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[0002]Å©¸±²úƷũҩ²ÐÁô¼ì²â×÷ΪʳƷ°²È«ÖÐÒ»»·½ÚÕ⼸ÄêÀ´Ò»Ö±Êܵ½ÈËÃǵĹØ×¢£¬½â¾ö;¾¶Ò»°ãÊǰÑÎÊÌâʳƷÄõ½µ±µØ¼ì²â¾ÖÈ¥¼ì²â£¬ËäÈ»¿ÉÒԵõ½½á¹û£¬µ«ÕâÖÖ·½·¨·ÑʱÓַѾ«Á¦£¬ËùÒԺܶàʱºò´ó¶àÊýÈËÊÇÓÐÐÄÎÞÁ¦£»¶ø¶ÔÓÚ¼ì²âÈËÔ±À´Ëµ£¬Ä¿Ç°¼ì²âʱÐèÒªµÄÒÇÆ÷Ìå»ý´ó¼Û¸ñ¹ó£¬ÈçÉ«Æ×ÒÇ£¬ÕâÒ²¸ø¡°¼ì²âµ½»§¡±Ôì³ÉÁ˺ܴóµÄ²»±ã¡£
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[0004]±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ÄÌØÕ÷ÔÚÓÚÓÉÒÀ´ÎÁ¬½ÓµÄÏÔ΢¾µµ××ù¡¢¿Éµ÷Î»ÒÆÐýÅ¥¡¢°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷¡¢µ¼Ïß¡¢Å¦¿Ûµç³Ø°²×°Î»Öᢼ¤¹âÆ÷µçÔ´¿ª¹Ø¡¢¹âѧ»úеƽ̨¡¢ÑùÆ·ÅÌ¡¢ÂË¹âÆ¬¡¢Í¸¾µºÍÓ«¹â±ê¼ÇÌí¼Ó³Ø×é³É¡£(ȨÀûÒªÇó1)
[0005]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöµÄÏÔ΢³ÉÏñµ××ùÔÚÖ§³ÅÕû¸ö³ÉÏñϵͳ¹¤×÷µÄͬʱ£¬»¹ÇÉÃîµØÉè¼Æ³ÉÊÖ»ú¿ÇµÄÑùʽ£¬¿ÉÒÔÌ×ÔÚÖÇÄÜÊÖ»úÉÏ¡£
[0006]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöµÄ°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷ÖÐÐIJ¨³¤½Ó½üÓÚ×ÏÍâ¹â£¬¹¦Âʽϸߣ¬ÀûÓÚÓÐЧµØ¼¤·¢³öÓ«¹â£¬¾ßÓе¥É«ÐԺã¬ÄÜÁ¿¸ß£¬Ìå»ýСµÈÌØµã¡£
[0007]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöµÄ¹âѧ»úеƽ̨×÷Ϊ¼¤¹â´«ÊäµÄÆÁÕÏ£¬ËùÓòÄÁÏÑÕÉ«ÊǺÚÉ«£¬ÃÜ·âÐԺã¬Ò»À´¿ÉÒÔ×èµ²Íâ½ç¹â¶ÔÄÚ²¿ÏµÍ³µÄÓ°Ï죬¶þÀ´¼¤¹âÒ²²»ÈÝÒ×й¶µ½Íâ½ç°²È«¿É¿¿£¬¶øÇÒÇãб½Ç±È½ÏС£¬Ê¹¼¤¹â´òÔÚÑùÆ·ÅÌÉϵÄÈëÉä½ÇÏà¶Ô¾Í´ó£¬¿ÉÒÔÓÐЧµØ½µµÍÓ«¹âËù´¦µÄ±³¾°ÔëÉù¡£
[0008]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöµÄÑùÆ·ÅÌÖм䲿·ÖÏâǶһ¿é¸Ç²£Æ¬£¬Í¸¹âÐÔÄܺã¬ÆäÉÏÓÃÓÚ·ÅÖÃÑùÆ·£¬¶øÇÒÕû¸öÑùÆ·Å̵ݲ·ÅλÖÃÒªÕýºÃ´¦ÓÚ͸¾µµÄ½¹¾à´¦£¬ÀûÓÚ³öÉä¹âµÄ»ã¾Û¡£
[0009]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöµÄ͸¾µ£¬½¹¾àΪºÁÃ×¼¶£¬ÊýÖµ¿×¾¶Ð¡£¬¿ÉÒÔ½«»ã¾Û¹ýÀ´µÄ³öÉä¹âÖÐÒ»²¿·ÖµÄ¼¤¹âÓà¹â×赲ס£¬Ó«¹â˳Àûͨ¹ý£¬½øÒ»²½½µµÍÓ«¹âËù´¦µÄ±³¾°ÔëÉù¡£
[0010]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöµÄÂ˲¨Æ¬Îª±¡Ä¤¸ÉÉæÐÍÂ˲¨Æ¬£¬´ËÀàÂ˲¨Æ¬¾ßÓÐͨµÀÕ¡¢²åÈëËðºÄµÍ¡¢Î¶ÈÎȶ¨ÐԺõÈÌØµã£¬ÔÚ¸ÃϵͳÖÐÉèÖÃÆä¶Ô²¨³¤Ð¡µÈÓÚÓÚ°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷ÖÐÐIJ¨³¤µÄ¹âÓÐÂ˳ý×÷Óã¬ÄÜÓÐЧµØÈ¥³ý¼¤¹âÆ÷·¢³öµÄÉ¢Éä¹â£¬ÓÉÓÚÓ«¹âµÄ²¨³¤´óÓÚ¼¤Àø¹âÔ´²¨³¤£¬Òò´ËÓ«¹â¾Í¿ÉÒÔ˳Àûͨ¹ýÂ˲¨Æ¬½øÈëÊÖ»úÏà»ú¾µÍ·£¬¸ü½øÒ»²½µØ½µµÍÓ«¹âËù´¦µÄ±³¾°ÔëÉù¡£
[0011]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöµÄÓ«¹â±ê¼ÇÌí¼Ó³ØÀïÃæÊ¢×ÅС¼ÁÁ¿Ó«¹â±ê¼ÇÊÔ¼Á£¬ÇÒÊÇѹÁ¦¸ÐÓ¦£¬Ö»ÒªÊÖÇá´ÁÔ²Ðΰ´¼ü£¬ÊÔ¼Á¾Í»áµÎµ½ÑùÆ·ÅÌÉϵÄÑùÆ·£¬Ê¹×îÖÕÓ«¹â³ÉÏñÔÚÊÖ»úÆÁÄ»ÉϿɼû¡£
[0012]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËùÊöµÄÓ«¹â±ê¼ÇÊÔ¼ÁÓëÑùÆ·ÖеÄũҩ×÷Óúó£¬ÔÚ¼¤¹â¼¤ÀøÏ»ᷢ³öÓÐÑÕÉ«µÄÓ«¹â£¬Í¨¹ý¹Û²ìÊÖ»úÆÁÄ»µÄͼÏñÊÇ·ñ³ÊÏÖ³öͬÑùÑÕÉ«¿ÉÒÔÅжÏÑùÆ·ÖÐÊÇ·ñº¬ÓÐũҩ£¬´Ó¶ø´ïµ½¼ì²âũҩ²ÐÁôµÄÄ¿µÄ¡£
[0013]±¾ÊµÓÃÐÂÐÍËù¾ßÓеÄÌØµãÓÅÊÆÎª:1.ËùÓÐÒÇÆ÷²ÄÁ϶¼ÊÇÔÚ»ùÓÚÊÖ»úÍâ¿Ç´óСµÄÏÔ΢³ÉÏñµ××ùÉÏÍê³ÉµÄ£¬ËùÒÔÕûÌ×ϵͳװÖÃÌå»ýС¡¢Ð¯´ø·½±ãÇÒËæÊ±ËæµØ¶¼Äܼì²â¡£2.»ùÓÚÉÏÊöÈýÖÖ¿ÉÒÔ½µµÍÓ«¹âËù´¦±³¾°ÔëÉùµÄÌØµã£¬Ê¹×îÖÕÓ«¹â³ÉÏñÔÚÊÖ»úÆÁÄ»ÉÏ¿ÉÒÔÇåÎúÇÒ²»È±ÕæÊµÐÔ¡£
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[0015]ͼ2Ϊ±¾ÊµÓÃÐÂÐ͹¤×÷ÔÀíʾÒâͼ
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[0016]ÏÂÃæ½áºÏ¸½Í¼¶Ô±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵Äʵʩ²½Öè½øÐÐ˵Ã÷:
[0017]Èçͼ1Ëùʾ£¬ËüÊÇÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ½á¹¹µÄ¸©ÊÓÉè¼ÆÍ¼£¬ÓÉÏÔ΢¾µµ××ù(I)¡¢¿Éµ÷Î»ÒÆÐýÅ¥(2)¡¢°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷(3)¡¢µ¼Ïß(4)¡¢Å¦¿Ûµç³Ø(5)¡¢¼¤¹âÆ÷µçÔ´¿ª¹Ø³ö)¡¢¹âѧ»úеƽ̨(7)¡¢ÑùÆ·ÅÌ(8)¡¢ÂË¹âÆ¬(9)¡¢Í¸¾µ(10)ºÍÓ«¹â±ê¼ÇÌí¼Ó³Ø(11)×é³É£¬ÏëÁ˽âÂòµÄÇà²Ëµ±ÖÐÊÇ·ñº¬ÓÐũҩ²ÐÁô£¬¿ÉÒÔժһСƬ²ËÒ¶·ÅÈëÑùÆ·ÅÌ(8)ÖУ¬±£Ö¤Æä·ÅÔڸDz£Æ¬ÉÏÃæ£¬È»ºó·Ö±ð½«ÑùÆ·ÅÌ(8)£¬ÂË¹âÆ¬(9)£¬Í¸¾µ(10)²å½ø¹âѧ»úеƽ̨
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[0018]Èçͼ2Ëù75,ËüÊÇÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÍ»¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳµÄÔÀíÒâͼ£¬ÔÀíΪ:µ±¼¤¹âÊø¾¹ýÇãб½ÇΪ15¡ãµÄ¹âѧ»úеƽ̨(7)ÈëÉäÔÚ·ÅÔÚÑùÆ·ÅÌ(8)¸Ç²£Æ¬ÉÏÒѱ»Í»¹â±ê¼ÇÎï±ê¼ÇµÄÑùÆ·ÉÏʱ£¬»á¼¤·¢³öÍ»¹â£¬ºÍÉ¢Éä¹â¡¢ÉÙ²¿·Ö¼¤¹âÓà¹âÒ»Æð͸Éä³öÈ¥£¬¾¹ý½¹¾àΪ4mm£¬ÊýÖµ¿×¾¶Îª0.15µÄ͸¾µ(10)ºÍÄÜÂ˳ýСÓÚµÈÓÚ400nm²¨³¤¹âµÄÂË¹âÆ¬
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[0019]±¾ÁìÓò¼¼ÊõÈËÔ±Çå³þµØÖªµÀ£¬¸ù¾Ý±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ķ½·¨£¬¿ÉÒԶԽṹ²¼¾ÖÖØÐ±àÅŹ滮£¬½á¹¹ÖеÄÔªÆ÷¼þ½øÐÐÓÅ»¯Ñ¡Ôñ£¬±¾ÊµÓÃÐÂÐ͵ı£»¤·¶Î§²¢²»¾ÖÏÞÓÚÒÔÉÏʵʩÀý¡£
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1.Ò»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÔÚÓÚÏÔ΢¾µµ××ù(I)ÓÃ×÷ÊÖ»ú¿ÇÌ×ÔÚÊÖ»ú±³Ã棬ÆäÉϰ²×°ÓÐŦ¿Ûµç³Ø(5)£¬¼¤¹âÆ÷µçÔ´¿ª¹Ø(6)¹¤×÷ʱ£¬Í¨¹ýµ¼Ïß(4)Á¬½ÓµÄ°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷(3)»á·¢³ö¼¤¹â£¬¾¹ýÇãбµÄ¹âѧ»úеƽ̨(7)ÈëÉäµ½·ÅÔÚÑùÆ·ÅÌ(8)ÉϵÄÒѾÓÃÓ«¹â±ê¼ÇÌí¼Ó³Ø(11)µÄ±ê¼ÇÎï±ê¼Ç¹ýµÄÑùÆ·Éϲ¢¼¤·¢³öÓÐÑÕÉ«µÄÓ«¹â£¬¶øºó¾¹ý͸¾µ(10)ºÍÂË¹âÆ¬(9)Â˳ýÔÓÉ¢¹â£¬×îÖÕ½«Ó«¹âͼÏñÊäË͵½ÊÖ»úÉÏ£¬Í¨¹ýµ÷Õû¿Éµ÷Î»ÒÆÐýÅ¥(2)¾Í¿ÉÒÔÔÚÊÖ»úÆÁÄ»Éϲ鿴ÎÒÃÇËùÐèµÄͼÏñ£¬¹Û²ìͼÏñÉÏÊÇ·ñ³öÏÖ¸úÓ«¹âÏàͬµÄÑÕÉ«¾Í¿ÉÒÔÅжϳöÊÇ·ñÓÐũҩ²ÐÁô¡£
2.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÊÇ:ËùÊöÏÔ΢¾µµ××ù(I)ÔÚÖ§³ÅÕû¸ö³ÉÏñϵͳ¹¤×÷µÄͬʱ£¬»¹ÇÉÃîµØÉè¼Æ³ÉÊÖ»ú¿ÇµÄÑùʽ£¬¿ÉÒÔÌ×ÔÚÊÖ»úÉÏ¡£
3.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÊÇ:ËùÊö°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷(3)µÄÖÐÐIJ¨³¤Òª½Ó½ü×ÏÍâ¡£
4.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÊÇ:ËùÊö¹âѧ»úеƽ̨(7)ÊÇÐèÒªÒ»¶¨Ð¡µÄÇãб½Ç¶È½øÐзÅÖã¬ËùÓòÄÁÏÑÕɫΪºÚÉ«£¬ÃÜ·âÐԺá£
5.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÊÇ:ËùÊöÑùÆ·ÅÌ(8)λÓÚ͸¾µ(10)µÄ½¹¾à´¦£¬Öм䲿·ÖÏâǶһ¿é¸Ç²£Æ¬£¬ÆäÉÏÓÃÓÚ·ÅÖÃÑùÆ·¡£
6.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÊÇ:ËùÊö͸¾µ(10)½¹¾àÒªºÁÃ×¼¶£¬ÊýÖµ¿×¾¶ÒªÐ¡¡£
7.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÊÇ:ËùÊöÂË¹âÆ¬(9)ÊDZ¡Ä¤¸ÉÉæÐÍ£¬ÄÜÂ˳ýСÓÚµÈÓÚ°ëµ¼Ì弤¹âÆ÷(3)ÖÐÐIJ¨³¤´¦µÄ¹â¡£
8.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÊÇ:ËùÊö¿Éµ÷Î»ÒÆÐýÅ¥(2)¿ÉÒÔµ÷ÕûÑùÆ·ÅÌ(8)µÄλÖ㬴Ӷø¿ÉÒԹ۲쵽ÑùÆ·²»Í¬Î»ÖÃÉϵÄͼÏñ¡£
9.¸ù¾ÝȨÀûÒªÇó1ËùÊöµÄÒ»ÖÖÊÖ»úÍâ¿ÇÐÍÓ«¹â³ÉÏñũҩ²ÐÁô¼ì²âϵͳ£¬ÆäÌØÕ÷ÊÇ:ËùÊöÓ«¹â±ê¼ÇÌí¼Ó³Ø(11)ÀïÃæÊ¢×ÅС¼ÁÁ¿Ó«¹â±ê¼ÇÊÔ¼Á£¬ÇÒÊÇѹÁ¦¸ÐÓ¦£¬Ö»ÒªÊÖÇá´ÁÔ²Ðΰ´¼ü£¬ÊÔ¼Á¾Í»áµÎµ½ÑùÆ·ÅÌ(8)ÉϵÄÑùÆ·¡£
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