专利名称：用于检测电池片刻蚀效果的测试仪的制作方法
技术领域：
本实用新型属于太阳能光伏电池领域，涉及一种用于检测电池片刻蚀效果的测试仪。
背景技术：
太阳能电池是应用半导体器件的光伏效应原理进行光电转换的，制造太阳能电池的主要工艺流程包括扩散工序和刻蚀工序。作为刻蚀工序的前道工序，扩散工序使高温下三氯氧磷与氧气发生反应生成单质磷，磷在高温下由于布朗分子热运动扩散到电池片里，与掺硼硅基低形成P-N结。刻蚀工序的主要目的是把电池片四周的导电扩散层去除从而达到上下电极分开的效果。目前采用等离子体完成刻蚀工序，其原理是利用高频辉光放电反 应，使反应气体(CF4、02)激活成活性粒子，这些活性粒子扩散到所需刻蚀的部位(在电场作用下到达Si02表面)并在表面上发生化学反应，在那里与被刻蚀材料进行反应，从而去除周边扩散层。刻蚀完成后，为了达到规定的刻蚀效果，一般要求电池片的周边电阻应等于或大于20ΚΩ。参看图7、图8，目前测试电池片9的刻蚀边缘电阻通常使用万用表，万用表的两根测量线91、92为细长结构，测量时为点接触。然而若电池片9 (具有未刻蚀区90)边缘大面积未被刻蚀，比较容易被测出；如果电池片9边缘只有小区域未被刻蚀，万用表很难测量出，甚至漏检。对于太阳能电池只要边上有细微的导电层未被去除，就会形成正负极导通而短路，严重影响太阳能电池性能。此为现有技术的缺陷。
发明内容本实用新型要解决的技术问题是提供一种能消除漏检的用于检测电池片刻蚀效果的测试仪，只要电池片边缘有细微的未被刻蚀区域，都能被检测出来。发明构思是把所需测量的整个电池片背面平整放入铜板内，这样可以确保整个电池片边缘很好的接触,从而解决上述技术问题。本实用新型的用于检测电池片刻蚀效果的测试仪，包括一电阻测量仪，还包括固定在基座上的与所述电阻测量仪电连接的一铜板；—端设有圆铜盘的一电极，该电极的另一端与所述电阻测量仪电连接，所述圆铜盘置于所述铜板的上方；和与所述电阻测量仪连接的一报警装置。所述电极的另一端插入所述电阻测量仪的插入口。所述电阻测量仪为智能型，具有显示、存储、打印或放电指示功能。本实用新型的用于检测电池片刻蚀效果的测试仪由于铜板与圆筒盘可以确保整个电池片边缘很好的接触，因而能避免漏检的发生；同时可长期保存测量数据，工作时以最快速度显示测试结果、精度高，复测性好。
图I是本实用新型的用于检测电池片刻蚀效果的测试仪的立体图；图2是本实用新型的用于检测电池片刻蚀效果的测试仪的构件展开图；图3是本实用新型的用于检测电池片刻蚀效果的测试仪的俯视图；图4是本实用新型的工作原理示意图；图5是本实用新型的测量示意图，显示了大面积未被刻蚀，不易漏检；图6是本实用新型的测量示意图，显示了小面积未被刻蚀，不易漏检；图7是万用表测量示意图,显示了大面积未被刻蚀,不易漏检；图8是万用表测量示意图,显示了小面积未被刻蚀,容易漏检。
具体实施方式
现结合附图和实施例对本实用新型作进ー步详细说明。參看图I 图4，本实用新型的用于检测电池片刻蚀效果的测试仪由智能电阻测量仪10、底电极20、上电极30、铜板40、报警装置50、基座60组成。铜板40固定在基座60上，智能电阻测量仪10与报警装置50连接，并通过底电极20与铜板40连接，智能电阻测量仪10可设置和修改參数，并反映测试結果。上电极30带有圆铜盘31，圆铜盘31尺寸略小于电池片9尺寸，测试时上电极30的一端插入智能电阻测量仪10的插入ロ，另一端圆铜盘31放在需测试的电池片上，只要边缘有区域未被刻蚀就会形成回路，从而就能被新型用于检测电池片刻蚀效果的测试仪測量出来，报警装置立刻报警，并把具体数据显示在智能电阻测量仪屏幕上。本实用新型的刻蚀效果的使用步骤如下I.测试前，检查电极20、30和各线路的良好连接，核对设定參数。2. 一切准备就绪后开始测试，粗略测试整叠电池片时，先把整叠电池片整理齐竖起来，ー边靠在铜板上，用上电极30的圆铜盘31分别贴紧电池片9的其它三边，测出电阻，详细数据显示在智能电阻测量仪屏幕上，如果测试值超出设定范围，报警装置立马报警。3.精确测量时，把待测电池片9 (扩散面朝上)放入刻蚀效果检查仪铜板40中间并紧贴铜板，接着把圆铜盘31压在电池片9上，确保电池片9边缘接触良好，电阻读数的详细数据可在智能电阻测量仪屏幕里显示出，若测试值超出设定范围，报警装置立刻报警。參看图5、图6，当圆铜盘31贴紧电池片9的边缘时，不论未刻蚀区90是大还是�。捎谏系缂�30与铜板40之间都有电流通过，因而都能被检测出刻蚀效果，避免了漏检的现象的发生。相较以往万用表对细微区域漏测的情況，不仅提升了エ艺水平，也提高了生产效率。以上所述仅是本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型做任何形式上的限制，虽然本实用新型已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本实用新型，任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本实用新型技术方案的范围内，当可利用上述掲示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例，但凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本实用新型技术方案的范围内。
权利要求1.一种用于检测电池片刻蚀效果的测试仪，包括一电阻测量仪，其特征是还包括固定在基座上的与所述电阻测量仪电连接的一铜板； 一端设有圆铜盘的一电极，该电极的另一端与所述电阻测量仪电连接，所述圆铜盘置于所述铜板的上方； 和与所述电阻测量仪连接的一报警装置。
2.如权利要求I所述的用于检测电池片刻蚀效果的测试仪，其特征是所述电极的另一端插入所述电阻测量仪的插入口。
3.如权利要求I所述的用于检测电池片刻蚀效果的测试仪，其特征是所述电阻测量仪具有显示、存储、打印或放电指示功能。
专利摘要本实用新型是一种用于检测电池片刻蚀效果的测试仪，包括一电阻测量仪，还包括固定在基座上的与所述电阻测量仪电连接的一铜板；一端设有圆铜盘的一电极，该电极的另一端与所述电阻测量仪电连接，所述圆铜盘置于所述铜板的上方；和与所述电阻测量仪连接的一报警装置。所述电极的另一端插入所述电阻测量仪的插入口。所述电阻测量仪为智能型，具有显示、存储、打印或放电指示功能。本实用新型能避免漏检的发生；同时可长期保存测量数据，工作时以最快速度显示测试结果、精度高，复测性好。
文档编号G01N27/04GK202649155SQ20122015157
公开日2013年1月2日 申请日期2012年4月11日 优先权日2012年4月11日
发明者许盛浪, 刘丽菲 申请人:展丰能源技术(上海)有限公司
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