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专利名称：用于手动探针台的多探针装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种实验设备，且特别涉及一种用于手动探针台的多探针装置。
背景技术：
探针台是用在半导体领域对晶圆上的器件进行特性或故障分析而使用的精密机台。在集成电路的研发、生产制造、实效分析过程中，经常要量测内部的电参数，由于制程特征尺寸越来越低，没有办法用简单的万用表、示波器的表笔来探测信号。手动分析探针台能很好的帮助工程人员实现微小位置的电学参数测试。探针台系统通常由承载台、探针座、显微镜、测试机，以及其他辅助增强系统组成，一般配备数到通过探针实现芯片上每个PAD与测试机的稳定连接，由测试机判定晶圆上芯片的特性。探针台可分为手动、半自动/全自动探针台。手动探针台主要用来进行失效分析， 器件特性分析和工艺验证分析等解析和研发用途，适用于分析6寸/8寸/12寸晶圆、芯片，一般配备2 4颗探针座。由于芯片的设计复杂度越来越高，一个芯片上的测试PAD多达成千上万个，在具体测试中，经常需要对数个PAD同时施加条件进行测试。例如，失效分析在对某芯片电性能测试时，需要对某一列的多个PAD施加相同的电压，如果使用目前的单探针针座，则需多次扎针过程，每次扎针过程中需要反复调节显微镜焦距和探针XYZ方向的坐标来确认探针是否与PAD充分接触，保证扎针的成功率；然后在测试机上要重复多次设置每根探针的测试，操作复杂且效率低。如果还需要对其他的PAD施加条件，只能增加探针座的数量，极大地提高了测试成本。

实用新型内容为了克服已有技术中存在的探针设备操作复杂且效率低的问题，本实用新型提供一种用于手动探针台的多探针装置。为了实现上述目的，本实用新型提出一种用于手动探针台的多探针装置，包括调节杆；多个探针，和所述调节杆垂直相连，且可相对于所述调节杆移动。可选的，所述探针通过双套环和所述调节杆相连。可选的，所述双套环包括相连的第一空心套环和第二空心套环。可选的，所述调节杆通过所述第一空心套环，所述探针通过所述第二空心套环。可选的，所述第一空心套环和所述第二空心套环为金属材质。可选的，所述第一空心套环和所述第二空心套环上各设置一螺纹孔，和所述螺纹孔配合使用的螺丝通过各自的螺纹孔可分别固定所述调节杆和所述探针。可选的，所述调节杆上设置有刻度。本实用新型用于手动探针台的多探针装置的有益效果主要表现在本实用新型在半导体电性参数测试中，使用一种多探针装置取代传统单探针针座上的单根探针，打破了单探针针座只能对针对一个pad的局限性，这种多探针装置可安装多个并行探针，各个探针间距离可调，角度可调，解决了手动探针台需要对多个pad施加相同测试条件时探针数量的限制，简化了测试过程的复杂性，节约了测试成本和测试时间。

图I为本实用新型用于手动探针台的多探针装置的结构示意图。图2为本实用新型用于手动探针台的多探针装置的双套环结构示意图。图3为待测芯片版图。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本实用新型作进一步的描述。 图I是本实用新型的一个实施例，图I中，多探针装置包括调节杆12和四个与所述调节杆12垂直相连的探针11，探针11的数量可以根据实际情况决定。探针11可相对于所述调节杆12移动，移动方式主要包括以下三种1.每根探针11相对于调节杆12可以水平移动，调节杆12上设置有刻度，可以清楚显示探针11移动以及彼此间相隔的距离；2.每根探针11相对于调节杆12的角度可手动调节；3.每根探针11相对于调节杆12在垂直方向上可以上下调节。上述三种移动方式通过一种双套环结构实现，请参考图2，双套环13和14包括相连的第一空心套环14和第二空心套环13，其中调节杆12通过所述第一空心套环14，探针11通过所述第二空心套环13，上述第一空心套环14和第二空心套环13均为金属材质，由于探测的需要，探针11和调节杆12也均为金属，为了固定调节杆12和第一空心套环14，在第一空心套环14上设置一螺纹孔，用一和螺纹孔合使用的螺丝15穿过螺纹孔，螺丝15的头部顶在调节杆12上，因此固定调节杆12 ;为了固定探针11和第二空心套环13，在第二空心套环13上也同样设置一螺纹孔，用一和螺纹孔合使用的螺丝(图中未示)穿过螺纹孔，螺丝的头部顶在探针11上，因此固定探针。优选的，螺纹孔为内六角螺丝孔，配合使用的是内六角螺丝。当螺丝向内旋进时，调节杆12和探针11则固定于套环13和14中。请参考图3，在一次失效分析中，使用一台配备有四个探针座的12寸手动探针台，对一枚芯片进行电参数确认，PAD a、b、c、d需要同时接地，PADe、f、g需要施加不同的电压，若使用常规的单探针针座，则需要七个探针座。现在使用一个并行的间距可调节的四探针装置，即本实施例，取代其中一个单探针针座。先根据a、b、c、d四个PAD的间距调整好四根并行探针的距离和位置，然后通过探针座XYZ调节旋钮将四根探针扎在PAD a、b、C、d上，然后将剩余的三个单探针座扎在PADe、f、g上。接着根据四个探针座对应的端口，分别在测试机上设置电性条件，因为PAD a、b、c、d需要施加的电性条件相同，且与之接触的四根探针安装在同一探针座上，因此在测试机上只需设置一次，整个测试过程也只要设置四次。扎针与设置结束之后，即可进行测试。虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本实用新型。本实用新型所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本实用新型的精神和范围内，当可作各种的更动与润饰。因此，本实用新型的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求1.一种用于手动探针台的多探针装置，其特征在于，包括 调节杆； 多个探针，和所述调节杆垂直相连，且可相对于所述调节杆移动。
2.根据权利要求I所述的多探针装置，其特征在于所述探针通过双套环和所述调节杆相连。
3.根据权利要求2所述的多探针装置，其特征在于所述双套环包括相连的第一空心套环和第二空心套环。
4.根据权利要求3所述的多探针装置，其特征在于所述调节杆通过所述第一空心套环，所述探针通过所述第二空心套环。
5.根据权利要求3所述的多探针装置，其特征在于所述第一空心套环和所述第二空心套环为金属材质。
6.根据权利要求3所述的多探针装置，其特征在于所述第一空心套环和所述第二空心套环上各设置一螺纹孔，和所述螺纹孔配合使用的螺丝通过各自的螺纹孔可分别固定所述调节杆和所述探针。
7.根据权利要求I所述的多探针装置，其特征在于所述调节杆上设置有刻度。
专利摘要本实用新型提出一种用于手动探针台的多探针装置，包括调节杆；多个探针，和所述调节杆垂直相连，且可相对于所述调节杆移动。本实用新型于手动探针台的多探针装置可以减少扎针次数，提高测试成功率，降低操作的复杂性，缩短测试时间。
文档编号G01R1/073GK202631590SQ20122029707
公开日2012年12月26日 申请日期2012年6月21日 优先权日2012年6月21日
发明者白月, 唐涌耀 申请人:上海华力微电子有限公司