亚星游戏官网-www.yaxin868.com

专利名称：蓝宝石晶体专用定向仪的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及应用X射线衍射原理及布拉格方程原理，用于蓝宝石材料半成品的X射线定向，特别是涉及蓝宝石晶棒、晶片的A向、C向、M向、R向样品台面积较大,并带有弧形轨以及滚动轴承适合不同规格的半成品測量，精度高、生产效率高。
背景技术：
蓝宝石加工中半成品晶棒以及成品晶片，在转下道エ序以及出厂检验时需要相配套的蓝宝石晶体专用定向仪来进行蓝宝石半成品及成品的检测。并显示出偏差及读数以便上道エ序的整改和下道エ序的纠正等，随着客户对晶体精度要求的日益提高，传统的盲目 切片盲目生产，不检测晶体内部晶向的生产模式逐渐被市场淘汰。本设备最終提供产品要求的加工晶体原子面角度。其測量精度高，测量效率快。实用新型内容本实用新型要解决的问题是测量范围大，能满足0° -80°測量，满足了蓝宝石各个晶向的测量需求，提供ー种能满足蓝宝石A向、C向、R向、M向等多向多角度检测，并且自动化程度高，测试精度高，测试效率快使用方便的蓝宝石晶体专用定向仪。采用的技术方案是蓝宝石晶体专用定向仪,包括机体，机体上设置有工作台，工作台上设置有两个测角仪和ー个X光射线管套，两个测角仪上分別设置有一个样品台，X光射线管套内设置有X光射线管，测角仪内部装设有蜗轮蜗杆副，蜗轮副与主轴连接，蜗杆副与编码器连接，主轴的一端固定连接有手轮，样品台的底部固定在主轴上，样品台的底面装设有滚动轴承，两个样品台上分別固定有一个闪烁探測器，其中一个样品台上设置有一显示样品角度的显示器，所述的机体内分别设置有高压变压器、稳压器及气泵。本实用新型取得的积极效果是I、编码器与蜗杆副连接通过传动比显示输出，即满足了測量精度需要，又降低了成本。2、稳压器与变压器配合使用解决了输入电压波动对测量值的显示不准确的问题，提闻了测量精度。3、蜗轮蜗杆传动副维护方便，提高设备使用寿命。 4、单晶反射器2次衍射X光，可以减少对环境及操作者的污染和损害，提高X光射线管套中发射装置的使用寿命，并且能提高测量精度。

图I是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
蓝宝石晶体专用定向仪，包括机体3，机体3上设置有工作台4，工作台4上设置有两个测角仪16和一个X光射线管套10，两个测角仪16上分别设置有一个样品台7，X光射线管套10内设置有X光射线管8，测角仪16内部装设有蜗轮蜗杆副5，蜗轮副与主轴9连接，蜗杆副的一端与编码器6连接，蜗杆副的另一端固定连接有手轮11，样品台7的底部固定在主轴9上，样品台7的底面装设有滚动轴承14，两个样品台7上分别固定有一个闪烁探测器15，其中一个样品台上设置有一显示样品角度的显示器12，机体3内分别设置有高压变压器I、稳压器2及气泵13。·
权利要求1.蓝宝石晶体专用定向仪，包括机体，其特征在于所述的机体上设置有工作台，工作台上设置有两个测角仪和一个X光射线管套，两个测角仪上分别设置有一个样品台，X光射线管套内设置有X光射线管，测角仪内部装设有蜗轮蜗杆副，蜗轮副与主轴连接，蜗杆副与编码器连接，主轴的一端固定连接有手轮，样品台的底部固定在主轴上，样品台的底面装设有滚动轴承，两个样品台上分别固定有一个闪烁探测器，其中一个样品台上设置有一显示样品角度的显示器，所述的机体内分别设置有高压变压器、稳压器及气泵。
专利摘要蓝宝石晶体专用定向仪，包括机体，机体上设置有工作台，工作台上设置有两个测角仪和一个X光射线管套，两个测角仪上分别设置有一个样品台，X光射线管套内设置有X光射线管，测角仪内部装设有蜗轮蜗杆副，蜗轮副与主轴连接，蜗杆副与编码器连接，主轴的一端固定连接有手轮。本实用新型实现了蓝宝石A向、C向、R向、M向等多晶向方位的定向测量，精度高，提高了生产率。
文档编号G01N23/207GK202661413SQ201220282399
公开日2013年1月9日 申请日期2012年6月15日 优先权日2012年6月15日
发明者甄伟, 赵松彬 申请人:丹东新东方晶体仪器有限公司