焦环6可调整CCD摄像机5像距。CCD摄像机5选用PAL制式，具有Av输出接口，1/4英寸成像靶面，自带有自动调焦镜头系统，适应物距范围≥12毫米，CCD摄像机输出的信号到显示器件上，显示视窗在0～1500微米左右范围的观测图像；选用的显示器件清晰度在500线以上。最终被测量荧光面和分化板刻度所成图像，聚焦一致，清晰度在450线以上，便于目视直观测量且图像与被测的实物目视无畸变。
权利要求1.阴极射线管荧光面电子显微测量仪，包括放大透镜、与放大透镜同轴的分化板(3)和电荷耦合器件摄像机(5)，其特征在于被测物(1)将光射入第一组放大透镜(2)，第一组放大透镜(2)的出射光射入分化板(3)，通过分化板(3)的光射入第二组放大透镜(4)，第二组放大透镜(4)的出射光射入到电荷耦合器件摄像机(5)的靶面上。
2.根据权利要求1所述的阴极射线管荧光面电子显微测量仪，其特征在于被测物(1)与第一组放大透镜(2)的物距为L1＝25mm，第一组放大透镜(2)与分化板(3)的像距L2＝150mm，分化板(3)与第二组放大透镜(4)的物距L3＝21mm，第二组放大透镜(4)的像距为263mm。
3.根据权利要求1所述的阴极射线管荧光面电子显微测量仪，其特征在于第一组放大透镜(2)的放大率为6倍，第二组放大透镜(4)的放大率为12.5倍。
4.根据权利要求1所述的阴极射线管荧光面电子显微测量仪，其特征在于分化板(3)是指带有刻度的平面镜，分化板的测量范围是0～1200微米，分化板(3)在360度内旋转，最小格值0.01毫米，可估读0.005毫米。
专利摘要本实用新型公开了一种阴极射线管荧光面电子显微测量仪，包括放大透镜、分化板、CCD摄像机，被测物将光射入放大透镜，放大透镜的出射光射入分化板，通过分化板的光射入放大透镜，放大透镜的出射光射入到摄像机的靶面上，分化板是带有刻度的平面镜。从而将人眼从光学镜头上解放出来，目视误差影响降到最低，操作相对便携式显微镜测量简单，提高了测试荧光面结构精度和进度。
文档编号G01N21/29GK2669183SQ20042004140
公开日2005年1月5日 申请日期2004年1月5日 优先权日2004年1月5日
发明者焦宗平 申请人:彩虹集团电子股份有限公司
