专利名称：氦质谱检漏仪的进样系统的制作方法
技术领域：
本发明涉及气体流体领域，主要涉及一种氦质谱检漏仪的进样方式。
技术背景目前氦质谱检漏仪的进样方式采用的是逆扩散原理。其中检漏仪包含机械泵1、旁路预抽阀2、分子泵前级阀3、分子泵4、进样阀5、质谱检测器6、检漏 口 7和旁路系统8。因为氦原子质量比空气的氮、氧分子质量小很多(氦原子量 4、氧分子量32、氮分子量28)，氦原子的扩散速度更快，更大比例的氦原子可 以从分子泵的下部逆扩散进入质谱MS检测系统。国内外常规的连接方法是在 检漏过程中，先关闭分子泵的前级阀3和进样阀5，然后开旁路预抽阀2，当旁 路真空度达到检测范围以后，关旁路预抽阀2，开前级阀3和进样阀5，气体从 进样阀进入分子泵4，由于氦原子的扩散速度快，可以从下面逆扩散进入质谱检 测器6。发明内容本发明提出另一种进样方式可以获得高很多的检漏灵敏度。本发明的检漏 仪的结构不变，具体的操作做法是，先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路预抽阀2，当真空度达到5-30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。两种进样方式的差异在于前者，气体样品进入分子泵4后，有很大一部分气体被抽速较高的分子泵下部叶片抽走，只有小部分逆扩散进入质谱检测器6;而后者，气体样品只有一小部分被抽速低得多的机械泵抽走，大部分进入分子泵4，逆扩散到达质谱检测器6，进入的气体不会被分子泵下部的叶片抽走，因为前级阀门3是关闭的。经上述改进，检漏仪的灵敏度由8X10—"Pa m7s提高到1X10—"Pa mVs，因此，具有更高的灵敏度。
权利要求
1.一种氦质谱检漏仪的进样方式，其特征在于，包括以下步骤先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路预抽阀2，当真空度达到5-30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。
全文摘要
一种氦质谱检漏仪的进样方式，包括以下步骤先关闭分子泵前级阀3和进样阀5，开旁路预抽阀2，当真空度达到5-30Pa以后，关闭前级阀3，打开进样阀5。检漏仪的灵敏度指标提高8倍。
文档编号G01M3/02GK101303265SQ20081013274
公开日2008年11月12日 申请日期2008年7月14日 优先权日2008年7月14日
发明者黄庆文 申请人:北京中科科仪技术发展有限责任公司
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