专利名称：晶片测试机的单色器的制作方法
技术领域：
本发明涉及电子工业中晶片测试仪器，特别是用于光学晶片测试机同步辐射固定出口单色器。
背景技术：
现有的单色器，特别是用于光学测试晶片的单色器，衍射晶片下有一个可旋转的基座。调整基座的位置及角度，可满足衍射晶片与入射光线衍射条件，得到衍射出的射线。此衍射光线的位置是固定的，不可作任何调整。仪器要求光线经过测片台的旋转轴中心，否则测量结果不准确，但这束衍射光线一定刚好落在测片台的旋转轴心上，因此必须移动整个沉重的测片台架，以满足以上要求。其移动范围要满足不同的X射线管所造成的衍射光线位置误差。由于位置精度要求很高，加之测片台沉重，即使台架调整到位，在拧动固定螺钉时所产生的微移仍会使光束偏离轴心，一是容易降低测试结果的准确性，二是影响测试率。
发明内容
本发明的目的是为晶片测试机提供一种调整简便、准确，且无须移动整个测片台架的同步逼射固定出口的单色器。
本发明包括衍射晶片基座、衍射晶片、入射光光闸，其特征在于衍射晶片基座装有Y方向滑块和X方向滑块，并分别与方向导轨和X方向导轨滑动配合。Y方向滑块上装有Y方向导轨调整螺钉，X方向滑块上装有X方向导轨调整螺钉。Y方向导轨调整螺钉的正交方向有Y方向导轨固定螺钉，X方向导轨调整螺钉的正交方向有X方向导轨固定螺钉。X方向滑块下有X方向滑座，Y方向滑块的滑座与X方向滑块制成一体。
本发明由于把可旋转的衍射晶片基座安装在有一个X方向滑块和一个Y方向有块的基座上，两直线导轨通过调整螺钉微调，通过螺钉锁定。既能调整衍射晶片相对与入射光线的角度，又能调整衍射晶片与入射光线交点的目的，从而达到控制衍射光线位置的目的。此结构调整简单、准确，大大缩短了调整时间，无需动及测片台架，简化了测片台架的制造与安装要求，更容易精确调整测试光路。
图1为本发明实施例衍射晶片调整装置的剖视图。
图2为图1的俯视图。
图3为本发明实施例工作原理示意图。
图中1、衍射晶片基座，2、基座固定螺钉，3、衍射晶片，4、基座角度调整螺钉，5、X方向导轨调整螺钉，6、X方向导轨固定螺钉，7、Y方向导轨调整螺钉，8、Y方向导轨固定螺钉，9、X方向直线导轨，10、Y方向直线导轨，11、外罩，12、入射光光闸，13、入射光窄缝，14、入射光线，15、衍射光线，16、测片台，17，测片台架，18、Y方向滑块，19、X方向滑块，20、底座。
具体实施例方式外罩11罩在底座20上，底座20上有X方向滑块19。X方向导轨9分布在X方向滑块19的底部两边，X方向调整螺钉5的头部一端与底座20转动连接，另一端与X方向滑块螺纹连接。X方向导轨调整螺钉5与X方向导轨9平行；在X方向导轨调整螺钉5的正交方向有X方向导轨固定螺钉6。X方向滑块上方有Y方向滑块18。Y方向导轨10分布在Y方向滑块18底部两边；Y方向导轨调整螺钉7的头部一端与X方向滑块19转动连接，另一端与Y方向滑块18螺纹连接；在Y方向导轨调整螺钉的正交方向有一Y方向导轨固定螺钉8。Y方向滑块18的上方有衍射晶片基座1，衍射晶片基座1与Y方向滑块18转动连接。衍射晶片基座1上升有弧形槽21可与基座固定螺钉2配合；衍射晶片3放在衍射晶片基座1上时一面紧贴衍射晶片基座凸台22。基座角度调整螺钉4与Y方向滑块18螺纹连接，其尾部顶在衍射晶片基座凸台22的另一侧。
工作原理工作时，通过入射光光闸12调整入射光窄缝13大小，从而控制入射光线14大小。先调整X方向导轨调整螺钉5使入射光线14照射到衍射晶片3上，再调整Y方向导轨调整螺钉7，使入射光线14照射到衍射晶片3的合适位置上，然后通过X方向导轨固定螺钉6和Y方向导轨固定螺钉8使衍射晶片3在X方向和Y方向固定。然后调节基角角度调整螺钉4，使衍射晶片3旋射到合适的角度，然后拧紧基座固定螺钉2，使衍射晶片3全部固定。从而得到衍射光线15，使衍射光线15刚好落在测片台16的旋转轴心上。
权利要求
1.一种晶片测试机的单色器，包括衍射晶片基座(1)、衍射晶片(3)、入射光光闸(12)，其特征在于衍射晶片基座(1)装有Y方向滑块(18)和X方向滑块(19)，并分别与方向导轨(10)和X方向导轨(9)滑动配合。
2.根据权利要求1所述的单色器，其特征在于Y方向滑块(18)上装有Y方向导轨调整螺钉(7)，X方向滑块(19)上装有X方向导轨调整螺钉(5)。
3.根据权利要求1所述的单色器，其特征在于Y方向导轨调整螺钉(7)的正交方向有Y方向导轨固定螺钉(8)，X方向导轨调整螺钉(5)的正交方向有X方向导轨固定螺钉(6)。
4.根据权利要求1所述的单色器，其特征在于X方向滑块(19)下有X方向滑座(20)，Y方向滑块(18)的滑座与X方向滑块(18)制成一体。
全文摘要
本发明是一种晶片测试机的单色器，包括衍射晶片基座、衍射晶片、入射光光闸，其特征在于衍射晶片基座装有Y方向滑块和X方向滑块，并分别与方向导轨和X方向导轨滑动配合。本发明由于把可旋转的衍射晶片基座安装在有一个X方向滑块和一个Y方向滑块的基座上，此结构即能调整衍射晶片相对与入射光线的角度，又能调整衍射晶片与入射光线交点的目的，从而达到控制衍射光线位置的目的。结构调整简单，更容易精确调整测试光路。
文档编号G01N21/17GK1584549SQ200410024938
公开日2005年2月23日 申请日期2004年6月1日 优先权日2004年6月1日
发明者周巍 申请人:周巍
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