专利名称：探针单元结构及其制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于检测的探针结构，尤其涉及一种探针单元结构及其制作方法。
背景技术：
在制造IC芯片等半导体集成电路之际，为了检测不良品即会进行电性特性的检查；具体而言，进行半导体集成电路或液晶面板等的检测时，可得知检查对象的半导体集成电路的配线图案中是否有电性短路或断线；同时，为了谋求检查对象与输出检查用信号的信号处理装置之间的电性连接，会采用收容多个导电性接触探针的探针单元，以分别与检查对象及信号处理装置电性连接。传统的探针单元，如图1至图2所示，其主要包括相对应的一上定位基板10和一下定位基板20、使上定位基板10和下定位基板20间隔有一距离的一固定构件30及穿设上定位基板10和下定位基板20的一接触探针40，其中上定位基板10设有一上孔槽101，下定位基板20设有对应上孔槽101的一下孔槽201，此接触探针40先插设在上孔槽101而定位在上定位基板10，再装设下定位基板20，使接触探针40对应上下孔槽201插设定位。藉此，以达到限制接触探针40的位置。然而，近年来，半导体集成电路在高集成化、微细化已有显着进展，就探针单元而言，为了得以配合该技术的进展，也会将各接触探针的直径细径化，同时使各接触探针彼此之间距狭窄化；但是，上述接触探针40的直径越小下，上孔槽101及下孔槽201也会越来越�。股峡撞�101及下孔槽201之间的对位产生些许的误差，进而导致接触探针40定位于上定位基板10后，却无法穿设定位于下定位基板20，此时强行组装即会损害接触探针40 ；因此，接触探针40的直径缩小时，现有的探针单元在制作与组合上有极大的困难而无法突破。·
发明内容
本发明的一目的，在于提供一种探针单元结构及其制作方法，其是利用接触探针的直径细径化下，仍简单便利地制作成探针单元。为了达到上述的目的，本发明提供一种探针单元结构，包括:一种探针单元结构，包括:一第一定位基板，设有多个第一穿针孔；—第二定位基板,对应该第一定位基板配置，该第二定位基板设有对应该多个第一穿针孔的多个第二穿针孔；多个接触探针，每一该接触探针的两端分别穿接于各该第一穿针孔及各该第二穿针孔；以及一间隔件，连接于该第一定位基板及该第二定位基板之间，该间隔件设有容置该多个接触探针的一容室；
其中，该第一定位基板相对该第二定位基板滑位移动，从而使该多个第一穿针孔及该多个第二穿针孔产生偏位关系，以令每一该接触探针的两端分别被该第一定位基板及该第二定位基板夹掣定位。为了达到上述的目的，本发明还提供一种探针单元的制作方法，其步骤包括:a)将该第二定位基板配置在该第一定位基板上方，并令每一该接触探针穿入各该第一穿针孔及各该第二穿针孔；b)提供一升高工具，该升高工具顶高该第二定位基板，使该第一定位基板及该第二定位基板之间形成有一间距；c)将该间隔件置入该间距并夹置于该第一定位基板及该第二定位基板之间，使该第一定位基板及该第二定位基板之间形成有该容室，并令每一该接触探针的两端分别穿接于各该第一穿针孔及各该第二穿针孔；d)提供多个螺固元件，该第二定位基板通过各该螺固元件以锁固在该间隔件；e)提供多个锁固元件，该第一定位基板通过各该锁固元件以锁固在该间隔件；以及f)将该多个锁固元件暂时松脱，自该第一定位基板相对该第二定位基板滑位移动，从而使该多个第一穿针孔及该多个第二穿针孔产生偏位关系，以令每一该接触探针的两端分别被该第一定位基板及该第二定位基板夹掣定位。本发明还具有以下功效:本发明利用直径细径化的接触探针受力下较容易发生弯折，使第一定位基板相对第二定位基板滑位移动，从而使第一穿针孔及第二穿针孔产生偏位关系，以令每一接触探针的两端分别被第一定位基板及第二定位基板压制产生变形，从而使每一接触探针被卡掣固定在第一定位基板及第二定位基板之间，进而达到接触探针的直径细径化下，制作成探针单元仍具有简单便利及成本低廉的功效。另外，每一接触探针的两端分别被第一定位基板及第二定位基板压制产生变形，以定位接触探针并避免检测时接触探针接触不良或脱落，进而提高本发明探针单元结构的使用稳定性。又，第一定位基板及第二定位基板在制作时是相互叠置的，并通过升高工具使第一定位基板及第二定位基板之间形成有间距，间隔件再置入间距并夹置于第一定位基板及第二定位基板之间，以形成有容置各接触探针的容室；相较现有，本发明探针单元结构在制作与组合上更具有步骤简单及组装容易的特点。以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
图1本现有的探针单元的组合示意图；图2本现有的探针单元的局部放大图；图3本发明探针单元结构的分解立体图；图4本发明接触探针的立体示意图；图5本发明探针单元结构的组合示意图；图6本发明探针单元 结构的剖视示意图7本发明探针单元制作方法的步骤流程图；图8A本发明第一定位基板、第二定位基板及接触探针欲放置第一摆放工具的示意图；图SB本发明升高工具欲穿设第一摆放工具及第一定位基板的侧视剖视图；图SC本发明升高工具已顶高第二定位基板的侧视剖视图；图8D本发明半间隔板欲夹置入第一定位基板及第二定位基板的示意图；图SE本发明第二摆放工具欲固定在第二定位基板及间隔件的示意图；图8F本发明第二摆放工具已固定在第二定位基板及间隔件的侧视剖视图；图SG本发明第一定位基板翻转设置在第二定位基板上方的侧视剖视图；图8H本发明欲拆卸第一摆放工具及第二摆放工具的侧视剖视图；图81本发明第一定位基板欲相对第二定位基板滑位的侧视剖视图；图8J本发明第一穿针孔及第二穿针孔欲偏位配置的侧视剖视图；图8K本发明第一穿针孔及第二穿针孔已偏位配置的侧视剖视图；图8L本发明第一定位基板已固定在间隔件及第二定位基板的侧视剖视图；图9本发明探针单元结构的使用状态示意图。其中，附图标记
现有技术10...上定位基板101…大孔槽102…小孔槽20…下定位基板30…固定构件
40…接触探针本发明I…第一定位基板11…第一内绝缘板111…锁孔12…第一外绝缘板121…埋设孔13…第一穿针孔2…第二定位基板21…第二内绝缘板211…锁孔22…第二外绝缘板221…埋设孔23…第二穿针孔3…接触探针31…检测部
32…突出部4…间隔件41…容室42…半间隔板421…U形容槽5…螺固元件51…头部6…锁固元件61…头部100…第一摆放工具200…升高工具300…第二摆放工具400…信号处理装置S…间距
具体实施方式
有关本发明的详细说明及技术内容，将配合
如下，然而所附的附图仅作为说明用途，并非用于局限本发明。请参考图3至图6所示，本发明提供一种探针单元结构及其制作方法，此探针单元结构主要包括一第一定位基板1、一第二定位基板2、多个接触探针3及一间隔件4。第一定位基板I包含一第一内绝缘板11及黏接于第一内绝缘板11的一第一外绝缘板12，第一内绝缘板11及第一外绝缘板12共同设有多个第一穿针孔13 ;又,第一内绝缘板11设有多个锁孔111，第一外绝缘板12设有对应该多个锁孔111的多个埋设孔121。第二定位基板2对应第一定位基板I配置，第二定位基板2包含一第二内绝缘板21及黏接于第二内绝缘板21的一第二外绝缘板22，第二内绝缘板21及第二外绝缘板22共同设有对应该多个第一穿针孔13的多第二穿针孔23 ;又，第二内绝缘板21设有多个锁孔211，第二外绝缘板22设有对应该多个锁孔211的多个埋设孔221。每一接触探针3的两端分别穿接于各第一穿针孔13及各第二穿针孔23，每一接触探针3 —端具有一检测部31另一端具有一突出部32，检测部31经由各第一穿针孔13裸露于第一定位基板1，突出部32经由各第二穿针孔23卡掣于第二定位基板2。间隔件4连接于第一定位基板I及第二定位基板2之间，详细说明如下，第一内绝缘板11夹置在间隔件4及第一外绝缘板12之间，第二内绝缘板21夹置在间隔件4及第二外绝缘板22之间；间隔件4包含对称组合的二半间隔板42，二半间隔板42夹置于第一定位基板I及第二定位基板2之间，每一半间隔板42设有一 U形容槽421，二 U形容槽421形成有容置该多个接触探针3的一容室41。其中，第一定位基板I相对第二定位基板2滑位移动，从而使该多个第一穿针孔13及该多个第二穿针孔23产生偏位关系，以令每一接触探针3的两端分别被第一定位基板I及第二定位基板2夹掣定位，详细说明如下，每一接触探针3的两端分别被第一定位基板I及第二定位基板2压制产生变形，从而使每一接触探针3被卡掣固定在第一定位基板I及第二定位基板2之间。本发明还包括多个螺固元件5,每一螺固元件5具有一头部51,每一头部51的外周缘尺寸小于每一埋设孔221的孔径尺寸，各螺固元件5经由各锁孔211将第二内绝缘板21对应间隔件4锁固，各头部51埋设于各埋设孔221。本发明还包括多个锁固元件6,每一锁固元件6具有一头部61,每一头部61的外周缘尺寸小于每一埋设孔121的孔径尺寸，各锁固元件6经由各锁孔111将第一内绝缘板11对应间隔件4锁固，各头部61埋设于各埋设孔121。本发明探针单元结构的组合，其是利用第一定位基板I设有各第一穿针孔13 ;第二定位基板2对应第一定位基板I配置，第二定位基板2设有对应各第一穿针孔13的各第二穿针孔23 ;每一接触探针3的两端分别穿接于各第一穿针孔13及各第二穿针孔23 ;间隔件4夹置于第一定位 基板I及第二定位基板2之间；其中，第一定位基板I相对第二定位基板2滑位移动，从而使该多个第一穿针孔13及该多个第二穿针孔23产生偏位关系，以令每一接触探针3的两端分别被第一定位基板I及第二定位基板2夹掣定位，详细说明如下，每一接触探针3的两端分别被第一定位基板I及第二定位基板2压制产生变形，从而使每一接触探针3被卡掣固定在第一定位基板I及第二定位基板2之间。藉此，因探针单元为配合半导体集成电路在高集成化、微细化的进展，也会将各接触探针的直径细径化，但接触探针的直径缩小时，导致探针单元在制作与组合上有极大的困难而无法突破；相较下，本发明利用直径细径化的接触探针3受力下较容易发生弯折，使第一定位基板I相对第二定位基板2滑位移动，从而使该多个第一穿针孔13及该多个第二穿针孔23以偏位配置，以令每一接触探针3的两端分别被第一定位基板I及第二定位基板2压制产生变形，从而使每一接触探针3被卡掣固定在第一定位基板I及第二定位基板2之间，进而达到接触探针3的直径细径化下，制作成探针单元仍具有简单便利及成本低廉的功效。请参考图7及图8A至图8L所示，上述探针单元结构的制作方法步骤。如图7的步骤a及图8A所示，首先，提供一第一摆放工具100、一第一定位基板1、一第二定位基板2及多个接触探针3，第一摆放工具100依序定位第一定位基板1、第二定位基板2及多个接触探针3，第一定位基板I设有多个第一穿针孔13，第二定位基板2设有对应该多个第一穿针孔13的多个第二穿针孔23，第二定位基板2配置在第一定位基板I的上方，每一接触探针3穿入各第一穿针孔13及各第二穿针孔23 ;其中，每一接触探针3 —端具有一检测部31另一端具有一突出部32，检测部31经由各第一穿针孔13裸露于第一定位基板1，突出部32经由各第二穿针孔23卡掣于第二定位基板2 ;详细说明如下，第一摆放工具100使第二定位基板2定位设置在第一定位基板I上方；再者，每一接触探针3穿入各第一穿针孔13及各第二穿针孔23时，第一摆放工具100会提供一空间，使每一接触探针3会经由各第一穿针孔13及各第二穿针孔23而容置在第一摆放工具100中，导致各突出部32经由各第二穿针孔23以卡掣于第二定位基板2，进而定位每一接触探针3的位置。如图7的步骤b及图8A至图8C所示，另外，提供一升高工具200，升高工具200从第一摆放工具100的下方顶高第二定位基板2，使第一定位基板I及第二定位基板2之间形成有一间距S。如图7的步骤c及图8D所示，提供一间隔件4，此间隔件4分为对称组合的二半间隔板42，每一半间隔板42设有一 U形容槽421，二 U形容槽421共同形成一容室41 ;再将二半间隔板42置入间距S中，同时让二半间隔板42组合成间隔件4，以让间隔件4夹置于第一定位基板I及第二定位基板2之间，且使第一定位基板I及第二定位基板2之间形成有容置该多个接触探针3的容室41，并令每一接触探针3的两端分别穿接于各第一穿针孔13及各第二穿针孔23。如图7的步骤d及图8D所示，又，提供多个螺固元件，第二定位基板2经由各该螺固元件5以锁固在间隔件4 ;详细说明如下，第二定位基板2包含一第二内绝缘板21及黏接于第二内绝缘板21的一第二外绝缘板22，第二内绝缘板21夹置在间隔件4及第二外绝缘板22之间,第二内绝缘板21及第二外绝缘板22共同设有该多个第二穿针孔23 ;每一螺固元件5具有一头部51，第二内绝缘板21设有多个锁孔211，第二外绝缘板22设有对应各锁孔211的多个埋设孔221，每一埋设孔221的孔径尺寸大于每一头部51的外周缘尺寸，各螺固元件5经由各锁孔211将该第二内绝缘板21对应间隔件4锁固，使各头部51埋设于各埋设孔221。如图7的步骤e及图8E至图8G所示，其中，本发明还包括在e步骤之前的一个步骤e’，其中e’步骤中提供一第二摆放工具300，第二摆放工具300对应第二定位基板2装固并顶抵该多个接触探针3，第一摆 放工具100及第二摆放工具300共同夹置第一定位基板
1、第二定位基板2、该多个接触探针3及间隔件4 ;此第二摆放工具300目的使第一定位基板I经由第二摆放工具300翻转以设置在第二定位基板2上方，第二摆放工具300并防止各接触探针3脱落于各第一穿针孔13及各第二穿针孔23 ;因此，第二摆放工具300装固在第二定位基板2后，再翻转使第一定位基板I设置在第二定位基板2的上方，即可脱开升高工具200，以进行如下步骤。再者，提供多个锁固元件6，第一摆放工具100设有多个通孔，各锁固元件6利用第一摆放工具100的通孔，以将第一定位基板I锁固在间隔件4上；详细说明如下，第一定位基板I包含一第一内绝缘板11及黏接于第一内绝缘板11的一第一外绝缘板12，第一内绝缘板11夹置在间隔件4及第一外绝缘板12之间，第一内绝缘板11及第一外绝缘板12共同设有该多个第一穿针孔13;每一锁固元件6具有一头部61，该第一内绝缘板11设有多个锁孔111，第一外绝缘板12设有对应各锁孔111的多个埋设孔121，每一埋设孔121的孔径尺寸大于每一头部61的外周缘尺寸，各锁固元件6经由各锁孔111将第一内绝缘板11锁固于间隔件4，各头部61埋设于各埋设孔121。如图7的步骤f及图8H至图8L所示，利用升高工具200拆卸第一摆放工具100，此时第一定位基板I及第二定位基板2分别经由锁固元件6及螺固元件5对应间隔件4锁固；最后，将该多个锁固元件6暂时松脱，自第一定位基板I相对第二定位基板2滑位移动，从而使该多个第一穿针孔13及该多个第二穿针孔23产生偏位关系，以令每一接触探针3的两端分别被第一定位基板I及第二定位基板2夹掣定位，详细说明如下，每一接触探针3的两端分别被第一定位基板I及第二定位基板2压制产生变形，从而使每一接触探针3被卡掣固定在第一定位基板I及第二定位基板2之间，再拆卸第二摆放工具300，即完成探针单元结构。所以，通过上述的构造组成，即可得到本发明探针单元结构及其制作方法。藉此，第一定位基板I及第二定位基板2在制作时是相互叠置的，并通过升高工具200使第一定位基板I及第二定位基板2之间形成有间距S，间隔件4再置入间距S并夹置于第一定位基板I及第二定位基板2之间，以形成有容置各接触探针3的容室41 ;相较现有，本发明探针单元结构在制作与组合上还具有步骤简单及组装容易的特点。如图9所示，本发明探针单元结构的使用状态，其中，接触探针3 —端的检测部31对应检查对象接触，并触探针3的另一端，即具有突出部32的一端对应信号处理装置400电性连接，使探针单元以分别电性连接检查对象及信号处理装置400，以达到检查对象与输出检查用信号的信号处理装置400之间的电性连接。此外，每一接触探针3的两端分别被第一定位基板I及第二定位基板2压制产生变形；藉此，定位接触探针3，以避免检测时接触探针3接触不良或脱落，进而提高本发明探针单元结构的使用稳定性。当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所 附的权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种探针单元结构，其特征在于，包括: 一第一定位基板，设有多个第一穿针孔； 一第二定位基板，对应该第一定位基板配置，该第二定位基板设有对应该多个第一穿针孔的多个第二穿针孔； 多个接触探针，每一该接触探针的两端分别穿接于各该第一穿针孔及各该第二穿针孔；以及 一间隔件，连接于该第一定位基板及该第二定位基板之间，该间隔件设有容置该多个接触探针的一容室； 其中，该第一定位基板相对该第二定位基板滑位移动，从而使该多个第一穿针孔及该多个第二穿针孔产生偏位关系，以令每一该接触探针的两端分别被该第一定位基板及该第二定位基板夹掣定位。
2.根据权利要求1所述的探针单元结构，其特征在于，每一该接触探针的两端分别被该第一定位基板及该第二定位基板压制产生变形，从而使每一该接触探针被卡掣固定在该第一定位基板及该第二定位基板之间。
3.根据权利要求1所述的探针单元结构，其特征在于，每一该接触探针一端具有一检测部另一端具有一突出部，该检测部经由各该第一穿针孔裸露于该第一定位基板，该突出部经由各该第二穿针孔卡掣于该第二定位基板。
4.根据权利要求1所述的探针单元结构，其特征在于，该间隔件包含对称组合的二半间隔板，该二半间隔板夹置于该第一定位基板及该第二定位基板之间，每一该半间隔板设有一 U形容槽，该二 U形容槽形成该容室。
5.根据权利要 求1所述的探针单元结构，其特征在于，该第一定位基板包含一第一内绝缘板及黏接于该第一内绝缘板的一第一外绝缘板，该第一内绝缘板夹置在该间隔件及该第一外绝缘板之间，该第一内绝缘板及该第一外绝缘板共同设有该多个第一穿针孔。
6.根据权利要求5所述的探针单元结构，其特征在于，还包括多个锁固元件，每一该锁固元件具有一头部，该第一内绝缘板设有多个锁孔，该第一外绝缘板设有对应该多个锁孔的多个埋设孔，每一该埋设孔的孔径尺寸大于每一该头部的外周缘尺寸，各该锁固元件经由各该锁孔将该第一内绝缘板对应该间隔件锁固，各该头部埋设于各该埋设孔。
7.根据权利要求1所述的探针单元结构，其特征在于，该第二定位基板包含一第二内绝缘板及黏接于该第二内绝缘板的一第二外绝缘板，该第二内绝缘板夹置在该间隔件及该第二外绝缘板之间，该第二内绝缘板及该第二外绝缘板共同设有该多个第二穿针孔。
8.根据权利要求7所述的探针单元结构，其特征在于，还包括多个螺固元件，每一该螺固元件具有一头部，该第二内绝缘板设有多个锁孔，该第二外绝缘板设有对应该多个锁孔的多个埋设孔，每一该埋设孔的孔径尺寸大于每一该头部的外周缘尺寸，各该螺固元件经由各该锁孔将该第二内绝缘板对应该间隔件锁固，各该头部埋设于各该埋设孔。
9.一种制备如根据权利要求1所述的探针单元的制作方法，其特征在于，步骤包括: a)将该第二定位基板配置在该第一定位基板上方，并令每一该接触探针穿入各该第一穿针孔及各该第二穿针孔； b)提供一升高工具，该升高工具顶高该第二定位基板，使该第一定位基板及该第二定位基板之间形成有一间距；c)将该间隔件置入该间距并夹置于该第一定位基板及该第二定位基板之间，使该第一定位基板及该第二定位基板之间形成有该容室，并令每一该接触探针的两端分别穿接于各该第一穿针孔及各该第二穿针孔； d)提供多个螺固元件，该第二定位基板通过各该螺固元件以锁固在该间隔件； e)提供多个锁固元件，该第一定位基板通过各该锁固元件以锁固在该间隔件；以及 f)将该多个锁固元件暂时松脱，自该第一定位基板相对该第二定位基板滑位移动，从而使该多个第一穿针孔及该多个第二穿针孔产生偏位关系，以令每一该接触探针的两端分别被该第一定位基板及该第二定位基板夹掣定位。
10.根据权利要求9所述的探针单元的制作方法，其特征在于，a步骤中还提供一第一摆放工具，该第一摆放工具定位该第二定位基板设置在该第一定位基板上方，并该第一摆放工具定位每一该接触探针穿设于各该第一穿针孔及各该第二穿针孔。
11.根据权利要求10所述的探针单元的制作方法，其特征在于，每一该接触探针一端具有一检测部另一端具有一突出部，该检测部经由各该第一穿针孔裸露于该第一定位基板，该突出部经由各该第二穿针孔卡掣于该第二定位基板。
12.根据权利要求9所述的探针单元的制作方法，其特征在于，c步骤中该间隔件分为对称组合的二半间隔板，使该二半间隔板置入该间距。
13.根据权利要求12所述的探针单元的制作方法，其特征在于，每一该半间隔板设有一 U形容槽，该二 U形容槽形成该容室。
14.根据权利要求9所述的探针单元的制作方法，其特征在于，d步骤中该第二定位基板包含一第二内绝缘板及黏接于该第二 内绝缘板的一第二外绝缘板，该第二内绝缘板夹置在该间隔件及该第二外绝缘板之间，该第二内绝缘板及该第二外绝缘板共同设有该多个第二穿针孔。
15.根据权利要求14所述的探针单元的制作方法，其特征在于，每一该螺固元件具有一头部，该第二内绝缘板设有多个锁孔，该第二外绝缘板设有对应该多个锁孔的多个埋设孔，每一该埋设孔的孔径尺寸大于每一该头部的外周缘尺寸，各该螺固元件经由各该锁孔将该第二内绝缘板对应该间隔件锁固，使各该头部埋设于各该埋设孔。
16.根据权利要求9所述的探针单元的制作方法，其特征在于，还包括在e步骤之前的一个步骤e’，其中e’步骤中提供一第二摆放工具，该第一定位基板经由该第二摆放工具翻转以设置在该第二定位基板上方，该第二摆放工具并防止该多个接触探针脱落于各该第一穿针孔及各该第二穿针孔。
17.根据权利要求9所述的探针单元的制作方法，其特征在于，e步骤中该第一定位基板包含一第一内绝缘板及黏接于该第一内绝缘板的一第一外绝缘板，该第一内绝缘板夹置在该间隔件及该第一外绝缘板之间，该第一内绝缘板及该第一外绝缘板共同设有该多个第一穿针孔。
18.根据权利要求17所述的探针单元的制作方法，其特征在于，每一该锁固元件具有一头部，该第一内绝缘板设有多个锁孔，该第一外绝缘板设有对应该多个锁孔的多个埋设孔，每一该埋设孔的孔径尺寸大于每一该头部的外周缘尺寸，各该锁固元件经由各该锁孔将该第一内绝缘板锁固于该间隔件及该第二定位基板，各该头部埋设于各该埋设孔。
19.根据权利要求9所述的探针单元的制作方法，其特征在于，f步骤中每一该接触探针的两端分别被该第一定位基板及该第二定位基板压制产生变形，从而使每一该接触探针被卡掣固定在 该第一定位基板及该第二定位基板之间。
全文摘要
本发明公开一种探针单元结构及其制作方法，其包括第一定位基板、第二定位基板、接触探针及间隔件，第一定位基板设有第一穿针孔；第二定位基板设有第二穿针孔，第一定位基板及第二定位基板在组装时相互叠置，并通过升高工具使第一定位基板及第二定位基板之间形成有间距；接触探针穿接于第一穿针孔及第二穿针孔；间隔件通过间距形成有容置接触探针的容室；第一定位基板相对第二定位基板滑位，使第一穿针孔及第二穿针孔产生偏位，以令接触探针两端分别被第一定位基板及第二定位基板夹掣定位。藉此，使接触探针细径化仍方便探针单元的制作。
文档编号G01R1/04GK103245807SQ20121003099
公开日2013年8月14日 申请日期2012年2月6日 优先权日2012年2月6日
发明者何震宏, 叶威男 申请人:景美科技股份有限公司
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