专利名称：一种集成电路测试系统的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及集成电路测试技术，具体涉及一种基于无线通讯�？榈募傻缏凡馐韵低�。
背景技术：
当前传统的集成电路测试分为中测和成测两类，测试系统比较类似，均采用测试仪接收测试向量代码，并控制探针台或机械臂移动测试负载板，接触晶圆上的芯片Die或成品封装好的芯片，进行测试并接收测试结果，测试仪和探针台、机械臂以及测试负载板的连接均采用排线的方式。上述测试系统在通讯方面使用排线，好处是成本较低，但也有不利之处，具体体现在每台测试仪采用串行测试流程，仅能对接单台探针台、机械臂或测试负载板；且测试时由于测试仪排线口有限，针对引脚较多的芯片无法采用多路并行测试；因为考虑到排线有电气损耗，长度一般比较短，使得测试仪一般靠近探针台等设备摆放，不利于空间管理，加大布线难度，且无法实现远程控制。
发明内容一种集成电路测试系统，包括一控制设备、一与所述控制设备相连的带无线通讯�？榈牟馐砸�、一与所述带无线通讯�？榈牟馐砸窍嗔拇尴咄ㄑ赌？榈母涸匕逭罅�、一与所述带无线通讯�？榈母涸匕逭罅邢嗔淖远馐曰罅�、一与所述自动测试机阵列相连的被测器件阵列，所述带无线通讯�？榈母涸匕逭罅邪∟个带无线通讯�？榈母涸匕澹鲎远馐曰罅邪∟个自动测试机，所述被测器件阵列包括N个被测器件，其中N > I。所述带无线通讯�？榈牟馐砸堑牟馐砸侵骺匦酒邪沧傲艘坏谝晃尴咄ㄑ赌？榍绦颍美纯刂扑龃尴咄ㄑ赌？榈牟馐砸堑奈尴咄ㄑ赌？楣ぷ鳎凰龃尴咄ㄑ赌？榈母涸匕迥谥酶涸匕逯骺匦酒⒃谒龈涸匕逯骺匦酒邪沧傲艘坏诙尴咄ㄑ赌？榍绦颍美纯刂扑龃尴咄ㄑ赌？榈母涸匕宓奈尴咄ㄑ赌？楣ぷ鳎凰鲎远馐曰秸胩�、机械臂或者其他可以完成自动测试功能的设备；所述被测器件为晶圆、芯片或者其他可以用来被测的元器件；所述带无线通讯�？榈牟馐砸呛退龃尴咄ㄑ赌？榈母涸匕逭罅心谥玫奈尴咄ㄑ赌？槲狦PRS、WIF1、CDMA等实现无线通讯功能的无线通讯�？椋凰龃尴咄ㄑ赌？榈母涸匕�、所述自动测试机与所述被测器件一一对应进行串联。相对现有技术，本实用新型一种集成电路测试系统通过无线通讯信号取代传统的排线进行控制信息的传输，具有更好的灵活性，避免了高速信号传输的衰减错误，提高了测试结果输出的正确性。此外，由于可以远程控制，避免了因测试工厂厂房空间带来的布线难度，也解决了因为排线管脚有限引入的无法并行测试多个芯片的问题，充分发挥了测试的高效率，极大的节省了测试成本。
图1为本实用新型技术方案框图。图2为本实用新型较佳实施方式框图。
具体实施方式
请参阅图3，本实用新型集成电路测试系统较佳实施方式包括一控制设备、一与该控制设备相连的带GPRS�？榈牟馐砸�、一与该带GPRS�？榈牟馐砸窍嗔拇鳪PRS�？榈母涸匕逭罅�、一与该带GP R S�？榈母涸匕逭罅邢嗔幕当壅罅�、一与该机械臂阵列相连的芯片阵列，该带GPRS�？榈母涸匕逭罅邪∟个带GPRS�？榈母涸匕澹没当壅罅邪∟个机械臂，该芯片阵列包括N个芯片，其中N > I。该带GPRS�？榈牟馐砸堑牟馐砸侵骺匦酒邪沧傲艘坏谝� GPRS�？榍绦颍美纯刂聘么鳪PRS�？榈牟馐砸堑腉PRS�？楣ぷ鳎桓么鳪PRS�？榈母涸匕迥谥酶涸匕逯骺匦酒⒃诟酶涸匕逯骺匦酒邪沧傲艘坏诙� GPRS�？榍绦颍美纯刂聘么鳪PRS�？榈母涸匕宓腉PRS�？楣ぷ鳎桓没当劭梢蕴婊晃秸胩ǖ瓤梢酝瓿勺远馐怨δ艿纳璞福桓眯酒梢蕴婊晃г驳瓤梢杂美幢徊獾脑骷桓么鳪PRS�？榈牟馐砸呛透么鳪PRS�？榈母涸匕逭罅心谥玫腉PRS�？榭梢蕴婊晃猈IF1、CDMA等实现无线通讯功能的无线通讯�？椋桓么鳪PRS�？榈母涸匕濉⒏没当塾敫眯酒灰欢杂写�。本实用新型集成电路测试系统避免了高速信号传输的衰减错误，提高了测试结果输出的正确性。此外，由于可以远程控制，避免了因测试工厂厂房空间带来的布线难度，也解决了因为排线管脚有限引入的无法并行测试多个芯片的问题，充分发挥了测试的高效率，极大的节省了测试成本。
权利要求1.一种集成电路测试系统，包括一控制设备、一与所述控制设备相连的带无线通讯�？榈牟馐砸�、一与所述带无线通讯�？榈牟馐砸窍嗔拇尴咄ㄑ赌？榈母涸匕逭罅�、一与所述带无线通讯模块的负载板阵列相连的自动测试机阵列、一与所述自动测试机阵列相连的被测器件阵列，所述带无线通讯模块的负载板阵列包括N个带无线通讯�？榈母涸匕澹鲎远馐曰罅邪∟个自动测试机，所述被测器件阵列包括N个被测器件，其中N > I。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路测试系统，其特征在于:所述带无线通讯�？榈牟馐砸堑牟馐砸侵骺匦酒邪沧傲艘坏谝晃尴咄ㄑ赌？榍绦颍美纯刂扑龃尴咄ㄑ赌？榈牟馐砸堑奈尴咄ㄑ赌？楣ぷ鳌�
3.根据权利要求1所述的一种集成电路测试系统，其特征在于:所述带无线通讯�？榈母涸匕迥谥酶涸匕逯骺匦酒⒃谒龈涸匕逯骺匦酒邪沧傲艘坏诙尴咄ㄑ赌？榍绦颍美纯刂扑龃尴咄ㄑ赌？榈母涸匕宓奈尴咄ㄑ赌？楣ぷ�。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路测试系统，其特征在于:所述带无线通讯模块的负载板、所述自动测试机与所述被测器件一一对应进行串联。
5.根据权利要求1所述的一种集成电路测试系统，其特征在于:所述自动测试机为探针台。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路测试系统，其特征在于:所述自动测试机为机械臂。
7.根据权利要求1所述的一种集成电路测试系统，其特征在于:所述被测器件为晶圆。
8.根据权利要求1所述的一种集成电路测试系统，其特征在于:所述被测器件为芯片。
专利摘要本实用新型公开了一种集成电路测试系统，包括一控制设备、一与所述控制设备相连的测试仪、一与所述测试仪相连的负载板、一与所述负载板相连的自动测试机、一与所述自动测试机相连的被测器件，所述带无线通讯�？榈母涸匕逭罅邪∟个带无线通讯�？榈母涸匕澹鲎远馐曰罅邪∟个自动测试机，所述被测器件阵列包括N个被测器件。本实用新型的实现，解决了测试仪和测试负载板之间的布线问题，降低了测试成本，提高了测试效率及测试结果输出的正确性。
文档编号G01R31/28GK203012088SQ201220485308
公开日2013年6月19日 申请日期2012年9月21日 优先权日2012年9月21日
发明者徐正元 申请人:成都市中州半导体科技有限公司
专业数控铣床产品供应商
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